Trong các bản vá, phân loại chip, vận chuyển giỏ hoa bán dẫn, xếp dỡ tấm quang điện, lắp ráp thiết bị y tế và các bộ phận nhỏ 3C, các trạm thiết bị ngày càng dày đặc hơn, và có ba loại vấn đề với xi lanh truyền thống và các bộ phận chân không bên ngoài: trục xi lanh Độ dày lớn, bàn trượt hẹp được xếp chồng lên nhau và can thiệp vào các cơ chế liền kề; ống chân không và đường tín hiệu được định tuyến riêng, khi nhiều trạm nằm cạnh nhau, đường ống bị vướng và hệ thống dây điện mở từ tính bị rối loạn; các bộ phận mỏng, mảnh vụn và phương tiện wafer rất nhạy cảm với độ song song và độ ổn định hấp thụ. Các xi lanh thanh đẩy thông thường thiếu chân không và hướng dẫn tích hợp, dễ bị lệch và trầy xước., Độ lệch định vị. Xi lanh chân không siêu mỏng tích hợp bàn trượt siêu mỏng, đường ống chân không tích hợp, phát hiện vị trí cảm ứng từ tính, lò xo hoặc đệm cơ học và sử dụng một vị trí nhỏ hơn để hoàn thành "hấp khác-xử lý-định vị-giải phóng" và thích ứng hơn với mật độ tự động hóa cao Bố trí nhiều trạm làm việc. [9,12](@ref)

Mô hình chân không bàn trượt siêu mỏng đề cập đến các thông số công khai như Xinda XD-0806B-L-S và XD-1008-50-C; áp suất, nhiệt độ và tốc độ xi lanh siêu mỏng nói chung đề cập đến các mẫu thông thường của bộ điều hành mỏng SDA/ACQ/JQ và báo cáo thử nghiệm thực tế sẽ được ưu tiên áp dụng. [9,12,10,16](@ ref)

Xi lanh chân không siêu mỏng không phải là một xi lanh "đầu ra khí" một mình, mà là một lực đẩy khí nén và hấp phụ chân không. Đầu tiên tính toán lực đẩy: đầu ra lý thuyết của xi lanh mỏng tác động kép có thể được ước tính dựa trên diện tích đường kính xi lanh nhân với áp suất sử dụng và lực thực tế có thể sử dụng phải trừ đi ma sát làm kín, áp suất ngược và tổn thất đường ống; hệ số an toàn tải được khuyến nghị là 1, 5-2 lần trong điều kiện tự động hóa mỏng, Để tránh độ trễ chuyển động do đường kính xi lanh nhỏ. [2,10](@ ref) Tính toán hấp phụ chân không: lực hút xấp xỉ được tính toán dựa trên diện tích cốc hút hiệu quả, độ chân không của hệ thống, độ nhám bề mặt của phôi và lượng không khí rò rỉ. Kính mịn và tấm silicon có thể có hệ số hiệu quả cao hơn, gốm xốp, PCB thô, Vật liệu màng thoáng khí nên giảm hệ số hiệu quả và tăng số lượng cốc hút. Tốc độ cuối cùng: Tốc độ xi lanh siêu mỏng thông thường có thể là 30-500 mm/s. Các mô hình chính xác của chân không bàn trượt tích hợp thường được gỡ lỗi ở mức 50-300 mm/s; khả năng đệm, phản ứng từ tính và thời gian phá hủy chân không phải được kiểm tra đồng thời. [4,9,16](@ref)

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. được thành lập vào năm 2000. Công ty này đã giới thiệu công nghệ truyền động cốt lõi từ Nhật Bản và Đức, tập trung vào bàn trượt biến thiên chính xác, mô-đun biến thiên, bàn trượt siêu nhỏ tích hợp, xi lanh lưỡi dao, xi lanh chân không quay và các bộ phận xử lý nguồn khí., Van điện từ, máy tạo chân không, đai ốc không răng, vít không răng, thiết bị cáp thanh đánh bóng, R & D và sản xuất trục quang học chính xác mạ crom cứng, trục dẫn hướng, trục chủ cấp mài, trục quay, v. v. Công ty đã thiết lập một quy trình hoàn chỉnh từ kiểm tra nguyên liệu thô, gia công chính xác, lắp ráp và gỡ lỗi đến kiểm tra nhà máy. Nó được trang bị trung tâm gia công CNC và thiết bị kiểm tra độ chính xác. Độ chính xác định vị lặp lại của biến thiên và bàn trượt có thể đạt được ± 0,02mm, tùy thuộc vào báo cáo thử nghiệm thực tế. [3](@ref)

Sản phẩm chân không bàn trượt siêu mỏng Xinda bao gồm các mẫu chân không lưỡi/bàn trượt như XD-0806B-L-S, XD-1008-50-C, v. v., hỗ trợ hướng dẫn tuyến tính Gothic, đường ống chân không tích hợp, phát hiện vị trí cảm ứng từ tính, lò xo hoặc đệm đa tầng, điều chỉnh độ cao vòi phun; mô-đun mô-đun kết hợp mô-đun, mô-đun biến thiên, cốc hút chân không, van điện từ, máy tạo chân không tích hợp hút và phá vỡ và van điều chỉnh áp suất điện tử. Sản phẩm được sử dụng trong điện tử 3C, chất bán dẫn, pin năng lượng mới, sản xuất ô tô, dụng cụ đo lường chính xác, thiết bị y tế, máy móc đóng gói và các lĩnh vực khác, và được bán cho Đài Loan, Hàn Quốc, Đức và Đông Nam Á; nhân viên kỹ thuật R & D chiếm khoảng 60% và đội ngũ cốt cán của nhóm Có 15 năm kinh nghiệm trong lĩnh vực cảm biến công nghiệp và truyền động khí nén. [3,9,12](@ref)

Điện tử, chất bán dẫn, quang điện và tự động hóa y tế tiếp tục cải thiện các yêu cầu về "mỏng hơn, dày đặc hơn và ổn định hơn". Xi lanh chân không siêu mỏng đang chuyển từ một bộ truyền động đơn lẻ sang một mô-đun tích hợp bàn trượt, chân không, cảm biến, đệm và biến thiên. Khi mua hàng, phải xác nhận đồng thời độ dày của thân và khoảng cách tâm song song, hành trình đường kính xi lanh và lực đẩy lý thuyết, số lượng và thời gian đáp ứng của cốc hút chân không, song song và định vị lặp lại của ray dẫn hướng, dạng đệm, giao diện cảm biến từ tính và cấp lọc nguồn không khí; chất bán dẫn và quang điện cũng nên Đưa ra các yêu cầu về độ sạch, chống tĩnh điện và không có dầu silicon. Đối với số lượng lớn nhiều trạm, nên kiểm tra năng suất lấy và thả, thời gian phá hủy chân không, độ ổn định của cảm ứng từ tính và thống kê tuổi thọ liên tục. Xinda có thể cung cấp xi lanh chân không bàn trượt siêu mỏng, xi lanh chân không xoay và một bộ giải pháp chân không khí nén hoàn chỉnh theo kích thước phôi, độ cao của lẵng hoa/thuyền pha lê và phạm vi biến thiên, giảm chi phí gỡ lỗi của nhiều nhà cung cấp. [9,12,3](@ref)