Der spezielle Halbleiter zylinder ist ein pneumatischer Aktuator für Halbleiter fertigungs geräte und hoch saubere Automatisierung szenarien. Seine Kern funktion besteht darin, die Übertragung, das Klemmen, Heben, die Ausrichtung und die Erkennung von Wafern, Substraten, Kristall booten und Blumen körben auf engstem Raum abzuschließen. Hilfs aktion, während die Partikel freisetzung minimiert wird, die Auswirkungen von Öl nebel verschmutzung und Abgas störungen auf die Prozess umgebung. Der Unterschied zwischen ihm und gewöhnlichen Industrie zylindern besteht nicht darin, "kann er sich ausdehnen und zurückziehen", sondern im sauberen Design: Material, Abdichtung, Schmierung, Abgas und Führung müssen auf Reinraum ebene überprüft werden.

Die typische Struktur besteht aus einem Zylinder block, einem Kolben, einem Führungs mechanismus, einer Dichtung komponente, einem magnetischen Sensor schalter oder einer Positions erfassung, einem Luftanschluss und einer Einbau fläche. Die Halbleiters tat ionen sind häufig mit einer doppelt wirkenden Struktur ausgestattet, um eine stabile Hin-und Rückfahrt zu gewährleisten. Wenn sie adsorbiert und freigegeben werden, werden Vakuum düsen, Vakuum generatoren und Puffer drosselungen in den Zylinder block oder die Schiebe plattform integriert. Wenn sie mit variabler Entfernung transport iert werden, wird das Modul mit variabler Entfernung verwendet Die Gruppe treibt mehrere Sätze von Zylindern oder Saugnäpfen an, um die Abstands umwandlung abzuschließen.

Die obigen Tabellen sind allgemeine Auswahl vergleiche, die nicht den einheitlichen Spezifikationen eines einzelnen Produkts entsprechen. Die endgültigen Inspektions berichte über Reinigungs qualität, Kontakt chemikalien und werkseitige Partikel haben Vorrang.

Xinda hat seit 2000 die Kern übertragungs technologie aus Japan und Deutschland eingeführt. Die Produkte umfassen Präzisions schieber mit variabler Distanz, Modul mit variabler Distanz, integrierte Miniatur schieber, Blade zylinder, ultra dünne Vakuum zylinder, rotierende Vakuum zylinder, Gleit tisch zylinder und Luft quellen verarbeitung steile. In der Halbleiters zene wird normaler weise kein bloßer Zylinder allein gekauft, sondern ein "zylinder geführter Vakuum-Adsorption entfernungs mechanismus", der eine Aufnahme-und Freigabe einheit bildet.

• Wafer haben eine geringe Last, erlauben jedoch keinen Aufprall: Die Bohrung muss nicht blind groß sein, und der Schwerpunkt liegt auf einem niedrigen Start und einer geringen Stabilität.

• Vakuum zylinder absaug wafer: Das Material, der Vakuum grad und die Belüftung szeit der Saug düse sollten an den Durchmesser und die Oberfläche des Films angepasst werden, um ein Verrutschen oder Markieren zu vermeiden.

• Nach dem Nachfüllen von Öl und Nebel ist an sauberen Arbeits ställen verboten. Die Demontage und Reparatur des öl freien vor geschmierten Zylinders erfordert einen staubfreien Handschuh betrieb.

• Die Kolbenstange vermeidet eine langfristige einseitige Seiten kraft, da sonst die Führungs hülse zur Staub produktion abgenutzt wird.

• Die externen Auslass öffnungen werden separat übernommen und teilen sich das Auspuffrohr nicht mit anderen Ventil öffnungen.

• Es wird empfohlen, vor dem Betreten der Halbleiter ausrüstung eine saubere Anpassungs bestätigung und einen Hochfrequenz lebensdauer test durch zuführen.

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. hat einen vollständigen Prozess von der Rohstoff inspektion über die CNC-Verarbeitung, Montage und Inbetrieb nahme bis hin zur Werks inspektion eingerichtet, der mit Präzisions prüfgeräten ausgestattet ist. Der Anteil der Forschungs-und Entwicklungs techniker beträgt etwa 60%, und die Produkte werden in 3C-Elektronik, Halbleitern und neuen Energie batterien eingesetzt, Medizinische Geräte, Verpackungs maschinen und andere Bereiche und werden nach Taiwan, Südkorea, verkauft. Deutschland und Südostasien.

Halbleiter-bezogene Ausführungs komponenten können gemäß der Zylinder kombination mit variablen Modulen geliefert werden: Ultra dünner Vakuum zylinder, rotierender Vakuum zylinder, Klingen zylinder und Gleit tisch zylinder können je nach Hub, Zylinder durchmesser, Einbau fläche, magnetischer Öffnungs position, Vakuums chnitt stelle und nicht standard mäßige Form angepasst werden. Das Ende mit variabler Entfernung ist entsprechend der Anzahl der Arbeits plätze, dem Achsen abstand und der äqui-/ungleichen Form angepasst. Es wird empfohlen, wiederholte Position ierungs prüfungen, Anweisungen zum Dichtung material, Anweisungen zur öl freien Schmierung und Informationen zur Bestätigung der sauberen Anpassung anzufordern. Die spezifische Reinigungs stufe unterliegt den Projekt anforderungen und der Proben überprüfung.