| Trang web chính thức của Công nghiệp Hân Đạt

半导体专用气缸怎么选:洁净室低发尘气缸、超薄真空气缸与晶圆搬运方案产品图

Cách chọn xi lanh bán dẫn đặc biệt: xi lanh ít bụi trong phòng sạch, xi lanh chân không siêu mỏng và sơ đồ xử lý wafer ()

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. cung cấp các xi lanh chân không siêu mỏng, xi lanh chân không quay, xi lanh lưỡi dao, xi lanh trượt và các trạm di chuyển xung quanh việc truyền wafer, cố định tinh thể, phân loại, thử nghiệm đầu dò và tải xuống và các trạm xử lý phòng sạch. Giải pháp hợp tác mô-đun biến thiên để giải quyết bụi xi lanh thông thường, ô nhiễm sương dầu, đập lớn, mồi

  • Thương hiệu: Xinda
  • Loại: Ngành công nghiệp bán dẫn
  • Hướng dẫn cách:
  • Cách truyền:
  • Xử lý bề mặt:
  • Tính năng sản phẩm:
  • Lĩnh vực ứng dụng:

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. cung cấp các xi lanh chân không siêu mỏng, xi lanh chân không quay, xi lanh lưỡi dao, xi lanh trượt và các trạm di chuyển xung quanh việc truyền wafer, cố định tinh thể, phân loại, thử nghiệm đầu dò và tải xuống và các trạm xử lý phòng sạch. Giải pháp hợp tác mô-đun biến thiên để giải quyết bụi xi lanh thông thường, ô nhiễm sương dầu, độ đập lớn, các điểm đau của tự động hóa bán dẫn như sự không ổn định của miếng hút.

Bụi tóc thấp
Thích ứng phòng sạch
±0,02mm
Tham chiếu định vị lặp lại
Bôi trơn không dầu
Niêm phong kết tủa thấp
Hút chân không
Lấy và đặt wafer không phá hủy
01

Xi lanh chuyên dụng bán dẫnĐịnh nghĩa và nguyên tắc

Xi lanh chuyên dụng bán dẫn là bộ phận truyền động khí nén cho thiết bị sản xuất bán dẫn và các kịch bản tự động hóa độ sạch cao. Chức năng cốt lõi của nó là hoàn thành việc di chuyển, kẹp, nâng, định vị và phát hiện các tấm wafer, chất nền, thuyền pha lê và giỏ hoa trong một không gian hạn chế., Đồng thời giảm thiểu việc giải phóng hạt, ảnh hưởng của ô nhiễm sương mù dầu và nhiễu loạn khí thải đến môi trường quá trình. Sự khác biệt giữa nó và các xi lanh công nghiệp thông thường không phải là "có thể kéo dài ra và rút lại", mà là thiết kế sạch: vật liệu, niêm phong, bôi trơn, khí thải và hướng dẫn phải được kiểm tra lại theo cấp độ phòng sạch.

Cấu trúc điển hình bao gồm khối xi lanh, piston, cơ cấu dẫn hướng, bộ phận làm kín, công tắc cảm biến từ tính hoặc phát hiện vị trí, cổng khí và bề mặt lắp đặt. Trạm bán dẫn thường được trang bị cấu trúc tác động kép để đảm bảo ổn định khứ hồi; nếu thực hiện hấp phụ, đầu hút chân không, máy tạo chân không và bộ điều tiết đệm sẽ được tích hợp ở đầu xi lanh hoặc bàn trượt; nếu thực hiện xử lý thay đổi, mô-đun biến đổi sẽ được đồng bộ hóa. Lái xe nhiều nhóm xi lanh hoặc vòi phun để hoàn thành việc chuyển đổi khoảng cách.

02

Yêu cầu cốt lõi của xi lanh phòng sạch

Thiết kế bụi tóc thấp

Cặp làm kín ít mài mòn và bề mặt tiếp xúc nhẵn được sử dụng để giảm các hạt sinh ra do ma sát của vòng gạt bụi và ray dẫn hướng của thanh piston.

