أسطوانة خاصة لأشباه الموصلات: ملحقات قياسية أساسية لمعدات أتمتة أشباه الموصلات لتحقيق نقل دقيق ونقل دقيق
في العمليات المتطورة مثل معالجة رقائق أشباه الموصلات ، ونقش الطباعة الحجرية ، وترسيب الأغشية الرقيقة ، وتغليف الرقائق ، والكشف الدقيق ، تحتوي الأسطوانات الصناعية العادية على كمية كبيرة من الغبار ، واحتكاك غير مستقر ، وختم سهل التحليل ، ودقة تحديد المواقع المنخفضة ، واضطراب قوي في العادم. من السهل إنتاج جزيئات التآكل والشوائب المتطايرة للزيت أثناء تشغيل المكونات الهوائية التقليدية.