Cylindre spécial pour semi-conducteurs: une percée technologique dans les composants exécutifs pneumatiques de précision en salle blanche

L’environnement de fabrication des semi‑conducteurs est extrêmement sensible aux contaminants: dans une salle blanche de classe 1, le nombre de particules d’au moins 0,1 µm ne doit pas dépasser une par pied cube. Les vérins industriels traditionnels génèrent, en cours de fonctionnement, des particules d’usure du caoutchouc, des vapeurs d’huile lubrifiante et des débris métalliques; une fois introduits dans le processus de fabrication, ils entraînent directement la mise au rebut des plaquettes de silicium. Dans le même temps, la manipulation des plaquettes nécessite une précision de positionnement de ± 0,01mm, la décharge électrostatique doit être contrôlée dans la plage de 10 ³-10 ⁹ Ω et l'environnement gazeux corrosif exige que les composants aient une capacité anticorrosion de niveau C. Ces exigences strictes empêchent les cylindres industriels à usage général de répondre aux scénarios d'application des semi-conducteurs.

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. a réalisé une optimisation structurelle complète pour les scénarios d'application des semi-conducteurs basés sur la technologie aérodynamique de précision introduite du Japon et d'Allemagne en 2000:

Système d'étanchéité à faible teneur en poussière: En utilisant une lubrification spéciale des graisses fluorées avec un anneau anti-poussière UHMW-PE, le coefficient de frottement est réduit à moins de 0,05 et la perte d'usure est contrôlée à moins de 0,001mm/10 000 fois, ce qui élimine complètement la production de particules.
Conception sans huile: La paroi intérieure du cylindre est polie avec précision par Ra ≤ 0,4 μm, avec un piston en matériau composite auto-lubrifiant, aucune lubrification supplémentaire n'est nécessaire tout au long du processus pour éviter que le brouillard d'huile ne pollue l'environnement propre.
Structure antistatique: Le cylindre, la tige de piston et les pièces d'installation sont tous des matériaux conducteurs, la résistance de surface est contrôlée à 10 ³-10 ⁹ Ω et le temps de dissipation électrostatique est inférieur à 0,5 seconde, ce qui est conforme à la norme ESD-S20.20.
Matériau résistant à la corrosion: Les pièces en contact avec le gaz de processus sont traitées avec de l'acier inoxydable SUS316L ou un revêtement spécial, qui peut résister aux gaz corrosifs tels que HF et H₂ SO. Il a passé le test de brouillard salin ISO 9227 pendant 500 heures sans corrosion.

Les cylindres spéciaux de Xinda Semiconductor se comportent bien sur les indicateurs clés suivants: précision de positionnement répétée± 0.01mm, Fréquence de réponse 5Hz, durée de vie de plus de 500 000 fois sans atténuation. Le produit a passé la certification de sécurité SEMI S2, conforme à la norme ISO 14644-1 pour les salles blanches, tous les matériaux répondent aux exigences de la directive RoHS. Dans les applications de manutention de plaquettes, l'onde d'aspiration du cylindre de ventouse à vide est contrôlée à moins de ± 2% pour assurer une transmission sans dommage des plaquettes de 8 à 12 pouces.

Depuis sa création en 2000, Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. s'est toujours concentrée sur le développement et la fabrication de composants pneumatiques de précision. Les principaux produits de la société comprennent la glissière à distance de précision, le module à distance, la mini-glissière intégrée, le cylindre à vide, le cylindre à vide rotatif, le traitement de la source d'air, l'électrovanne, le générateur de vide, l'écrou sans dents/vis, le fil de tige optique, l'arbre optique de précision chromé dur, l'arbre de guidage, l'arbre principal de niveau de meulage, l'arbre de rotation et d'autres gammes complètes sont largement utilisés dans les semi-conducteurs, 3C. Assemblage de batteries à énergie nouvelle, instruments médicaux, de mesure optique et autres domaines.
La société adhère à la philosophie d'entreprise de «service rapide, qualité stable, livraison ponctuelle et sans souci après-vente». Le personnel technique de R & D représente plus de 30% et la performance du produit est la première au monde. Le laboratoire de la société est équipé d'un spectromètre, d'un projecteur, d'une machine à tirer, d'un microscope métallographique, d'un testeur de brouillard salin, d'un testeur de dureté et d'autres équipements de test de précision pour garantir que chaque produit a subi une inspection stricte pleine grandeur et une vérification des performances. À l'heure actuelle, les produits Xinda ont été approuvés par de nombreux instituts de l'Académie chinoise des sciences et exportés vers Taiwan, la Corée du Sud, l'Allemagne et l'Asie du Sud-Est, gagnant la confiance des clients mondiaux.

Avec le développement rapide de l'industrie chinoise des semi-conducteurs, le marché national des équipements semi-conducteurs devrait dépasser 30 milliards de dollars américains en 2025, mais le taux de localisation des composants pneumatiques haut de gamme est inférieur à 15%. Avec 25 ans d'accumulation technologique et la technologie de base du Japon et de l'Allemagne, les cylindres spéciaux de Xinda Semiconductor ont atteint le niveau international avancé en termes d'indicateurs de base tels que la propreté, la précision et la fiabilité, et peuvent réaliser le remplacement de la localisation des marques importées. À l'avenir, la société continuera d'augmenter ses investissements dans la recherche et le développement et lancera des produits pneumatiques plus sophistiqués adaptés à des processus avancés pour aider l'industrie chinoise des semi-conducteurs à contrôler de manière indépendante.