الأسطوانة الخاصة لأشباه الموصلات هي عامل تشغيل هوائي لمعدات تصنيع أشباه الموصلات ومشاهد الأتمتة عالية التنظيف. وتتمثل المهمة الأساسية في إكمال نقل الرقاقة والركيزة والقوارب الكريستالية وسلال الزهور في مساحة محدودة ، وحمل الرقاقة ، والركيزة ، وقارب الكريستال ، ورفعتها ، وقلبها ، واكتشاف الإجراءات المساعدة ، مع تقليل إطلاق الجسيمات ، تأثير تلوث الضباب النفطي واضطراب العادم على بيئة العملية. الفرق بينها وبين الأسطوانات الصناعية العادية ليس "هل يمكن أن تمتد وتتراجع" ، ولكن في التصميم النظيف: يجب إعادة فحص المواد والأختام والتشحيم والعادم والتوجيه وفقًا لمستوى الغرفة النظيفة.

يتكون الهيكل النموذجي من كتلة الأسطوانة ، المكبس ، آلية التوجيه ، مجموعة الختم ، المفتاح المغناطيسي أو الكشف عن الموضع ، منفذ الهواء وسطح التركيب. غالبًا ما يتم تجهيز محطات أشباه الموصلات بهيكل مزدوج العمل لضمان الاستقرار ذهابًا وإيابًا ؛ إذا تم إجراء الامتزاز والإخراج ، فسيتم دمج فوهة شفط فراغ ومولد فراغ وخانق عازل في كتلة الأسطوانة أو نهاية المنصة المنزلقة ؛ إذا تم إجراء نقل المسافة ، فإن وحدة التباين ستدفع بشكل متزامن مجموعات متعددة من الأسطوانات أو الماصة لإكمال تحويل التباعد.

الجدول أعلاه عبارة عن مقارنة اختيارية عامة ، والتي لا تعادل المواصفات الموحدة لمنتج واحد ؛ في النهاية ، يخضع تقرير اختبار مستوى النظافة والمواد الكيميائية التلاملية وجزيئات المصنع.

منذ عام 2000 ، أدخلت Xinda تقنية نقل أساسية من اليابان وألمانيا ، وتغطي المنتجات منزلقًا متغيرًا دقيقًا ، ووحدة متغيرة ، ومنصة منزلقة صغيرة الكل في واحد ، وأسطوانة شفرة ، وأسطوانة فراغ رفيعة جدًا ، وأسطوانة فراغ دوارة ، وأسطوانة منزلقة ، ومعالجة مصدر الهواء. عادة لا تشتري مشاهد أشباه الموصلات أسطوانة عارية فقط ، ولكن "آلية الامتزاز الفراغي الموجهة للأسطوانة" لتشكيل وحدة السحب والإفراج.

• حمل الرقاقة خفيف ولكن لا يُسمح بالتأثير: لا يجب أن يكون حجم الأسطوانة كبيرًا بشكل أعمى ، مع التركيز على قوة البداية المنخفضة والاستقرار.

• رقاقة شفط أسطوانة الفراغ: يجب أن تتطابق مادة الفوهة ودرجة الفراغ ووقت التهوية مع قطر القطعة والسطح لتجنب الانزلاق أو الطباعة النزرة.

• لا يُسمح بتجديد الهباء الزيتي في مكان العمل النظيف ؛ تتطلب إزالة وإصلاح الأسطوانة الخالية من الزيت عملية قفازات خالية من الغبار.

• تتجنب قضيب المكبس القوة الجانبية أحادية الجانب على المدى الطويل ، وإلا فإن غطاء التوجيه سوف ينحرف عن الغبار.

• يتم الاستيلاء على منفذ العادم الخارجي بشكل منفصل ، ولا يتم مشاركة أنبوب العادم مع منافذ الصمام الأخرى.

• قبل إدخال معدات أشباه الموصلات على دفعات ، يوصى بإجراء فحص للتأكد من التجهيز النظيف واختبار عمر التردد العالي.

أنشأت شركة Dongguan Xinda Industrial Automation Co. ، Ltd. عملية كاملة من فحص المواد الخام ، ومعالجة CNC ، والتجميع وتصحيح الأخطاء إلى فحص المصنع ، وهي مجهزة بمعدات اختبار دقيقة ؛ يمثل فنيو البحث والتطوير حوالي 60 ٪ من النسبة ، وتستخدم المنتجات في 3C إلكترونيات وأشباه الموصلات وبطاريات الطاقة الجديدة والمعدات الطبية وآلات التعبئة والتغليف وغيرها من المجالات ، وتباع إلى تايوان وكوريا الجنوبية ، ألمانيا وجنوب شرق آسيا.

يمكن تسليم أجزاء التنفيذ ذات الصلة بأشباه الموصلات وفقًا لمجموعة أسطوانات وحدة التباين: أسطوانة الفراغ الرقيقة للغاية ، أسطوانة الفراغ الدوارة ، أسطوانة الشفرة ، أسطوانة الطاولة المنزلقة يمكن استخدامها وفقًا للسكتة الدماغية ، قطر الأسطوانة ، سطح التركيب ، موضع الفتح المغناطيسي ، واجهة الفراغ والمظهر غير القياسي ؛ يتم مطابقة الطرف المتغير حسب رقم العمل ، والمسافة المركزية ، والمسافة المتساوية/غير المتكافئة. يوصى بالتسليم بالحصول على اختبار تحديد المواقع المتكرر ، وتعليمات المواد المختومة ، وتعليمات التزييت الخالية من الزيت ، وبيانات تأكيد التكييف النظيفة. يخضع مستوى التنظيف المحدد لمتطلبات المشروع والتحقق من العينة.