Cilindros para semicondutores: avanço tecnológico em componentes de execução pneumática de precisão em salas limpas

O ambiente de fabricação de semicondutores é extremamente sensível a contaminantes; em uma sala limpa de Classe 1, não deve haver mais do que uma partícula com tamanho igual ou superior a 0,1 μm por pé cúbico. Os cilindros industriais tradicionais, durante o funcionamento, geram micropartículas de desgaste da borracha, vapores de óleo lubrificante e fragmentos metálicos; uma vez que esses contaminantes entram no processo, podem causar diretamente a perda de wafer. Ao mesmo tempo, o manuseio de wafer requer precisão de posicionamento de nível de ± 0.01mm, a descarga eletrostática deve ser controlada dentro da faixa de 10 ³-10 Ω e o ambiente de gás corrosivo requer que o componente tenha capacidade anticorrosiva de nível C. Esses requisitos severos tornam os cilindros industriais de uso geral incapazes de atender aos cenários de aplicação de semicondutores.

Com base na tecnologia pneumática de precisão introduzida do Japão e da Alemanha em 2000, a Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. realizou uma otimização estrutural abrangente para cenários de aplicação de semicondutores:

Sistema de vedação de poeira baixa: O uso de lubrificação especial de fluoreolipídeos com anéis à prova de poeira UHMW-PE, o coeficiente de atrito é reduzido para menos de 0,05 e a quantidade de desgaste é controlada em 0,001mm/10.000 vezes para eliminar completamente a produção de partículas.
Design sem óleo: A parede interna do cilindro é tratada com brunagem de precisão Ra ≤ 0,4 μm e é combinada com o pistão composto autolubrificante. Não há necessidade de lubrificação adicional durante todo o processo para evitar a poluição do ambiente limpo por névoa de óleo.
Estrutura antiestática: O bloco, a haste do pistão e as peças de montagem são todos materiais condutores, a resistência da superfície é controlada em 10 ³-10 ⁹ Ω e o tempo de dissipação eletrostática é inferior a 0,5 segundos, o que atende aos padrões ESD-S20.20.
Material resistente à corrosão: As peças de contato com o gás de processo são tratadas com aço inoxidável SUS316L ou um revestimento especial, que pode suportar gases corrosivos, como HF e Haté So, e passou no teste de névoa salina ISO 9227 por 500 horas sem corrosão.

Os cilindros especiais da Xinda Semiconductor apresentam excelente desempenho nos seguintes indicadores-chave: precisão de posicionamento repetido±0,01mm, A frequência de resposta é 5Hz, a vida útil é superior a 500.000 vezes sem atenuação. Os produtos são certificados pela SEMI S2 para segurança, em conformidade com a norma ISO 14644-1 para salas limpas, todos os materiais atendem aos requisitos da diretiva RoHS. Em aplicações de manuseio de wafer, a força de absorção do cilindro de ventosa a vácuo é controlada dentro de ± 2% para garantir a transmissão livre de danos de wafers de 8 a 12 polegadas.

Desde a sua criação em 2000, Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. sempre se concentrou na pesquisa, desenvolvimento e fabricação de componentes pneumáticos de precisão. Os principais produtos da empresa incluem mesas deslizantes de mudança de precisão, módulos de mudança, mesas deslizantes em miniatura unibody, cilindros de vácuo, cilindros rotativos de vácuo, processamento de fonte de gás, válvulas solenóides, geradores de vácuo, porcas/parafusos desdentados, cabos ópticos, eixo óptico de precisão cromado rígido, eixo guia, eixo ativo de estágio de retificação, eixo giratório, etc. A linha de produtos é amplamente utilizada em semicondutores, 3C, nova montagem de baterias de energia, médicos, instrumentos de medição óptica e outros campos.
Seguindo a filosofia de negócios de "serviço oportuno, qualidade estável, entrega pontual e sem preocupações após a venda", a equipe técnica de P & D representa mais de 30% e o desempenho do produto é líder mundial. O laboratório da empresa está equipado com equipamentos de detecção de precisão, como espectrômetros, projetores, máquinas de tração, microscópios metaloicos, testadores de névoa de sal, testadores de dureza, etc., para garantir que cada produto tenha passado por rigorosos testes em tamanho real e verificação de desempenho. Atualmente, os produtos Xinda foram usados e reconhecidos por muitos institutos da Academia Chinesa de Ciências e exportados para os mercados de Taiwan, Coreia do Sul, Alemanha e Sudeste Asiático, conquistando a confiança de clientes globais.

Com o rápido desenvolvimento da indústria de semicondutores da China, o mercado doméstico de equipamentos de semicondutores deve ultrapassar 30 bilhões de dólares americanos em 2025, mas a taxa de localização de componentes pneumáticos de ponta é inferior a 15%. Com 25 anos de acumulação de tecnologia e tecnologia de núcleo japonês-alemão, os cilindros especiais da Xinda Semiconductor alcançaram o nível avançado internacional em termos de indicadores essenciais, como limpeza, precisão e confiabilidade, e podem realizar a substituição de marcas importadas. No futuro, a empresa continuará a aumentar o investimento em P & D e a lançar produtos pneumáticos de precisão mais adequados para processos avançados para ajudar a indústria de semicondutores da China a controlar de forma independente.