| Официальный сайт Xinda Industries

半导体专用气缸怎么选:洁净室低发尘气缸、超薄真空气缸与晶圆搬运方案产品图

Как выбрать специальные полупроводниковые цилиндры: чистые цилиндры с низким уровнем пыли, ультратонкие вакуумные цилиндры и схемы обработки пластин ()

Компания Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. обеспечивает ультратонкий вакуумный цилиндр, вращающийся вакуумный цилиндр, цилиндр лезвия, цилиндр слайда и модуль переменного расстояния вокруг передачи пластины, твердого кристалла, сортировочной сортировке, испытания зонда, верхних и нижних материалов и чистых носильщиков. Совместно решать проблемы обычных цилиндров пыли, загрязнения масляного тумана, биения, всасывания

  • Бренд: СИНЬДА
  • Тип: Полупроводниковая промышленность
  • Направляющие методы:
  • Способ передачи:
  • Обработка поверхности:
  • Особенности продукта:
  • Области применения:

Компания Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. обеспечивает ультратонкий вакуумный цилиндр, вращающийся вакуумный цилиндр, цилиндр лезвия, цилиндр слайда и модуль переменного расстояния вокруг передачи пластины, твердого кристалла, сортировочной сортировке, теста зонда и чистой камеры. Совместно решение для решения проблемы пыли, загрязнения масляным туманом, большого биения, болевые точки полупроводниковой автоматизации, такие как нестабильность всасывания.

Низкая пыль
Подборка чистой комнаты
±0,02 мм
Повторные ссылки на позиционирование
Безмасляная смазка
Уплотнение с низким уровнем осадков
Вакуумная адсорбция
Пластины без потерь
01

Специальные цилиндры для полупроводниковОпределение и принцип

Полупроводниковые цилиндры-это пневматические исполнительные элементы, предназначенные для оборудования для производства полупроводников и высокочистых автоматизированных сцен. Основная роль заключается в том, чтобы завершить перемещение, удержание, подъем, вынос и обнаружение пластин, подложек, хрустальных лодок и цветочных корзин в ограниченном пространстве. В то же время минимизировать высвобождение частиц, воздействие загрязнения масляного тумана и возмущения выхлопных газов на технологическую среду. Разница между ним и обычными промышленными цилиндрами заключается не в том, чтобы «вытянуть или нет», а в чистом дизайне: материал, уплотнение, смазка, выхлопные газы и ориентация должны быть повторно проверены в соответствии с уровнем чистой комнаты.

Типичная структура состоит из блока цилиндров, поршня, направляющего механизма, уплотнительного узла, магнитного переключателя или определения положения, воздушного отверстия и монтажной поверхности. Полупроводниковая станция часто оснащена двойной структурой для обеспечения стабильности в оба конца, если она используется для адсорбции и разгрузки, вакуумный всасывающий насадка, генератор вакуума и буферное дросселирование будут интегрированы в блок цилиндров или скользящую платформу, а если она используется для обработки с переменным расстоянием, она будет синхронно приводиться в движение несколькими блоками. Цилиндры или насадки завершают преобразование интервала.

02

Основные требования к цилиндру чистой комнаты

Низкая конструкция пыли

Использование герметизирующей пары с низким износом и гладкой открытой поверхности уменьшает частицы, образующиеся в результате трения пылеобразного кольца и направляющей штока поршня.

Безмасляная смазка

Заводская предварительно смазка или самосмазывающиеся уплотнения типа PTFE, не подключенные к масляному распылительному аппарату, чтобы предотвратить падение масляного тумана на поверхность пластины и оптических деталей.

Материал из нержавеющей стали

Цилиндр и шток поршня имеют приоритет SUS304/316 или твердого покрытия, зона воздействия продукта выбирается в соответствии с частотой химической очистки.

Обработка выхлопных газов

Чистая мастерская может быть оснащена наружным выпускным отверстий или централизованной выхлопной трубой. Выхлопные газы цилиндра не выдувают непосредственно в поток пластины.

Высокая повторяющаяся позиционирование

С прецизионной направляющей, магнитно-сенсорным переключателем или решеточной обратной связью, повторное позиционирование аналогичной схемы переключения Xinda может соответствовать требованиям уровня ± 0,02 мм.

Низкая вибрация мягкая посадка

Дроссельный буфер, низкоскоростной перелив или внешний буфер уменьшают риск повреждения края пластины.

ПроектыОбщий цилиндрПолупроводниковый чистый цилиндр
Способ смазкиМасляный туман для смазкиБез масла/Предварительная смазка Низкое осаждение
Уплотнительный материалNBR Универсальное уплотнениеPTFE, низкий VOC, фторкаучук по требованию
МатериалАлюминиевый сплав/обычная стальЦилиндр из нержавеющей стали, жесткий поршневой шток
Выхлопные газыПрямой сбросВыходящий выхлопной газ или централизованная обработка
Применимая средаОбщая промышленная автоматизацияISO Class Чистая комната, обработка пластин

В приведенной выше таблице представлен общий выбор и сравнение, который не соответствует унифицированным спецификациям одного продукта, в конце концов, чистые сорта, контактные химические вещества и отчеты об испытаниях на заводе-изготовителе имеют преимущественную силу.

