O cilindro especial para semicondutores é um componente de execução pneumática para equipamentos de fabricação de semicondutores e cenários de automação de alta limpeza. Sua função central é completar a remoção, fixação, elevação, posição e detecção de wafer, substrato, barco de cristal e cesta de flores em um espaço restrito. Ações auxiliares, minimizando a liberação de partículas, O impacto da poluição por névoa de óleo e perturbações de exaustão no ambiente do processo. A diferença entre ele e os cilindros industriais comuns não é "se ele pode ser estendido e retraído", mas no design limpo: o material, a vedação, a lubrificação, o escapamento e a orientação devem ser revisados de acordo com o nível da sala limpa.

A estrutura típica consiste em blocos, pistões, mecanismos de orientação, componentes de vedação, interruptores de detecção magnética ou detecção de posição, portas de ar e superfícies de instalação. A estação de semicondutores é frequentemente equipada com uma estrutura de dupla ação para garantir a estabilidade de ida e volta; se a adsorção for realizada, um bocal de vácuo, um gerador de vácuo e um estrangulamento de buffer serão integrados na extremidade do cilindro ou plataforma deslizante; se o deslocamento for feito, o módulo de mudança será acionado de forma síncrona. Vários conjuntos de cilindros ou bicos de sucção são usados para completar a conversão de espaçamento.

A tabela acima é uma comparação de seleção geral, que não é equivalente à especificação unificada de um único produto; o nível de limpeza, contato com produtos químicos e relatórios de inspeção de partículas de fábrica estão sujeitos.

A Xinda introduziu a tecnologia de transmissão principal do Japão e da Alemanha em 2000. Os produtos cobrem uma plataforma de deslocamento variável de precisão, um módulo de deslocamento variável, uma plataforma de micro-controle integrado, um cilindro de lâmina, um cilindro de vácuo ultrafino, um cilindro de vácuo rotativo, um cilindro de mesa deslizante e peças de processamento de fonte de gás. A cena semicondutora geralmente não compra apenas um cilindro nu, mas um "mecanismo de mudança de adsorção de vácuo guiado por cilindro" para formar uma unidade de acesso e liberação.

• A classe wafer tem uma carga leve, mas não permite impacto: o diâmetro do cilindro não precisa ser cegamente grande, com foco em baixa potência e estabilidade.

• Wafers de sucção de cilindro a vácuo: o material do bico de sucção, o grau de vácuo e o tempo de ventilação devem corresponder ao diâmetro da folha e à superfície para evitar escorregões ou marcas.

• Os atomers de reposição de óleo são proibidos na posição limpa; a remoção e reparo do cilindro pré-lubrificante sem óleo requer luvas sem poeira.

• A haste do pistão evita a força lateral unilateral de longo prazo, caso contrário, a manga guia será moída para produzir poeira.

• A saída de escape externa assume o controle separadamente e não compartilha o tubo de escape com outras válvulas.

• Antes de entrar em equipamentos semicondutores em lotes, é recomendável fazer uma prova para confirmação de adaptação limpa e teste de vida de alta frequência.

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. estabeleceu um processo completo de inspeção de matérias-primas, processamento CNC, montagem e comissionamento e inspeção de fábrica, equipado com equipamentos de teste de precisão; tecnologia de P & D representa cerca de 60%, e os produtos são usados em eletrônicos 3C, semicondutores, novas baterias de energia, equipamentos médicos, máquinas de embalagem e outros campos, e vendidos para Taiwan, Coreia do Sul, alemanha e Sudeste Asiático.

Os componentes de execução relacionados a semicondutores podem ser entregues de acordo com a combinação de cilindros de módulo de mudança: cilindros de vácuo ultrafinos, cilindros de vácuo rotativos, cilindros de lâmina e cilindros de mesa deslizante podem ser baseados no curso, diâmetro do cilindro, superfície de instalação, posição de abertura magnética, interface de vácuo e personalização de forma não padronizada; a extremidade variável é compatível com o número de trabalho, distância central, equidistância/distância desigual. Recomenda-se solicitar inspeção de posicionamento repetido, descrição do material de vedação, instruções de lubrificação sem óleo e materiais de confirmação de adaptação limpa. O nível de limpeza específico está sujeito aos requisitos do projeto e à verificação da amostra.