Bôi trơn không dầu

Bôi trơn trước hoặc phớt tự bôi trơn loại PTFE trong nhà máy không được kết nối với bộ phun dầu để tránh sương dầu rơi xuống bề mặt của tấm wafer và các bộ phận quang học.

Chất liệu thép không gỉ

Hộp xi lanh và thanh piston được ưu tiên SUS304/316 hoặc lớp phủ cứng; khu vực tiếp xúc sản phẩm được lựa chọn theo tần suất làm sạch hóa chất.

Xử lý khí thải

Các trạm làm sạch có thể được trang bị cổng thoát khí bên ngoài hoặc ống xả tập trung mà không cần thổi trực tiếp khí thải của xi lanh vào đường dẫn dòng wafer.

Định vị lặp lại cao

Được trang bị ray dẫn hướng chính xác, công tắc cảm biến từ tính hoặc phản hồi cách tử; sơ đồ biến thiên tương tự của Xinda có thể được định vị nhiều lần ở mức ± 0,02mm.

Độ rung thấp Hạ cánh mềm

Bộ đệm tiết lưu, tràn ở tốc độ thấp hoặc bộ đệm bên ngoài làm giảm nguy cơ va đập và hư hỏng mép wafer.

Dự ánXi lanh thông thườngXi lanh sạch bán dẫn
Cách bôi trơnBôi trơn sương dầuKhông dầu/bôi trơn trước kết tủa thấp
Vật liệu niêm phongGioăng làm kín đa năng NBRPTFE, VOC thấp, cao su flo lựa chọn theo yêu cầu
Chất liệuHợp kim nhôm/Thép thông thườngXi lanh thép không gỉ, cần piston cứng
Ống xảHàng bên ngoài trực tiếpHút khí thải ra bên ngoài hoặc xử lý tập trung
Môi trường áp dụngTự động hóa công nghiệp nói chungPhòng sạch ISO Class, xử lý wafer

Bảng trên cho thấy sự lựa chọn và so sánh chung, không tương đương với thông số kỹ thuật thống nhất của một sản phẩm; cuối cùng, mức độ sạch, hóa chất tiếp xúc và báo cáo thử nghiệm hạt nhà máy sẽ được ưu tiên áp dụng.

03

Dòng xi lanh trạm bán dẫn Xinda

Xinda đã giới thiệu công nghệ truyền động cốt lõi từ Nhật Bản và Đức vào năm 2000. Các sản phẩm của công ty bao gồm bàn trượt biến thiên chính xác, mô-đun biến thiên, bàn trượt thu nhỏ tích hợp, xi lanh lưỡi dao, xi lanh chân không siêu mỏng, xi lanh chân không quay, xi lanh trượt và Các bộ phận xử lý nguồn khí. Các kịch bản bán dẫn thường không chỉ mua một xi lanh trần, mà là "cơ cấu biến thiên hấp phụ chân không dẫn hướng xi lanh" để tạo thành một bộ phận lấy và đặt.

Xi lanh chân không siêu mỏng

Khối xi lanh mỏng và có vòi hút chân không tích hợp, thích hợp cho việc hấp thụ không phá hủy các vòng wafer, chip và đế thủy tinh; nó có thể được trang bị mô-đun biến thiên để chuyển mảng.

Xoay xi lanh chân không

Hấp phụ được thực hiện đồng thời với hiệu chỉnh lật/tư thế, thích hợp cho việc cấp liệu tinh thể rắn, thay đổi khoảng cách trong giỏ hoa và vận chuyển phòng sạch.

Xi lanh lưỡi dao

Thân máy siêu mỏng được sử dụng để hỗ trợ định vị vật liệu đẩy, chặn và ghi chép khe hẹp; nó có thể được đồng bộ hóa với nhiều trạm kết hợp với bàn trượt.

Xi lanh bàn trượt

Nó đi kèm với hướng dẫn tuyến tính và có khả năng chống lại một lực bên nhất định; nó thích hợp cho quá trình ép hành trình ngắn, căn chỉnh và tiếp xúc nhẹ của trạm thăm dò.