03

Серия цилиндров Xinda Semiconductor

Xinda внедрила технологию передачи ядра из Японии и Германии с 2000 года. Продукция охватывает прецизионные задвижки с переменной дальностью, модули с переменной дальностью, цельную миниатюрную выдвижную платформу, цилиндры лезвия, ультратонкие вакуумные цилиндры, вращающиеся вакуумные цилиндры, цилиндры со скользкими станками и очистные детали. Полупроводниковая сцена обычно заключается не только в покупке голого цилиндра, но и в «управляемых цилиндром вакуумных адсорбционных переменных механизмов» для формирования блока извлечения и выпуска.

Ультратонкий вакуумный цилиндр

Блок цилиндров тонкий и встроенный вакуумный насадка, который подходит для неразрушающего поглощения вафельных колец, чипа и стеклянной подложки, может быть оснащен модулем переменного расстояния для переноса массива.

Вращающийся вакуумный цилиндр

В то же время адсорбция выполняет коррекцию ориентации/положения, которая подходит для подачи твердых кристаллов, изменения расстояния корзины цветов и транспортировки в чистой комнате.

Цилиндр лезвия

Ультратонкий корпус используется для толкания, блокирования и позиционирования с помощью щелей в узком шве, его можно синхронизировать с несколькими станциями в сочетании с слайд.

Цилиндр

Он имеет прямолинейную ориентацию и устойчив к определенной боковой силе, подходит для короткого хода прессования, выравнивания и легкого контакта с игольчатым зондом.

Синергия модуля изменения

Многоузлы открылись и закрылись на изометрическом/неравном расстоянии, а плотно выровненные вафельные кольца были расширены до технологического интервала, а затем подобрались через вакуумный цилиндр.

Нестандартная настройка

В соответствии с ходом, диаметром цилиндра, направлением установки, вакуумным интерфейсом, магнитным положением открытия и требованиями к чистоте.

04

Типичные сценарии применения

Обработка вафли

FOUP вверх и вниз, передача кристалла, подъем и падение, он требует стабильного и отсутствия воздействия, контролируемой тяги и низкой пыли.

Сортность после нацарапания

Цилиндр лезвия в качестве помощи при гребле, вакуумный цилиндр всасывает чип в лоток, модуль переменной регулировки интервала.

Та кристалл и монтаж

Вращающийся вакуумный цилиндр переворачивает заготовку, и скользкий цилиндр выполняет легкую выровнку давления, повторное позиционирование и нажатие на ядро уровня ± 0,02 мм.

Тест зонда

Испытательная позиция слегка прижимается и слегка нагружается, чтобы избежать нестабильности контакта, вызвательной вибрацией.

Вспомогательные органы литографии

Для обработки маски, защиты дверей и замков можно использовать чистые цилиндры, низкая вибрация не мешает оптической дороге.

SMT/Электронная чистая линия

Тестирование позиционирования PCB, FPC, изменение расстояния диска, модуль изменения расстояния цилиндра лезвия, чтобы увеличить ритм.

Общая комбинация полупроводниковых блоков извлечения и выпуска:Модуль сервопеременного расстояния обеспечивает многопозиционный шаг → цилиндр слайда или цилиндр лезвия для Z-поворот/толчка → ультратонкий вакуумный цилиндр всасывания пластины → подтверждение магнитного сенсорного переключателя на месте → контроль скорости дроссельного клапана для мягкой посадки. Обычные цилиндры несут ответственность только за «движение», а полупроводниковые цилиндры также несут ответственность за «неподвижную пыль, не впрыскивание топлива и не попадание в пластины».

05

Формула выбора и спецификация установки

Порядок выбора полупроводниковых цилиндров:① Установить уровень чистоты ISO Class и независимо от того, является ли это зоной экспозиции продукта; ② рассчитать нагрузку (пластина/всасывание/общий вес средства) для выбора диаметра цилиндра; ③ фиксированный ход и место для установки, узкий шов для приоритета ультратонких/ножных цилиндров; ④ адсорбционная позиция оснащена вакуумным генератором и антивакуумным клапаном; ⑤ направляющий цилиндр или направляющей нагрузки; ⑥ Скорость используется для контроля низкой скорости дроссельным клапаном, который снабжается буфером и противоударной защитой; (е) требует от производителей сертификации материалов, обнаружения солевого тумана/частиц и повторных отчетов о позиционировании.

