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半导体专用气缸怎么选:洁净室低发尘气缸、超薄真空气缸与晶圆搬运方案产品图

Comment choisir un cylindre spécial pour semi-conducteurs: cylindre à faible teneur en poussière dans une salle blanche, cylindre à vide ultra-mince et solution de manutention de plaquettes ()

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. fournit des cylindres de vide ultra-minces, des cylindres de vide rotatifs, des cylindres de lame, des cylindres de poulie et des modules de déplacement autour de la transmission des plaquettes, de la fixation des cristaux, du tri des plaquettes, des tests de sonde et des positions de portier propres pour résoudre la poussière des cylindres ordinaires, la pollution par le brouillard d'huile, les battements et les pastilles

  • Marque: XINDA
  • Type: Industrie des semi-conducteurs
  • Mode d'orientation:
  • Mode de transmission:
  • Traitement de surface:
  • Caractéristiques du produit:
  • Domaines d'application:

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. fournit des cylindres de vide ultra-minces, des cylindres de vide rotatifs, des cylindres de lame, des cylindres de poulie et des modules de déplacement autour de la transmission des plaquettes, de la fixation des cristaux, du tri des plaquettes, des tests de sonde et des positions de portage en salle blanche. Solution coordonnée pour résoudre la poussière des cylindres ordinaires, la pollution par le brouillard d'huile, les battements, points douloureux de l'automatisation des semi-conducteurs tels que l'instabilité des pastilles.

Faible poussière de cheveux
Salle blanche
± 0.02mm
Répétez la référence de positionnement
Lubrification sans huile
Scellé à faible sortie
Absorption sous vide
Lafes sans perte
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Cylindre spécial pour semi-conducteursDéfinition et principe

Le cylindre dédié aux semi-conducteurs est un composant d'exécution aérodynamique destiné aux équipements de fabrication de semi-conducteurs et aux scènes d'automatisation hautement propres. La fonction principale est de compléter le déplacement, le serrage, le levage, le contrepoint et la détection des plaquettes, des substrats, des bateaux en cristal et des paniers de fleurs dans un espace restreint. Action auxiliaire, tout en minimisant la libération des particules, l'impact de la pollution par le brouillard d'huile et de la perturbation des gaz d'échappement sur l'environnement du processus. La différence entre lui et les cylindres industriels ordinaires n'est pas de "s'il peut être étendu et rétracté", mais dans la conception propre: le matériau, l'étanchéité, la lubrification, l'échappement et le guidage doivent être revus en fonction du niveau de salle blanche.

La structure typique est composée d'un cylindre, d'un piston, d'un mécanisme de guidage, d'un composant d'étanchéité, d'un interrupteur à détection magnétique ou d'une détection de position, d'un port d'air et d'une surface de montage. La station semi-conductrice est souvent équipée d'une structure à double action pour assurer la stabilité dans les deux sens; si l'adsorption et le placement sont effectués, une buse d'aspiration sous vide, un générateur de vide et un amortisseur seront intégrés à l'extrémité du cylindre ou de la plate-forme coulissante; si la manutention à distance variable est effectuée, le module de décalage sera piloté de manière synchrone plusieurs ensembles de cylindres ou de buses pour terminer la conversion d'espacement.

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Exigences de base pour les cylindres de salle blanche

Conception à faible teneur en poussière

Adopter une paire d'étanchéité à faible usure et une surface exposée lisse pour réduire les particules produites par le cercle de poussière de la tige de piston et le frottement du rail de guidage.

Lubrification sans huile

Pré-lubrification en usine ou joint auto-lubrifiant PTFE, aucun aérosol n'est connecté à l'extérieur pour éviter que le brouillard d'huile ne tombe à la surface des plaquettes et des pièces optiques.

Matériau en acier inoxydable

Le cylindre et la tige de piston ont la priorité SUS304/316 ou un revêtement dur; la zone d'exposition du produit est sélectionnée en fonction de la fréquence de nettoyage chimique.

Traitement des gaz d'échappement

La position propre peut être équipée d'un orifice d'échappement externe ou d'un tuyau d'échappement centralisé, et les gaz d'échappement du cylindre ne sont pas soufflés directement vers le circuit d'écoulement de la tranche.

Positionnement répétitif élevé

Il est équipé de rails de précision, de commutateurs à détection magnétique ou de rétroaction réseau; le positionnement répété du schéma de variation de la même ligne de Xinda peut être basé sur le niveau de ± 0,02mm.

Atterrissage doux à faible vibration

Le tampon de limitation, le débordement à basse vitesse ou le tampon externe réduisent le risque de dommages aux bords de la plaquette.

