Halbleiter zylinder: techno logischer Durchbruch bei pneumatischen Präzisions-Aktuatoren für Reinräume

Die Fertigungsumgebung von Halbleitern ist äußerst empfindlich gegenüber Verunreinigungen; in Reinräumen der Klasse 1 darf die Partikelkonzentration ≥ 0,1 µm höchstens 1 Teilchen pro Kubikfuß betragen. Herkömmliche Industrie zylinder erzeugen während des Betriebs Gummi verschleiß partikel, Schmieröl flüchtige Stoffe und Metall abfälle. Sobald sie in den Herstellungs prozess eintreten, werden die Wafer direkt verschrottet. Gleichzeitig erfordert die Wafer handhabung eine Position ierungs genauigkeit von ± 0,01mm, die elektro statische Entladung muss im Bereich von 10 ³ bis 10 ⁹ Ω gesteuert werden, und die korrosive Gas umgebung erfordert, dass die Komponenten eine Korrosions schutz fähigkeit der C-Klasse aufweisen. Diese strengen Anforderungen machen allgemeine Industrie zylinder nicht in der Lage, Halbleiter-Anwendungs szenarien zu erfüllen.

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. hat eine umfassende strukturelle Optimierung für Halbleiter anwendungs szenarien durchgeführt, die auf der im Jahr 2000 aus Japan und Deutschland importierten Präzisions pneumatik technologie basieren:

Staub abdichtung system: Mit spezieller Fluor lipid schmierung und UHMW-PE Staub ring wird der Reibungs koeffizient auf weniger als 0,05 reduziert und der Verschleiß innerhalb von 0,001mm/10.000 Mal kontrolliert, wodurch die Partikel produktion vollständig beseitigt wird.
Öl freies Design: Die Innenwand des Zylinders wird mit einem Ra ≤ 0,4 μm Präzisions hon behandelt und mit einem selbst schmieren den Verbund kolben kombiniert. Während des gesamten Prozesses ist keine zusätzliche Schmierung erforderlich, um eine Verschmutzung der sauberen Umgebung durch Öl nebel zu vermeiden.
Anti statische Struktur: Der Zylinder block, die Kolbenstange und die Montage teile bestehen alle aus leitfähigen Materialien, der Oberflächen widerstand wird auf 10 ³-10 ⁹ Ω geregelt und die elektro statische Auflösung szeit beträgt weniger als 0,5 Sekunden, was den ESD-S20.20 Standards entspricht.
Korrosions beständiges Material: Die Teile, die mit dem Prozess gas in Kontakt stehen, bestehen aus Edelstahl SUS316L oder einer speziellen Beschichtung, die korrosiven Gasen wie HF und H2-SO-widerstehen können und den ISO 9227-Salzsprühtest 500 Stunden lang ohne Korrosion bestehen.

Xinda Semicon ductor Spezial zylinder schneiden bei den folgenden Schlüssel indikatoren gut ab: Wiederholte Position ierungs genauigkeit bis± 0,01mmDie Ansprech frequenz beträgt 5Hz und die Lebensdauer beträgt mehr als 500.000 Mal ohne Dämpfung. Die Produkte haben die SEMI S2-Sicherheitszertifizierung bestanden und entsprechen der Reinraum norm ISO 14644-1. Alle Materialien entsprechen den Anforderungen der RoHS-Richtlinie. Bei Wafer handhabung anwendungen wird die Saug kraft des Vakuums auger zylinders innerhalb von ± 2% gesteuert, um eine verletzungs freie Übertragung von 8-Zoll-bis 12-Zoll-Wafern sicher zustellen.

Seit seiner Gründung im Jahr 2000 hat sich Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. stets auf die Forschung und Entwicklung sowie die Herstellung von pneumatischen Präzisions komponenten konzentriert. Die Hauptprodukte des Unternehmens umfassen Präzisions schieber tisch mit variabler Distanz, Modul mit variabler Distanz, integrierte Mikros chiebe tisch, Vakuum zylinder, rotierende Vakuum zylinder, Luft quellen behandlung, Magnetventile, Vakuum generatoren, zahnlose Muttern/Schrauben, polierte Stangen reihen, Hart chrom präzisions-optische Achse, Führungs welle, Schleif kraft welle, rotierende Welle und andere komplette Produktlinien, die in Halbleitern, 3C, weit verbreitet sind neue Energie batterie montage, medizinische Behandlung, optische Messi strum ente und andere Bereiche.
Das Unternehmen hält an der Geschäfts philosophie "pünktlicher Service, stabile Qualität, pünktliche Lieferung und sorgenfreier Kundendienst" fest. Auf F & E-Techniker entfallen mehr als 30%, und die Produkt leistung ist weltweit führend. Das Labor des Unternehmens ist mit Präzisions prüfgeräten wie Spektrometern, Projektoren, Zugmaschinen, metallo grafischen Mikroskopen, Salz sprüh prüfgeräten, Härte prüfgeräten usw. ausgestattet, um sicher zustellen, dass jedes Produkt einer strengen Prüfung in voller Größe und Leistungs überprüfung unterzogen wird. Gegenwärtig wurden Xinda-Produkte von vielen Instituten der Chinesischen Akademie der Wissenschaften anerkannt und nach Taiwan, Südkorea, Deutschland und Südostasien exportiert, um das Vertrauen globaler Kunden zu gewinnen.

Mit der rasanten Entwicklung der chinesischen Halbleiter industrie wird der heimische Markt für Halbleiter ausrüstung im Jahr 2025 voraussicht lich 30 Milliarden US-Dollar überschreiten, aber die Lokal isierungsrate von pneumatischen High-End-Komponenten beträgt weniger als 15%. Mit 25 Jahren technischer Akkumulation und japanischer und deutscher Kernte chno logie hat der Xinda Semicon ductor-Spezial zylinder das internat ional fort geschrittene Niveau in Bezug auf Kern indikatoren wie Sauberkeit, Genauigkeit und Zuverlässigkeit erreicht und kann den lokalisierten Ersatz importierter Marken realisieren. In Zukunft wird das Unternehmen seine Investitionen in Forschung und Entwicklung weiter erhöhen und präzisere pneumatische Produkte auf den Markt bringen, die an fortschritt liche Prozesse angepasst sind, um Chinas Halbleiter industrie dabei zu helfen, unabhängig und kontroll ierbar zu sein.