  • Вафли имеют легкую нагрузку, но не допускают ударов: диаметр цилиндра не должен быть слепым и большим, акцент делается на низкой пуске и плавности.

  • Вакуумная пластина всасывания цилиндра: материал насадки, степень вакуума и время вентиляции должны соответствовать диаметру листа и поверхности, чтобы избежать скольжения или следов.

  • Масляный туман после очистки запрещен, безмасляные предварительно смазочные цилиндры для демонтажа и ремонта требуют перчаток без пыли.

  • Шток поршня позволяет избежать длительной односторонней боковой силы, в противном случае направляющая втулка будет изнашиваться и производить пыль.

  • Внешние выпускные отверстия используются отдельно, и выхлопная труба не является общей с другими отверстами клапана.

  • Перед массовым входом в полупроводниковое оборудование рекомендуется проверить для подтверждения чистой адаптации и высокочастотного теста на срок службы.

06

Возможности контроля качества и доставки Xinda

Компания Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. установила полный процесс от инспекции сырья, обработки с ЧПУ, сборки и ввода в эксплуатацию до заводских испытаний, оснащенных прецизионным испытанием, на долю технического персонала в области исследований и разработок приходится около 60%, а продукция используется в электронике 3C, полупроводниках, новых энергетических батареях, медицинском оборудовании, упаковочном оборудовании и т. Д. И продается в Тайване, Южной Корее, германия и Юго-Восточная Азия.

Соответствующие полупроводниковые исполнительные части могут быть доставлены в соответствии с комбинацией цилиндров переменных модулей: ультратонкие вакуумные цилиндры, вращающиеся вакуумные цилиндры, цилиндры лезвия и цилиндры слайда могут быть настроены в соответствии с ходом, диаметром цилиндра, поверхностью установки, положением магнитного открытия, интерфейсом вакуума и нестандартным Внешность настраивается, концы вариации соответствуют рабочим цифрам, центрам, изометрическим/неравнозначным. Предложения по доставке Запросите повторное обнаружение позиционирования, описание герметичного материала, описание безмасляной смазки и подтверждение чистой адаптации. Конкретный уровень чистоты зависит от требований проекта и проверки образца.

Название предприятия

Дунгуань Синда Промышленная Автоматизация Лтд

Официальный сайт

Www.xdeoat.com

Деловая связь

Г-жа Мин: 1368628662

©2026 Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. Все права защищены

Получение руководящих указаний по модели

мм
Эта модель предельной длины мм
扫码添加微信获取
Сканирование кода Добавить WeChat Получить
Запросите наш 3D пакет выбора
  • Скачать правильную 3D диаграммуПожалуйста, обратитесь к диаграмме размера подвески и выбора нагрузки на рисунке ниже.
  • При загрузке 3D модели через Великого Ремесленника или нашего пакета загрузки 3D,Для входных параметров, пожалуйста, обратитесь к диаграмме подсказокВведите соответствующие технические параметры с правой заметкой.
电机位置
悬挂尺寸
选型参考
① - 21② - 100③ - 4④ - М⑤ - ТР1⑥ - С⑦ - Н⑧ - Л⑨
① Серия
② Минимальное расстояние между центрами
21 мм
③ Максимальное расстояние между центрами
22-100 дополнительный мм
④ Количество рабочих мест
3
⑤ Точка изменения
Центр/влево/вправо
⑥ Положение двигателя
Справочная карта расположения двигателя
⑦ Тип электродвигателя
Сервопривод/шаг/нет
⑧ Сигналы переключения
НПН/НПН
⑨ Направление установки модуля
T Подвесной/D мягкой/L боковой
Подсказка выбора: Выбор ссылки "Схема выбора нагрузки (просмотр)"Если вы не можете выбрать тип, пожалуйста, обратитесь к нашей странице данных P09, чтобы сообщить, что это несколько вариантов, предоставьте страницу P11«Таблица выбора схемы проектирования модуля синхронизации с переменной дальности (скачать)»Заполните техническую информацию, отмеченную красной точкой, и отправьте ее в нашу компанию. Пожалуйста, сделайте разумный выбор в соответствии с фактическим сценарием применения, требованиями к нагрузке и местом установки в сочетании с вышеуказанными параметрами. В случае особых потребностей рекомендуется обратиться в техническую поддержку для подтверждения, чтобы обеспечить производительность и стабильность оборудования.
1

Введение в слайд с переменной дальности

Синхронный переключитель, также известный как механизм синхронного изменения расстояния, является своего рода модулем. Количество ползунков с переменным расстоянием составляет не менее двух. Активный вал вращается вверх и обратно, чтобы управлять несколькими ползунками для линейного движения на направляющей.

Формы изменения можно разделить на:Синхронизация изометрические вариабельныеИСинхронизация неравного расстоянияИ т. д., методы движения можно разделить на: синхронное изменение промежуточного позиционирования, одностороннее синхронное изменение позиционирования и нерегулярное синхронное изменение.

