اسطوانة خاصة لأشباه الموصلات: اختراق تقني في المحرك الديناميكي الهوائي الدقيق في الغرفة النظيفة

بيئة تصنيع أشباه الموصلات حساسة للغاية للملوثات ، ويجب ألا يكون هناك أكثر من جسيمات واحدة لكل قدم مكعب في غرفة نظيفة من الفئة 1. تنتج الأسطوانات الصناعية التقليدية جزيئات تآكل المطاط والمواد المتطايرة لزيت التشحيم والحطام المعدني أثناء التشغيل ، وبمجرد دخولها العملية ، فإنها ستؤدي مباشرة إلى إلغاء الرقاقة. في الوقت نفسه ، يتطلب مناولة الرقاقة دقة تحديد المواقع على مستوى ± 0.01 مم ، ويجب التحكم في التفريغ الكهروستاتيكي في نطاق 10 مكعب-10 ميغا. تتطلب بيئة الغاز المسببة للتآكل أن يكون للمكونات قدرة مقاومة التآكل من الفئة C. هذه المتطلبات الصارمة تجعل الأسطوانات الصناعية العامة غير قادرة على تلبية سيناريوهات تطبيق أشباه الموصلات.

قامت شركة Dongguan Xinda Industrial Automation Co. ، Ltd. بتحسين هيكلي شامل لسيناريوهات تطبيق أشباه الموصلات بناءً على التكنولوجيا الهوائية الدقيقة التي تم إدخالها من اليابان وألمانيا في عام 2000:

نظام ختم الغبار منخفض الشعر: يتم استخدام تزييت خاص بالفلوروسين مع حلقة مقاومة الغبار UHMW-PE ، ويتم تقليل معامل الاحتكاك إلى أقل من 0.05 ، ويتم التحكم في كمية التآكل في حدود 0.001 مم/عشرة آلاف مرة ، مما يمنع تمامًا إنتاج الجسيمات.
تصميم غير زيتي: يتم شحذ الجدار الداخلي للأسطوانة بدقة بواسطة Ra ≤ 0.4 ميكرومتر ، مع مكبس مركب ذاتي التشحيم ، ولا يلزم تزييت إضافي طوال العملية بأكملها لتجنب الضباب النفطي من تلويث البيئة النظيفة.
هيكل مضاد للكهرباء الساكنة: الأسطوانة وقضيب المكبس والتركيب كلها مصنوعة من مواد موصلة ، ويتم التحكم في مقاومة السطح عند 10 مكعب-10 ميغا ، ووقت التبدد الكهروستاتيكي أقل من 0.5 ثانية ، وهو ما يلبي المعايير ESD-S20.20.
مادة مقاومة للتآكل: الأجزاء الملامسة لغاز العملية مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ SUS316L أو طلاء خاص ، والتي يمكن أن تتحمل الغازات المسببة للتآكل مثل HF و H2 SO. اجتاز اختبار رذاذ الملح ISO 9227 لمدة 500 ساعة دون تآكل.

تتميز أسطوانات Xinda الخاصة لأشباه الموصلات بأداء ممتاز في المؤشرات الرئيسية التالية: دقة تحديد المواقع المتكررة تصل إلى±0.01 مم، تردد الاستجابة 5 هرتز ، وعمر الخدمة أكثر من 500000 مرة دون توهين. اجتاز المنتج شهادة أمان SEMI S2 ، ويتوافق مع معيار ISO 14644-1 للغرفة النظيفة ، وجميع المواد تلبي متطلبات تعليمات RoHS. في تطبيق مناولة الرقاقة ، يتم التحكم في موجة سحب أسطوانة الشفط الفراغي في حدود ± 2 ٪ ، مما يضمن النقل غير المتلف للرقائق من 8 بوصات إلى 12 بوصة.

منذ تأسيسها عام 2000، تُركّز شركة دونغقوان شيندا لأتمتة الصناعة المحدودة بشكل دائم على البحث والتطوير وتصنيع المكونات الهوائية الدقيقة. تغطي منتجات الشركة الرئيسية منزلقات متغيرة الدقة ، ووحدات متغيرة ، ومنضدة منزلقة صغيرة متكاملة ، وأسطوانة فراغ ، وأسطوانة فراغ دوارة ، ومعالجة مصدر الهواء ، وصمام الملف اللولبي ، ومولد الفراغ ، والصواميل/اللولب بدون أسنان ، وعداد قضيب الضوء ، وعمود الضوء الدقيق المطلي بالكروم ، وعمود التوجيه ، ومحور المحرك الرئيسي لمستوى الطحن ، ومحور الدوران ، وما إلى ذلك خط إنتاج كامل يستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات ، 3C ، تجميع بطاريات الطاقة الجديدة ، الطبية ، أدوات القياس البصرية وغيرها من المجالات.
تلتزم الشركة بفلسفة العمل المتمثلة في "الخدمة في الوقت المناسب ، والجودة المستقرة ، والتسلم في الوقت المحدد ، وعدم القلق بعد البيع". يمثل الموظفون الفنيون في البحث والتطوير أكثر من 30 ٪ ، وأداء المنتج الرائد في العالم. تم تجهيز مختبر الشركة بمعدات الكشف الدقيقة مثل أجهزة التحليل الطيفي ، وأجهزة العرض ، وآلات السحب ، ومجاهر الطور الذهبي ، واختبار رذاذ الملح ، ومقاييس الصلابة ، وما إلى ذلك ، للتأكد من أن كل منتج قد خضع لفحص شامل صارم والتحقق من الأداء. في الوقت الحاضر ، تم اعتماد منتجات Xinda من قبل العديد من معاهد الأكاديمية الصينية للعلوم ، ويتم تصديرها إلى أسواق تايوان وكوريا الجنوبية وألمانيا وجنوب شرق آسيا ، وقد حازت على ثقة واسعة من العملاء العالميين.

مع التطور السريع لصناعة أشباه الموصلات في الصين ، من المتوقع أن يتجاوز حجم سوق معدات أشباه الموصلات المحلية 30 مليار دولار أمريكي في عام 2025 ، لكن معدل توطين المكونات الهوائية المتطورة أقل من 15 ٪. مع 25 عامًا من التراكم التكنولوجي والتكنولوجيا الأساسية اليابانية الألمانية ، وصلت الأسطوانة الخاصة لشركة Xinda Semiconductor إلى المستوى المتقدم الدولي من حيث المؤشرات الأساسية مثل النظافة والدقة والموثوقية ، ويمكنها تحقيق الاستبدال المحلي للعلامات التجارية المستوردة. في المستقبل ، ستواصل الشركة زيادة الاستثمار في البحث والتطوير وإطلاق المزيد من المنتجات الهوائية الدقيقة المناسبة للتقنيات المتقدمة لمساعدة صناعة أشباه الموصلات في الصين على التحكم بشكل مستقل.