Xi lanh bán dẫn đặc biệt: đột phá công nghệ trong các bộ điều hành khí nén chính xác của phòng sạch

Môi trường sản xuất bán dẫn cực kỳ nhạy cảm với các chất ô nhiễm; trong phòng sạch cấp Class 1, số lượng hạt có kích thước ≥0,1 μm không được vượt quá 1 hạt trên mỗi foot khối. Trong quá trình vận hành, các xy lanh khí công nghiệp truyền thống sẽ sinh ra các hạt mài mòn từ cao su, hơi dầu bôi trơn và các mảnh vụn kim loại; nếu chúng xâm nhập vào quy trình sản xuất, chúng sẽ trực tiếp khiến wafer bị loại bỏ. Đồng thời, việc xử lý wafer yêu cầu độ chính xác định vị ± 0,01mm, phóng tĩnh điện cần được kiểm soát trong phạm vi 10 ³-10 ⁹ Ω và môi trường khí ăn mòn yêu cầu các thành phần có khả năng chống ăn mòn cấp C. Những yêu cầu nghiêm ngặt này khiến xi lanh công nghiệp nói chung không thể đáp ứng các kịch bản ứng dụng bán dẫn.

Dựa trên công nghệ khí nén chính xác được nhập khẩu từ Nhật Bản và Đức vào năm 2000, Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. đã thực hiện tối ưu hóa cấu trúc toàn diện cho các kịch bản ứng dụng bán dẫn:

Hệ thống niêm phong ít bụi: Sử dụng mỡ flo đặc biệt để bôi trơn với vòng chống bụi UHMW-PE, hệ số ma sát giảm xuống dưới 0,05 và lượng mài mòn được kiểm soát trong vòng 0,001mm/10.000 lần, loại bỏ hoàn toàn việc tạo hạt.
Thiết kế không dầu: Thành trong của xi lanh được mài chính xác Ra ≤ 0,4μm, với piston composite tự bôi trơn, không cần bôi trơn bổ sung trong suốt quá trình để tránh sương dầu làm ô nhiễm môi trường sạch.
Cấu trúc chống tĩnh điện: Thân xi lanh, cần piston và các bộ phận lắp đặt đều được làm bằng vật liệu dẫn điện, điện trở bề mặt được kiểm soát ở mức 10 ³-10 ⁹ Ω, thời gian tiêu tán tĩnh điện dưới 0,5 giây, đạt tiêu chuẩn ESD-S20.20.
Chất liệu chống ăn mòn: Các bộ phận tiếp xúc với khí trong quá trình được xử lý bằng thép không gỉ SUS316L hoặc lớp phủ đặc biệt, có thể chịu được khí ăn mòn như HF và Hđỗ, và đã vượt qua bài kiểm tra phun muối ISO 9227 trong 500 giờ mà không bị ăn mòn.

Xi lanh đặc biệt bán dẫn Xinda hoạt động tốt trong các chỉ số chính sau: độ chính xác định vị lặp lại đạt±0,01mm, Tần số đáp ứng là 5Hz, tuổi thọ hơn 500.000 lần mà không suy giảm. Sản phẩm thông qua SEMI S2 chứng nhận an toàn, phù hợp với ISO 14644-1 phòng sạch tiêu chuẩn, tất cả các vật liệu đáp ứng RoHS chỉ thị yêu cầu. Trong các ứng dụng xử lý wafer, sóng lực hấp thụ của xi lanh giác hút chân không được kiểm soát trong khoảng ± 2% để đảm bảo việc truyền các tấm wafer từ 8 inch đến 12 inch không bị hư hỏng.

Kể từ khi thành lập vào năm 2000, Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. luôn tập trung vào R & D và sản xuất các thành phần khí nén chính xác. Các sản phẩm chính của công ty bao gồm bàn trượt biến thiên chính xác, mô-đun biến thiên, bàn trượt thu nhỏ tích hợp, xi lanh chân không, xi lanh chân không quay, xử lý nguồn khí, van điện từ, máy tạo chân không, đai ốc/vít không răng, thanh dẫn quang chính xác mạ crom cứng, trục dẫn hướng, trục chủ động cấp mài, trục quay và các dòng sản phẩm hoàn chỉnh khác, được sử dụng rộng rãi trong chất bán dẫn, 3C, lắp ráp pin năng lượng mới, điều trị y tế, dụng cụ đo quang học và các lĩnh vực khác.
Công ty tuân thủ triết lý kinh doanh "dịch vụ kịp thời, chất lượng ổn định, giao hàng đúng hạn và dịch vụ sau bán hàng không cần lo lắng". Nhân viên kỹ thuật R & D chiếm hơn 30% và hiệu suất sản phẩm hàng đầu thế giới. Phòng thí nghiệm của công ty được trang bị các thiết bị kiểm tra chính xác như máy quang phổ, máy chiếu, máy kéo, kính hiển vi kim loại, máy kiểm tra phun muối, máy đo độ cứng, v. v. để đảm bảo rằng mỗi sản phẩm đã trải qua quá trình kiểm tra kích thước đầy đủ nghiêm ngặt và xác minh hiệu suất. Hiện tại, các sản phẩm của Xinda đã được nhiều viện của Viện Khoa học Trung Quốc công nhận và được xuất khẩu sang thị trường Đài Loan, Hàn Quốc, Đức và Đông Nam Á, giành được sự tin tưởng rộng rãi của khách hàng toàn cầu.

Với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc, quy mô thị trường thiết bị bán dẫn trong nước dự kiến sẽ vượt 30 tỷ đô la Mỹ vào năm 2025, nhưng tỷ lệ nội địa hóa các linh kiện khí nén cao cấp chưa đến 15%. Với 25 năm tích lũy công nghệ và công nghệ cốt lõi của Nhật Bản và Đức, xi lanh đặc biệt của Xinda Semiconductor đã đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế về các chỉ số cốt lõi như độ sạch, độ chính xác và độ tin cậy, đồng thời có thể thay thế các thương hiệu nhập khẩu trong nước. Trong tương lai, công ty sẽ tiếp tục tăng cường đầu tư cho R & D và tung ra nhiều sản phẩm khí nén chính xác hơn phù hợp với quy trình tiên tiến để giúp ngành công nghiệp bán dẫn của Trung Quốc độc lập và có thể kiểm soát được.