Hợp tác mô-đun biến thiên

Mở và đóng nhiều trạm ở khoảng cách bằng nhau/không bằng nhau, mở rộng vòng wafer dày đặc đến khoảng cách quy trình, sau đó chuyển đến xi lanh chân không để nhặt.

Tùy chỉnh phi tiêu chuẩn

Theo hành trình, đường kính xi lanh, hướng lắp đặt, giao diện chân không, vị trí mở từ tính và các yêu cầu về độ sạch.

04

Cảnh ứng dụng điển hình

Xử lý wafer

FOUP lên và xuống vật liệu, chuyển thuyền pha lê, nâng và hạ; yêu cầu ổn định và không va đập, lực đẩy có thể kiểm soát được và bụi thấp.

Phân loại sau khi cắt

Xi lanh lưỡi được sử dụng làm hỗ trợ ghi chép, xi lanh chân không hút chip vào khay; mô-đun biến thiên điều chỉnh khoảng cách.

Tinh thể rắn và gắn

Xoay xi lanh chân không để lật phôi, và xi lanh bàn trượt được định vị bằng áp lực nhẹ; định vị lặp lại bằng lõi ± 0,02mm.

Kiểm tra đầu dò

Máy trạm thử nghiệm nhấn nhẹ tiếp xúc và tải lực vi mô để tránh rung động gây ra tiếp xúc không ổn định.

Cơ quan phụ trợ quang khắc

Có thể sử dụng xi lanh bàn trượt sạch để xử lý mặt nạ, bảo vệ cửa và các khối khóa; độ rung thấp không làm xáo trộn đường ánh sáng.

SMT/dây điện tử sạch

Kiểm tra định vị PCB, FPC, biến dạng tấm; mô-đun biến thiên xi lanh lưỡi dao nâng nhịp.

Các kết hợp phổ biến của các đơn vị lấy và đặt bán dẫn:Mô-đun biến thiên servo cung cấp khoảng cách nhiều trạm → xi lanh bàn trượt hoặc xi lanh lưỡi cắt theo hướng Z/đẩy → xi lanh hút chân không siêu mỏng → công tắc cảm ứng xác nhận vị trí → tốc độ điều khiển van tiết lưu để hạ cánh mềm. Các xi lanh thông thường chỉ chịu trách nhiệm "di chuyển", và các xi lanh bán dẫn cũng chịu trách nhiệm "không di chuyển bụi, không phun nhiên liệu và không va chạm".

05

Công thức lựa chọn và thông số kỹ thuật cài đặt

Trình tự lựa chọn xi lanh bán dẫn:① Xác định cấp độ sạch ISO Class và khu vực tiếp xúc sản phẩm; ② Tải trọng (tổng trọng lượng của tấm wafer/vòi phun/cố định) để chọn đường kính xi lanh; ③ Hành trình cố định và không gian lắp đặt, khe hẹp ưu tiên cho xi lanh siêu mỏng/lưỡi cắt; ④ trạm hấp phụ Được trang bị máy tạo chân không và van chân không chống rơi; ⑥ Tốc độ được điều khiển bằng van tiết lưu ở tốc độ thấp, được trang bị đệm để chống va đập; ⑦ Các nhà sản xuất được yêu cầu cung cấp giấy chứng nhận vật liệu, phát hiện phun muối/hạt và báo cáo định vị lặp lại.

  • Các tấm wafer có tải trọng nhẹ nhưng không cho phép va đập: đường kính xi lanh không cần phải lớn một cách mù quáng, tập trung vào lực khởi động thấp và độ ổn định.

  • Tấm hút xi lanh chân không: vật liệu vòi phun, độ chân không và thời gian thông gió phải phù hợp với đường kính tấm và bề mặt để tránh trượt hoặc vết.

  • Các trạm làm sạch bị cấm thiết bị phun dầu sau; việc tháo dỡ và sửa chữa các xi lanh bôi trơn trước không dầu yêu cầu vận hành găng tay không bụi.