ProjetCylindre ordinaireCylindre propre à semi-conducteur
Mode de lubrificationLubrification par brouillard d'huilePas d'huile/pré-lubrification à faible précipité
Matériaux d'étanchéitéHcellé universel NBRPTFE, COV faible, caoutchouc fluoré à la demande
MatériauAlliage d'aluminium/acier ordinaireCylindre en acier inoxydable, tige de piston rigide
Egaz d'échappementRangée extérieure directeGaz d'échappement externes ou traitement centralisé
Environnement d’applicationAutomatisation industrielle généraleSalle blanche de classe ISO, manutention de plaquettes

Le tableau ci-dessus est une comparaison de sélection générale, qui ne correspond pas aux spécifications unifiées d'un seul produit; en fin de compte, le rapport de test de qualité propre, de contact avec les produits chimiques et les particules d'usine prévaudra.

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Série de cylindres de semiconductor Xinda

Xinda a introduit la technologie de transmission de base en provenance du Japon et d'Allemagne en 2000. Les produits couvrent des glissières à distance de précision, des modules à distance, des poulies miniatures monoscopiques, des cylindres à lame, des cylindres à vide ultra-minces, des cylindres à vide rotatifs, des cylindres à glissière et des pièces de traitement de source. La scène des semi-conducteurs n'achète généralement pas un seul cylindre nu, mais un «mécanisme de changement de distance d'adsorption sous vide guidé par le cylindre» pour former une unité de prise et de lecture.

Cylindre à vide ultra-mince

Le cylindre est mince et intégré avec une buse d'aspiration sous vide, qui convient à l'absorption sans perte des anneaux de plaquettes, des puces et des substrats en verre; il peut être équipé d'un module à distance variable pour le transfert de réseau.

Cylindre à vide rotatif

L'adsorption est effectuée en même temps pour la correction de retournement/d'attitude, qui convient aux garnitures solides, aux paniers de fleurs et au transfert de salle blanche.

Cylindre de lame

Le fuselage ultra-fin est utilisé pour le positionnement auxiliaire de poussée, de blocage et de paget à fente étroite; il peut être synchronisé avec plusieurs stations en combinaison avec la plate-forme coulissante.

Cylindre de table coulissante

Il est livré avec un guidage linéaire et résiste à une certaine force latérale; il convient au pressage à courte course, au contrepoint et au contact léger de la sonde.

Cosynergie de module de changement de distance

Les positions multiples sont ouvertes et fermées équidistantes/inégales, et l'anneau de plaquettes denses est étendu à l'espacement de processus, puis ramassé dans le cylindre à vide.

Personnalisation non standard

Selon la course, le diamètre du cylindre, la direction d'installation, l'interface de vide, la position d'ouverture magnétique et les exigences de nettoyage, les dessins sont étriés.

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Scène d'application typique

Manipuler les plaquettes

FOUP matériaux de haut en bas, transfert de bateau en cristal, ascendant et descendant en position; nécessite une stabilité sans impact, une poussée contrôlable et une faible poussière.

Après le tri

刀片气缸做划片辅助,真空气缸吸芯片入托盘;变距模组调间距。

Crystal solide et montage

Le cylindre à vide rotatif bascule la pièce, le cylindre de la table coulissante est mis en position légère; le positionnement répété est basé sur le noyau de ± 0,02mm.

探针测试

La position de test est légèrement mise en contact et chargée par micro-force pour éviter les vibrations et provoquer un contact instable.

Organes auxiliaires pour la lithographie

Le masque peut être utilisé pour transporter, protéger la porte et verrouiller le bloc avec un cylindre à glissière propre; les faibles vibrations ne dérangent pas le chemin optique.

SMT/ligne électronique propre

PCB, test de positionnement FPC, distance de changement de disque de matériau; module de changement de distance de cylindre lame pour augmenter le rythme.

Combinaison courante d'unités de prise et de libération de semi-conducteurs:伺服变距模组提供多工位间距→滑台气缸或刀片气缸做Z向/推切→超薄真空气缸吸晶圆→磁感开关确认到位→节流阀控速做软着陆。普通气缸只负责“动”,半导体气缸还要负责“不动尘、不喷油、不撞片”。

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Formule de sélection et spécifications d'installation

Ordre de sélection des cylindres à semi-conducteurs:①定洁净等级ISO Class与是否产品暴露区;②算负载(晶圆/吸嘴/治具总重)选缸径;③定行程与安装空间,窄缝优先超薄/刀片缸;④吸附工位配真空发生器与防掉真空阀;⑤导向负载大选滑台缸或加导杆;⑥速度用节流阀控低速,配缓冲防冲击;⑦要求厂家出材质证明、盐雾/颗粒检测与重复定位报告。

  • Les plaquettes ont une charge légère mais ne permettent pas d'impact: le diamètre du cylindre ne doit pas être aveuglément grand, l'accent est mis sur une faible force de démarrage et une stabilité.

