โปรดป้อนคำหลักที่คุณค้นหา
การกำหนดตำแหน่งที่มีความแม่นยำสูงและการจัดการระดับไมครอนเป็นส่วนประกอบการดำเนินการอัตโนมัติที่เสถียรและเชื่อถือได้สำหรับการตัดเวเฟอร์บรรจุภัณฑ์ชิปและการคัดแยกทดสอบ
การตัดเวเฟอร์และการติดตั้งชิปต้องใช้ความแม่นยำในการกำหนดตำแหน่งซ้ำภายใน ± 0.02มม. ซึ่งยากที่จะตอบสนองกระบอกสูบแบบเดิม
ต้องควบคุม CT ของสายการห่อหุ้มภายใน1วินาทีซึ่งทำให้เกิดความต้องการที่สูงมากเกี่ยวกับความเร็วในการตอบสนองและความเสถียรของส่วนประกอบการดำเนินการ
ฝุ่นและการสั่นสะเทือนขนาดเล็กอาจทำให้ชิปถูกทิ้งและส่วนประกอบของผู้บริหารต้องมีความสะอาดสูงและป้องกันการสั่นสะเทือน
จากโมดูลเปลี่ยนระยะทางที่พัฒนาขึ้นเองและกระบอกสูบใบมีดรวมกับมาตรฐานการออกแบบห้องสะอาดมีแผนการดำเนินการที่สมบูรณ์ตั้งแต่แกนเดียวไปจนถึงหลายแกนสำหรับช่องด้านหน้าและด้านหลังของเซมิคอนดักเตอร์
กล่องคริสตัล (FOUP) ถูกส่งไปยังเวิร์กสเตชันผ่านหุ่นยนต์จัดการที่สะอาด
โมดูลการเปลี่ยนแปลงจะขยายวงแหวนเวเฟอร์จากระยะห่างของแถวที่หนาแน่นไปยังระยะห่างที่จำเป็นสำหรับกระบวนการ
กระบอกสูบใบมีดขับเคลื่อนใบมีดบางเฉียบสำหรับการตัดเวเฟอร์โดยมีความแม่นยำ ± 0.02มม.
กระบอกสูบสูญญากาศดูดซับชิปที่ตัดแล้วและถ่ายโอนไปยังถาดทดสอบ
หลังจากการทดสอบเสร็จสิ้นส่วนประกอบการดำเนินการจะวางผลิตภัณฑ์ที่ดีและบกพร่องในคลังสินค้าแยกกัน