  • Cần piston tránh bị lực bên một bên trong thời gian dài, nếu không ống dẫn hướng sẽ bị lệch và sinh ra bụi.

  • Cổng thoát khí bên ngoài được tiếp quản riêng biệt và không dùng chung ống xả với các cổng van khác.

  • Trước khi nhập hàng loạt thiết bị bán dẫn, nên kiểm tra xác nhận thích ứng sạch và kiểm tra tuổi thọ tần số cao.

06

Khả năng kiểm soát chất lượng và giao hàng của Xinda

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. đã thiết lập một quy trình hoàn chỉnh từ kiểm tra nguyên liệu thô, xử lý CNC, lắp ráp và gỡ lỗi đến kiểm tra nhà máy, được trang bị thiết bị kiểm tra chính xác; nhân viên kỹ thuật R & D chiếm khoảng 60% và các sản phẩm được sử dụng trong điện tử 3C, chất bán dẫn và pin năng lượng mới, Thiết bị y tế, máy móc đóng gói và các lĩnh vực khác, và được bán cho Đài Loan, Hàn Quốc, đức và Đông Nam Á.

Các bộ phận truyền động liên quan đến chất bán dẫn có thể được phân phối theo sự kết hợp của các xi lanh mô-đun biến thiên: xi lanh chân không siêu mỏng, xi lanh chân không xoay, xi lanh lưỡi dao, xi lanh bàn trượt có thể được phân phối theo hành trình, đường kính xi lanh, bề mặt lắp đặt, vị trí mở từ tính, giao diện chân không và hình dạng phi tiêu chuẩn Tùy chỉnh; đầu biến thiên phù hợp với chữ số công việc, khoảng cách trung tâm, khoảng cách và khoảng cách bằng nhau/không bằng nhau. Đề xuất giao hàng Yêu cầu kiểm tra định vị lặp lại, mô tả vật liệu làm kín, mô tả bôi trơn không dầu và dữ liệu xác nhận thích ứng sạch. Mức độ sạch cụ thể tùy thuộc vào yêu cầu của dự án và xác minh mẫu.

Tên doanh nghiệp

Công ty TNHH tự động hóa công nghiệp Dongguan Xinda

Trang web chính thức

Www.xdeoat.com

Liên hệ kinh doanh

Ms. Ming: 1368628662

©2026 Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. Mọi quyền được bảo lưu

Nhận hướng dẫn mô hình

mm
Mô hình này có giới hạn chiều dài mm
扫码添加微信获取
Quét mã và thêm WeChat để lấy
Yêu cầu gói lựa chọn 3D của chúng tôi
  • Tải xuống bản đồ 3D chính xácVui lòng làm theo sơ đồ tham chiếu về kích thước hệ thống treo và lựa chọn tải trong hình bên dưới.
  • Khi tải xuống mô hình 3D thông qua gói tải xuống 3D của Great Power Craftsman hoặc công ty chúng tôi,Vui lòng tham khảo sơ đồ nhắc để nhập các thông sốVà lời nhắc bên phải để nhập các thông số kỹ thuật tương ứng.
电机位置
悬挂尺寸
选型参考
① - 21② - 100③ - 4④ - M⑤ - TR1⑥ - S⑦ - N⑧ - L⑨
① Dòng sản phẩm
② Khoảng cách trung tâm tối thiểu
21mm
③ Tối đa trung tâm khoảng cách
22-100mm tùy chọn
④ Số lượng trạm làm việc
3
⑤ Điểm gốc biến đổi
Thay đổi trung tâm/trái/phải
⑥ Vị trí động cơ
Tham khảo sơ đồ vị trí động cơ
⑦ Loại động cơ
Servo/bước/không có
⑧ Chuyển đổi tín hiệu
NPN/PnP
⑨ Hướng cài đặt mô-đun
T cẩu/D bìa mềm/L bên
Mẹo lựa chọn: Tham khảo lựa chọn "Sơ đồ lựa chọn tải (xem)", Nếu bạn không biết cách chọn, vui lòng tham khảo trang P09 thông tin của chúng tôi, thông báo rằng đây là loại biến thể đầu tiên, cung cấp trang P11"Bảng lựa chọn sơ đồ thiết kế mô-đun biến thiên đồng bộ (tải xuống)", Điền thông tin kỹ thuật của dấu chấm đỏ và gửi cho công ty chúng tôi. Vui lòng lựa chọn hợp lý dựa trên các kịch bản ứng dụng thực tế, yêu cầu tải và không gian lắp đặt, kết hợp với các thông số trên. Nếu bạn có nhu cầu đặc biệt, bạn nên liên hệ với hỗ trợ kỹ thuật để xác nhận để đảm bảo hiệu suất và sự ổn định của thiết bị.
1

