กระบอกสูบพิเศษสำหรับเซมิคอนดักเตอร์: ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีในตัวกระตุ้นนิวเมติกที่มีความแม่นยำในห้องสะอาด

สภาพแวดล้อมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีความไวต่อมลสารอย่างยิ่งโดยในห้องสะอาดระดับ Class 1อนุภาคที่มีขนาด ≥0.1ไมครอนต้องมีไม่เกิน1อนุภาคต่อหนึ่งลูกบาศก์ฟุตกระบอกสูบอุตสาหกรรมแบบดั้งเดิมเมื่อทำงานจะก่อให้เกิดอนุภาคฝุ่นจากการสึกหรอของยางไอระเหยจากน้ำมันหล่อลื่นและเศษโลหะซึ่งหากเข้าสู่กระบวนการผลิตจะทำให้แผ่นเวเฟอร์เสียหายและต้องทิ้งทันทีในขณะเดียวกันการจัดการเวเฟอร์ต้องใช้ความแม่นยำในการระบุตำแหน่ง ± 0.01มม. การปล่อยไฟฟ้าสถิตต้องได้รับการควบคุมภายในช่วง10 ³-10 ⁹ Ω และสภาพแวดล้อมของก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนต้องการให้องค์ประกอบมีความสามารถในการป้องกันการกัดกร่อนระดับ C ข้อกำหนดที่เข้มงวดเหล่านี้ทำให้กระบอกสูบอุตสาหกรรมทั่วไปไม่สามารถตอบสนองสถานการณ์การใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ได้

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. ใช้เทคโนโลยีนิวเมติกที่มีความแม่นยำซึ่งนำเข้าจากญี่ปุ่นและเยอรมนีในปี2000และดำเนินการเพิ่มประสิทธิภาพโครงสร้างที่ครอบคลุมสำหรับสถานการณ์การใช้งานเซมิคอนดักเตอร์:

ระบบปิดผนึกฝุ่นต่ำ: ด้วยการหล่อลื่นจาระบีฟลูออรีนพิเศษและแหวนกันฝุ่น UHMW-PE ค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานจะลดลงเหลือน้อยกว่า0.05และควบคุมปริมาณการสึกหรอภายใน0.001มม./10,000ครั้งเพื่อกำจัดการสร้างอนุภาคอย่างสมบูรณ์
การออกแบบที่ปราศจากน้ำมัน: ผนังด้านในของกระบอกสูบได้รับการบำบัดด้วยความแม่นยำ Ra≤ 0.4μm ด้วยลูกสูบคอมโพสิตที่หล่อลื่นตัวเองไม่จำเป็นต้องมีการหล่อลื่นเพิ่มเติมตลอดกระบวนการทั้งหมดเพื่อหลีกเลี่ยงละอองน้ำมันที่ก่อให้เกิดมลพิษต่อสิ่งแวดล้อมที่สะอาด
โครงสร้างป้องกันไฟฟ้าสถิตย์: บล็อกกระบอกสูบก้านลูกสูบและชิ้นส่วนที่ติดตั้งทั้งหมดทำจากวัสดุที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้าความต้านทานพื้นผิวจะถูกควบคุมที่10 ³-10⁹ Ω และเวลาในการกระจายไฟฟ้าสถิตน้อยกว่า0.5วินาทีซึ่งเป็นไปตามมาตรฐาน ESD-S20.20
วัสดุป้องกันการกัดกร่อน: ชิ้นส่วนที่สัมผัสกับก๊าซในกระบวนการทำจากสแตนเลส SUS316L หรือการเคลือบพิเศษซึ่งสามารถทนต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนเช่น HF และ Hโลหะและผ่านการทดสอบการพ่นเกลือ ISO 9227เป็นเวลา500ชั่วโมงโดยไม่มีการกัดกร่อน