  • Bottes d'aspiration du cylindre à vide: le matériau de la buse, le vide et le temps de ventilation doivent correspondre au diamètre de la feuille et à la surface pour éviter le glissement ou les traces.

  • 洁净工位禁止后补油雾器;无油预润滑缸拆修需无尘手套操作。

  • 活塞杆避免长期单侧受侧向力,否则导向套偏磨产尘。

  • L'orifice d'échappement externe est pris en charge séparément et le tuyau d'échappement n'est pas partagé avec les autres orifices de valve.

  • Il est recommandé d'échantillonner pour la confirmation de l'adaptabilité propre et le test de durée de vie haute fréquence avant d'entrer dans l'équipement à semi-conducteurs par lots.

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Capacité de contrôle de qualité et de livraison de Xinda

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. a établi un processus complet allant de l'inspection des matières premières, du traitement des CNC, de l'assemblage et de la mise en service à l'inspection en usine, équipé d'un équipement de test de précision; les techniciens en R & D représentent environ 60%, et les produits sont utilisés dans l'électronique 3C, les semi-conducteurs, les batteries à énergie nouvelle, les équipements médicaux, les machines d'emballage et d'autres domaines, et sont vendus à Taiwan, en Corée du Sud, allemagne et Asie du Sud-Est.

Les composants exécutifs liés aux semi-conducteurs peuvent être livrés en fonction de la combinaison de cylindres du module de changement de distance: cylindres à vide ultra-minces, cylindres à vide rotatifs, cylindres à lame et cylindres de table coulissante peuvent être fournis en fonction de la course, de l'alésage, de la surface d'installation, de la position d'ouverture magnétique, de l'interface de vide et de la forme non standard Personnalisation de la forme; les extrémités de changement de distance sont adaptées en fonction du nombre de chiffres, de center et de distance. Il est recommandé de demander des tests de positionnement répétés, des descriptions de matériaux d'étanchéité, des instructions de lubrification sans huile et des données de confirmation de l'adaptabilité propre. Le niveau de propreté spécifique est soumis aux exigences du projet et à la vérification de l'échantillon.

Dénomination de l’entreprise

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd.

Site officiel

Www.xdeoat.com

Contact commercial

Mme Ming: 1368628662

©2026 Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. Tous droits réservés

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电机位置
悬挂尺寸
选型参考
① - 21② - 100③ - 4④ - M⑤ - TR1⑥ - S⑦ - N⑧ - L⑨
① Série
② Espacement minimum entre les centres
21mm
③ Espacement de center maximal
22-100mm en option
④ Nombre de places
3
⑤ Original de la distance de variation
Distance center/gauche/droite
⑥ Position du moteur
Carte de localisation du moteur de référence
⑦ Type de moteur
Servo/pas/Aucun
⑧ Signal de commutation
NPN/PNP
⑨ Orientation d'installation du module
T hissé/D plat/L côté
Conseils de sélection: Référence de sélection "Schéma de sélection de charge (voir)", Si vous ne choisissez pas le type, veuillez consulter la page P09 des informations de notre société, informez les premières formes de changement de distance, fournissez la page P11"Synchroniser le tableau de sélection du schéma de conception du module de changement de distance (téléchargement)", Remplissez la marque de point rouge pour envoyer des informations techniques à notre société. Veuillez effectuer une sélection raisonnable en fonction de la scène d'application réelle, des exigences de charge et de l'espace d'installation, en combinaison avec les paramètres ci-dessus. En cas de besoins particuliers, il est recommandé de contacter le support technique pour confirmer les performances et la stabilité de l'équipement.
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Introduction à la plate-forme à changement de distance

La glissière de décalage synchrone, également appelée mécanisme de changement de distance synchrone, est une sorte de module. Le nombre de curseurs de distance de variation n'est pas inférieur à 2, et plusieurs curseurs sont contrôlés par le renversement avant et arrière de l'arbre moteur pour effectuer un mouvement linéaire sur le rail de guidage.

La forme de la distance variable peut être divisée en:Synchronisation de la distance isométriqueEtSynchroniser les variations de distance inégaleEtc., les méthodes de mouvement peuvent être divisées en: changement de distance de synchronisation de positionnement intermédiaire, changement de distance de synchronisation de positionnement unilatéral et changement de distance de synchronisation irrégulière.