Giới thiệu về bàn trượt biến thiên

Bàn trượt biến thiên đồng bộ, còn được gọi là cơ chế biến thiên đồng bộ, là một loại mô-đun. Số lượng thanh trượt biến thiên không ít hơn 2. Trục chủ được sử dụng để điều khiển chuyển động thẳng của nhiều thanh trượt trên thanh dẫn hướng.

Các dạng biến thiên có thể được chia thành:Biến thiên đồng bộVàBiến thiên không đồng bộVv., Chế độ chuyển động có thể được chia thành: biến thiên đồng bộ định vị trung gian, biến thiên đồng bộ định vị đơn phương và biến thiên đồng bộ không đều.

Trục chủ chỉ có thể xoay trong góc được đánh dấu bởi bàn trượt và vượt quá phạm vi góc đặt của nó sẽ làm hỏng trực tiếp cơ cấu biến thiên.

2

Lĩnh vực ứng dụng

Bàn trượt biến thiên được trang bị một tay thao tác hoặc một cốc hút chân không, có thể lấy nhiều phôi từ khay phân loại ở một khoảng cách cố định và đặt nó ở khoảng cách biến thiên, được sử dụng cho các hoạt động xử lý biến thiên trong sản xuất tự động.

Nó có nhiều ứng dụng trong tự động hóa 3C, chất bán dẫn, điện tử, điều trị y tế, máy đóng gói, bộ phân phối, lắp ráp pin ô tô năng lượng mới và thu thập các nhu cầu thiết yếu hàng ngày.

3

Ưu điểm và đặc điểm

  1. Cấu trúc vi mô:Kích thước nhỏ, trọng lượng nhẹ, không gian nhỏ có thể thay đổi phạm vi hoạt động.
  2. Công việc đẳng cách đồng bộ:Trong phạm vi phạm vi phạm vi phạm vi được thiết lập bởi bàn trượt biến thiên đa trạm, có thể nhận ra hoạt động phạm vi phạm vi thay đổi điểm tùy ý tốc độ cao của nhiều bàn trượt.
  3. Đồng bộ hóa khoảng cách không bằng nhau:Nó có thể nhận ra biến thiên định vị đồng bộ từ điểm định vị đến điểm lệch tâm, biến thiên định vị đồng bộ hóa từ điểm định vị sang một bên và biến thiên đồng bộ hóa hoàn toàn khác nhau.
  4. Độ chính xác cao thiết kế:Cơ chế trượt biến thiên đồng bộ được thiết kế nghiêm ngặt, độ chính xác cao, tuổi thọ thực tế cao, độ chính xác, tốc độ cao, định vị và xử lý, có thể tiết kiệm thời gian và nâng cao hiệu quả công việc.
  5. Dễ vận hành:Hoạt động biến thiên rất đơn giản và thuận tiện.
  6. Linh hoạt Tùy Chỉnh:Mô hình biến thiên có biến thiên xoay trục vít, có nhiều thanh trượt để lựa chọn, có thể tùy chỉnh dạng biến thiên theo yêu cầu, nếu có thay đổi hình dạng hoặc kích thước thanh trượt, chu kỳ giao hàng sẽ được kéo dài.
Độ chính xác cao Thu nhỏ Hiệu quả cao Tùy biến
4