กระบอกสูบพิเศษของ Xinda Semiconductor ทำงานได้ดีในตัวบ่งชี้หลักต่อไปนี้: ความแม่นยำในการระบุตำแหน่งซ้ำถึง±0.01มม., ความถี่ในการตอบสนอง5Hz, อายุการใช้งานมากกว่า500,000ครั้งโดยไม่มีการลดทอน. ผลิตภัณฑ์ผ่านการรับรองความปลอดภัย SEMI S2และเป็นไปตามมาตรฐานห้องสะอาด ISO 14644-1วัสดุทั้งหมดเป็นไปตามข้อกำหนดของ RoHS 。ในการใช้งานการจัดการเวเฟอร์คลื่นแรงดึงของกระบอกสูบถ้วยดูดสูญญากาศจะถูกควบคุมภายใน ± 2% เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการส่งเวเฟอร์ขนาด8นิ้วถึง12นิ้วที่เสียหาย

นับตั้งแต่ก่อตั้งในปี2543 Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. ได้ให้ความสำคัญกับการวิจัยและพัฒนาและการผลิตชิ้นส่วนนิวเมติกที่มีความแม่นยำสูงมาโดยตลอดผลิตภัณฑ์หลักของบริษัทได้แก่โต๊ะเลื่อนแบบแปรผันที่มีความแม่นยำ, โมดูลแปรผัน, โต๊ะเลื่อนขนาดเล็กในตัว, กระบอกสูบสูญญากาศ, กระบอกสูบสูญญากาศแบบหมุน, การบำบัดแหล่งอากาศ, โซลินอยด์วาล์ว, เครื่องกำเนิดสูญญากาศ, น็อต/สกรูที่ไม่มีฟัน, สายเคเบิลแบบแท่งออปติคอล, แกนออปติคอลที่มีความแม่นยำชุบแข็งโครเมียม, เพลาบังคับ, เพลาขับเกรดเจียร, เพลาหมุนและสายผลิตภัณฑ์อื่นๆที่สมบูรณ์ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในเซมิคอนดักเตอนดักเตอร์, 3C, 3C, 3C, การประกอบแบตเตอรี่พลังงานใหม่การแพทย์เครื่องมือวัดแสงและสาขาอื่นๆ
บริษัทยึดมั่นในปรัชญาการดำเนินธุรกิจของ "บริการตรงเวลาคุณภาพคงที่การจัดส่งตรงเวลาและหลังการขายที่ไร้กังวล" บุคลากรด้านเทคนิค R & D มีสัดส่วนมากกว่า30% และประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์เป็นผู้นำระดับโลกห้องปฏิบัติการของบริษัทติดตั้งอุปกรณ์ทดสอบความแม่นยำเช่นสเปกโตรมิเตอร์โปรเจ็กเตอร์เครื่องดึงแรงกล้องจุลทรรศน์โลหะเครื่องทดสอบการพ่นเกลือเครื่องทดสอบความแข็งฯลฯเพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์แต่ละชิ้นผ่านการทดสอบขนาดเต็มอย่างเข้มงวดและการตรวจสอบประสิทธิภาพปัจจุบันผลิตภัณฑ์ Xinda ได้รับการยอมรับจากสถาบันหลายแห่งของ Chinese Academy of Sciences และส่งออกไปยังตลาดไต้หวันเกาหลีใต้เยอรมนีและเอเชียตะวันออกเฉียงใต้และได้รับความไว้วางใจจากลูกค้าทั่วโลก

ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของจีนตลาดอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในประเทศคาดว่าจะเกิน30พันล้านดอลลาร์สหรัฐในปี2568แต่อัตราการแปลชิ้นส่วนนิวเมติกระดับไฮเอนด์นั้นน้อยกว่า15% ด้วยการสะสมเทคโนโลยี25ปีและเทคโนโลยีหลักของญี่ปุ่น-เยอรมันกระบอกสูบพิเศษของ Xinda Semiconductor ได้ก้าวไปสู่ระดับขั้นสูงในระดับสากลในแง่ของความสะอาดความแม่นยำความน่าเชื่อถือและตัวบ่งชี้หลักอื่นๆซึ่งสามารถทดแทนแบรนด์นำเข้าได้ในท้องถิ่นในอนาคตบริษัทจะเพิ่มการลงทุนด้านการวิจัยและพัฒนาอย่างต่อเนื่องและเปิดตัวผลิตภัณฑ์นิวเมติกที่มีความแม่นยำมากขึ้นซึ่งปรับให้เข้ากับกระบวนการขั้นสูงเพื่อช่วยให้อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของจีนสามารถควบคุมได้อย่างอิสระ