يرجى إدخال الكلمات الرئيسية التي تبحث عنها
يوفر تحديد المواقع عالي الدقة والمناولة على مستوى ميكرون مكونات تنفيذ آلية مستقرة وموثوقة لقطع الرقائق وتغليف الرقائق وفرز الاختبار.
يتطلب رسم الرقاقة وتركيب الرقاقة دقة تحديد المواقع المتكررة في حدود ± 0.02 مم ، وهو أمر يصعب إرضاء الأسطوانات التقليدية.
يجب التحكم في التصوير المقطعي المحوسب في الحزمة في غضون ثانية واحدة ، مما يطرح متطلبات عالية للغاية على سرعة الاستجابة واستقرار مكونات التنفيذ.
يمكن أن يتسبب الغبار والاهتزاز الصغير في إلغاء الرقاقة ، ويجب أن تتمتع الأجزاء التنفيذية بنظافة عالية وأداء مضاد للاهتزاز.
استنادًا إلى وحدة التباين المطورة ذاتيًا وأسطوانة الشفرة ، جنبًا إلى جنب مع معايير تصميم الغرفة النظيفة ، توفر خطة تنفيذ كاملة من محور واحد إلى متعدد المحاور لأشباه الموصلات الأمامية والخلفية.
يتم إرسال الصندوق (FOUP) إلى محطة العمل من خلال روبوت مناولة نظيف.
تقوم وحدة التباين بتوسيع حلقة الرقاقة من تباعد متقلب إلى التباعد المطلوب للعملية.
تعمل الأسطوانة الشفرة على تشغيل الشفرة الرقيقة جدًا لخدش الرقاقة بدقة ± 0.02 مم.
تمتص أسطوانة الفراغ الشريحة المقطوعة ونقلها إلى صينية الاختبار.
بعد الانتهاء من الاختبار ، سيتم وضع الأجزاء التنفيذية في المستودع بين المنتجات الجيدة والمنتجات غير الجيدة.