Các biện pháp phòng ngừa cho mô-đun biến thiên

  1. Cơ chế này chỉ có thể được sử dụng theo chiều ngang, không phải theo chiều dọc.
  2. Khoảng cách tối đa và khoảng cách tối thiểu của khoảng cách biến thiên không được vượt quá, nếu vượt quá sẽ làm hỏng cơ chế này.
  3. Góc quay của trục chủ không được vượt quá phạm vi góc được chỉ định bởi bàn trượt biến thiên.
  4. Để tránh va chạm và làm hỏng mô-đun trượt, vui lòng không cài đặt các bộ phận trên thanh trượt cản trở hoạt động của thanh trượt.
  5. Tham khảo các thông số mô-men xoắn được đề nghị, vui lòng chọn động cơ phù hợp.
  6. Vui lòng cài đặt bàn trượt biến thiên trên một cơ chế cứng.
  7. Khoảng cách giữa mỗi thanh trượt luôn luôn thay đổi và thanh trượt không thể chạy riêng lẻ.

Sơ đồ thiết bị mô-đun biến thiên

Sơ đồ thiết bị mô-đun biến thiên trong ứng dụng thực tế

Sơ đồ cấu trúc thiết bị

Hiển thị cấu trúc bên trong và bố trí thành phần của mô-đun biến thiên

Ứng dụng dây chuyền sản xuất tự động

Các kịch bản ứng dụng của mô-đun biến thiên trong dây chuyền sản xuất tự động

Hiển thị cảnh ứng dụng

Ứng dụng thực tế của mô-đun biến thiên trong ngành công nghiệp điện tử 3C

Sơ đồ chi tiết cấu trúc

Chi tiết cấu trúc chính của mô-đun biến thiên

Phân tích chi tiết cấu trúc

Cấu trúc chi tiết và nguyên tắc làm việc của các thành phần chính

Sơ đồ nguyên lý làm việc

Quy trình làm việc và nguyên lý của mô-đun biến thiên

Hiển thị nguyên lý làm việc

Sơ đồ quy trình của công việc biến thiên đồng bộ

1. Biến thiên đẳng độ đồng bộ

分中同步等距变距

2. Biến thiên isometric đồng bộ đơn phương

单边同步等距变距

3. Biến thiên khoảng cách cố định đa phân đoạn đồng bộ

同步等距多段定距变距

4. Khoảng cách không bằng nhau và khoảng cách không đồng bộ

不等距定距同步变距

5. Toàn bộ nhóm động tác đồng bộ hóa biến thiên đều từ trái sang phải

整组动子从左向右同步等距变距

6. Sau khi toàn bộ nhóm động tác được dịch, hãy đồng bộ hóa độ biến thiên

整组动子平移后再同步变距

7. Sau khi toàn bộ nhóm động tác được dịch, hãy đồng bộ hóa độ biến thiên

整组动子平移后再同步变距

8. Tham số hóa bất kỳ điểm nào đa trạm biến thiên khoảng cách bằng nhau hoặc không bằng nhau

任意点参数化多工位等距或不等距变距
Quét mã để thêm WeChat
Dịch vụ độc quyền một-một
Nhấp vào nút bên dưới để liên hệ với chúng tôi trực tiếp qua WhatsApp và chúng tôi sẽ trả lời bạn càng sớm càng tốt.
Bắt đầu một cuộc trò chuyện
Chăm sóc khách hàng trực tuyến
● Hiện đang trực tuyến
Chăm sóc khách hàng trực tuyến
Chúng tôi sẽ trả lời bạn càng sớm càng tốt
Xin chào! Chào mừng bạn đến tham khảo ~
Để nhanh chóng liên hệ với chúng tôi, vui lòng gọi:
13686286625(WeChat cùng số)

Bạn cũng có thể nhấp vào nút bên dưới để mở trực tiếp cửa sổ đối thoại dịch vụ khách hàng.