L'arbre principal ne peut être tourné que vers et vers le bas à l'angle marqué par la glissière, et le dépassement de la plage d'angle définie endommagera directement le mécanisme de changement de distance.

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Domaines d'application

La plate-forme coulissante à distance variable est équipée d'un manipulateur ou d'une ventouse à vide, qui peut saisir plusieurs pièces du disque de tri à distance fixe et les placer à distance variable pour les opérations de manutention à distance dans la production automatisée.

Il a un large éventail d'applications dans des industries telles que l'automatisation 3C, les semi-conducteurs, l'électronique, le traitement médical, les machines d'emballage, les machines de mise en caoutchouc, l'assemblage de batteries de véhicules à énergie nouvelle et la saisie de manipulateurs de produits de première nécessité.

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Avantages et caractéristiques

  1. Structure miniature:Petite taille, poids léger, opération de déplacement variable dans un petit espace.
  2. Travail isométrique de synchronisation:Dans la plage de changement de distance définie par la plate-forme à distance variable multi-stations, l'opération de changement de distance de point arbitraire à grande vitesse peut être réalisée.
  3. Opérations de synchronisation à distance inégale:Il peut réaliser le décalage de positionnement synchrone du point de positionnement vers le point excentrique, le changement de positionnement synchrone du point de positionnement vers un sens unilatéral et le changement de distance de synchronisation non équidistant.
  4. Conception de haute précision:Ce mécanisme de plate-forme à changement de distance synchrone est conçu avec une conception rigoureuse, une haute précision, une longue durée de vie pratique, une précision, une vitesse élevée et des opérations de positionnement et de manutention, ce qui peut gagner du temps et améliorer l'efficacité du travail.
  5. Facile à utiliser:Le travail de changement de distance est simple et pratique.
  6. Personnalisation flexible:Le modèle à distance variable a la distance de séparation de la vis de changement. Il existe de nombreux curseurs disponibles. Le format de distance variable peut être personnalisé selon les besoins. Si la forme ou la taille du curseur est modifiée, le cycle de livraison sera prolongé.
Haute précision Miniaturisation Haute efficacité Personnalisé
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Considérations sur le module de changement de distance

  1. Ce mécanisme ne peut être utilisé que horizontalement, pas verticalement.
  2. L'espacement maximal et la plage d'espacement minimale ne peuvent pas être dépassés, et le dépassement endommagera ce mécanisme.
  3. L'angle de rotation de l'arbre moteur ne peut pas dépasser la plage d'angle spécifiée par la plate-forme à distance variable.
  4. Pour éviter tout impact et endommager le module de curseur, n'installez pas de pièces sur le curseur qui gênent le fonctionnement du curseur.
  5. Référez-vous aux paramètres de couple recommandés, choisissez le bon moteur.
  6. Veuillez installer la glissière à distance sur un mécanisme rigide.
  7. L'espacement entre chaque curseur est toujours en constante évolution et le curseur ne peut pas être exécuté seul.

Schéma de l'équipement du module de changement de distance

Diagramme d'appareil de module de changement de distance dans des applications pratiques

Schéma de la structure de l'équipement

Démontrer la structure interne et la disposition des composants des modules de changement de distance

Application de ligne de production automatisée

Scène d'application du module de variation dans la ligne de production automatisée

Présentation de la scène de l'application

Application pratique des modules de changement de distance dans l'industrie électronique 3C

Schéma des détails de la structure

Détails structurels clés du module de changement de distance

Analyse des détails structurels

Structure détaillée et principe de fonctionnement des composants clés

Schéma du principe de fonctionnement

Flux de travail et principes des modules de changement de distance

Affichez le principe de fonctionnement

Schéma de flux pour les travaux de synchronisation à distance

1. Synchronisation de la distance isométrique dans les points

分中同步等距变距

2. Synchronisation unilatérale de la distance isométrique

单边同步等距变距

3. Synchronisation isométrique à plusieurs segments de distance

同步等距多段定距变距

4. Synchronisation de la distance à distance constante

不等距定距同步变距

5. L'ensemble de groupes de mouvements synchronisés à distance équidistante de gauche à droite

整组动子从左向右同步等距变距

6. Synchroniser le changement de distance après la traduction de l'ensemble des mouvements

整组动子平移后再同步变距

7. Synchroniser le changement de distance après la traduction de l'ensemble des mouvements

整组动子平移后再同步变距

8. Variation de distance isométrique ou inégale de plusieurs positions paramétrées à tout point

任意点参数化多工位等距或不等距变距
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