Ведущие валы могут вращаться только в пределах угла, отмеченного слайдером, и превышение установленного им диапазона углов напрямую повредит механизм изменения расстояния.

2

Область применения

Скачка с переменной расстоянием оснащена манипулятором или вакуумной присоской, которая может захватывать несколько заготовок с фиксированной дальности из сортировочного диска и размещать с переменной расстоянием.

Он широко используется в автоматизации 3C, полупроводниках, электронике, медицине, упаковочных машинах, точечных машинах, сборке аккумуляторов новых энергетических транспортных средств, захвате повседневных товаров и других отраслях промышленности.

3

Преимущества и особенности

  1. Миниатюрная структура:Небольшой размер, легкий вес, можно перемещать с небольшим пространством.
  2. Синхронизация изометрические задания:В диапазоне переменного расстояния, заданного многостантным станком с переменным расстоянием, может быть реализована высокоскоростная произвольная операция переменного расстояния нескольких станков.
  3. Синхронизация неравных заданий:Он может реализовать синхронное позиционирование точки позиционирования к эксцентриситу, смещение точки позиционирования к односторонней синхронной точке позиционирования и инхронное изменение расстояния.
  4. Высокая точность конструкции:Синхронный механизм с переменной дальностью имеет строгую конструкцию, высокую точность, длительный практический срок службы, точность, высокую скорость, позиционирование и обработку, что может сэкономить время и повысить эффективность работы.
  5. Простота в эксплуатации:Операция изменения расстояния проста и удобна.
  6. Гибкая настройка:Модель изменения расстояния имеет переменный шаг винта, есть несколько ползунков, которые можно выбрать. Форма изменения расстояния может быть настроена в соответствии с требованиями. Если вы измените форму или размер ползунка, цикл доставки будет продлен.
Высокая точность Миниатюризация Высокая эффективность На заказ
4

Меры предосторожности для модуля изменения расстояния

  1. Этот механизм может использоваться только в горизонтальном направлении, а не вертикально.
  2. Не превышение максимального интервала и минимального интервала интервала изменения, превышение повредит механизм.
  3. Угол поворота ведущего вала не должен превышать угловой диапазон, заданный станком с переменным расстоянием.
  4. Во избежание удара и повреждения модуля ползунка, пожалуйста, не устанавливайте на ползунок детали, которые мешают работе ползунка.
  5. Пожалуйста, выберите подходящий двигатель для рекомендуемых параметров крутящего момента.
  6. Пожалуйста, установите смещение на жесткий механизм.
  7. Расстояние между каждым ползунком постоянно меняется, и ползунок не может работать отдельно.

Схема устройства модуля переменной дальности

Диаграмма оборудования модуля переменной дальности в практическом применении

Схема структуры оборудования

Продемонстрировать внутреннюю структуру и компоновку компонентов переменного модуля

Автоматизация производственных линий

Сценарий применения модуля переменной дальности в автоматизированной производственной линии

Показы прикладных сцен

Практическое применение модуля переменного расстояния в электронной промышленности 3C

Схема структурных деталей

Ключевые структурные детали переменного модуля

Анализ структурных деталей

Подробная структура и принцип работы ключевых компонентов

Принцип работы

Рабочий процесс и принцип переменного модуля

Продемонстрировать принцип работы

Схема процесса синхронизации работы с переменным расстоянием

1. Синхронизация на изометрическом расстоянии

分中同步等距变距

2. Односторонняя синхронизация изометрические вариабельные

单边同步等距变距

3. Синхронизация изометрические многостаментные переменные расстояния

同步等距多段定距变距

4. Нравное расстояние

不等距定距同步变距

5. Вся группа движков синхронизирует изометрические изменения слева направо

整组动子从左向右同步等距变距

6. Вся группа движков перемещается, а затем синхронизируется с переменной расстоянием

整组动子平移后再同步变距

7. Вся группа движков перемещается, а затем синхронизируется с переменной расстоянием

整组动子平移后再同步变距

8. произвольная точка параметризованное или неравное расстояние

任意点参数化多工位等距或不等距变距
Добавить код сканирования WeChat
Эксклюзивные услуги один на один
Нажмите кнопку ниже, чтобы связаться с нами напрямую через WhatsApp, и мы ответим вам как можно скорее.
Начать разговор
Обслуживание клиентов онлайн
● Текущий онлайн
Обслуживание клиентов онлайн
Мы ответим вам как можно скорее
Здравствуйте! Добро пожаловать на консультацию ~
Чтобы быстро связаться с нами, позвоните:
13686286625(WeChat с тем же номером)

Вы также можете нажать кнопку ниже, чтобы открыть окно диалога по обслуживанию клиентов.