Окружающая среда полупроводникового производства чрезвычайно чувствительна к загрязнениям: в чистой комнате класса 1 допускается не более одного частицы размером ≥ 0,1 мкм на кубический фут. В процессе эксплуатации традиционных промышленных цилиндров образуются микрочастицы резинового износа, пары смазочных материалов и металлическая стружка; попадая в технологический процесс, они непосредственно приводят к браку пластин. В то же время обработка пластин требует точности позиционирования уровня ± 0,01 мм, электростатический разряд должен контролироваться в диапазоне 10 ³-10 км, а коррозионная газовая среда требует, чтобы компоненты обладали антикоррозионной способностью класса C. Эти строгие требования не позволяют универсальным промышленным цилиндрам соответствовать сценариям применения полупроводников.

Компания Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd., основанная на прецизионных пневматических технологиях, импортированных из Японии и Германии в 2000 году, провела комплексную структурную оптимизацию для сценариев применения полупроводников:

Система уплотнения с низким уровнем пыли: Специальная фторидная смазка и UHMW-PE пылезащитное кольцо используются для уменьшения коэффициента трения ниже 0,05, а количество износа контролируется в пределах 0,001 мм/10 000 раз, чтобы полностью предотвратить появление частиц.
Безмасляный дизайн: Внутренняя стенка цилиндра обрабатывается высокоточным хонингованием Ra≤ 0,4 мкм в сочетании с самосмазывающимся композитным поршнем без дополнительной смазки на протяжении всего процесса, чтобы избежать загрязнения масляным туманом чистой окружающей среды.
Антистатическая структура: Блок цилиндров, поршневые штоки и установочные детали изготовлены из проводящих материалов. Поверхностное сопротивление контролируется на уровне 10 ³-10 ⁹ Ω, а время рассеивания статического электричества составляет менее 0,5 секунд, что соответствует ESD-S20.20 стандартам.
Материал, устойчивый к коррозии: Компоненты, контактирующие с газом процесса, обработаны нержавеющей сталью SUS316L или специальным покрытием, могут противостоять коррозионным газам, таким как HF, H2L SO, и прошли тест на солевой туман ISO 9227 в течение 500 часов без коррозии.

Специальный цилиндр Xinda Semiconductor отлично работает по следующим ключевым показателям: точность повторного позиционирования достигает± 0,01 ммЧастота отклика 5 Гц, срок службы более 500 000 раз без затухания. Продукция сертифицирована по безопасности SEMI S2 и соответствует стандарту ISO 14644-1 для чистых помещений, все материалы соответствуют требованиям директивы RoHS. В применениях для обработки пластины сила всасывания цилиндра вакуумного присоски контролируется в пределах ± 2%, чтобы обеспечить отсутствие повреждений от 8 до 12 дюймов пластины.

С момента своего основания в 2000 году компания Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. занимается исследованиями, разработками и производством прецизионных пневматических компонентов. Основная продукция компании включает в себя прецизионные станки с переменным расстоянием, модули с переменным расстоянием, цельный миниатюрный слайдер, вакуумные цилиндры, вращающиеся вакуумные цилиндры, обработку источника, электромагнитные клапаны, вакуумные генераторы, беззубый гайки/винты, оптические стержни, твердый хромированный прецизионный оптический вал, направляющий вал, шлифовальный вал, поворотный вал и т. Д. Сборка новых энергетических батарей, медицинское, оптическое измерительное оборудование и другие области.
Компания придерживается философии бизнеса «своевременное обслуживание, стабильное качество, своевременная поставка и беспроблемное послепродажное обслуживание». На долю технического персонала в области исследований и разработок приходится более 30%, а производительность продукта является мировым лидером. Лаборатория компании оснащена спектрометром, проектором, натяжным устройством, золотоскопическим микроскопом, тестером солевого тумана, твердомером и другим точным оборудованием для обнаружения, чтобы гарантировать, что каждый продукт прошел строгий полноразмерный контроль и проверку производительности. В настоящее время продукты Xinda были признаны многими институтами Академии наук Китая и экспортируются на рынки Тайваня, Южной Кореи, Германии и Юго-Восточной Азии, завоевав широкое доверие клиентов по всему миру.

Ожидается, что в связи с быстрым развитием полупроводниковой промышленности Китая объем внутреннего рынка полупроводникового оборудования в 2025 году превысит 30 миллиардов долларов США, но уровень локализации высококачественных пневматических компонентов составляет менее 15%. Благодаря 25-летнему накоплению технологий и основной технологии Японии и Германии, специальный цилиндр Xinda Semiconductor достиг международного передового уровня по основным показателям, таким как чистота, точность и надежность, и может обеспечить локализацию импортных брендов. В будущем компания продолжит увеличивать инвестиции в исследования и разработки и выпускать более точные пневматические продукты, подходящие для передовых процессов, чтобы помочь китайской полупроводниковой промышленности контролировать себя.