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半导体专用气缸怎么选:洁净室低发尘气缸、超薄真空气缸与晶圆搬运方案产品图

Cómo elegir un cilindro semiconductor especial: cilindro de baja emisión de polvo de sala limpia, cilindro de vacío ultrafino y plan de manipulación de obleas ()

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. proporciona cilindros de vacío ultradelgados, cilindros de vacío giratorios, cilindros de cuchilla, cilindros de plataforma deslizante y cambio de distancia alrededor de transmisión de obleas, fijación de cristales, clasificación de corte, prueba de sondas y espacio de transporte de sala limpia. Solución de sinergia del módulo para resolver la formación de polvo de cilindros ordinarios, contaminación por neblina de aceite, gran salto, succión

  • Marca: XINDA
  • Tipo: Industria de semiconductores
  • Método de orientación:
  • Modo de transmisión:
  • Tratamiento superficial:
  • Características del producto:
  • Áreas de aplicación:

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. proporciona cilindros de vacío ultradelgados, cilindros de vacío giratorios, cilindros de cuchilla, cilindros de plataforma deslizante y cambio de distancia alrededor de transmisión de obleas, solidificación de cristales, clasificación de corte, prueba de sondas y espacio de transporte de sala limpia, proporcionando cilindros de vacío ultradelgados, cilindros de cuchilla, cilindros de plataforma deslizante y esquemas de sinergia de módulo de distancia variable para resolver la formación de polvo de cilindros ordinarios, contaminación por neblina de aceite, puntos débiles de automatización de semiconductores como succión inestable.

Polvo bajo
Adaptadora de sala limpia
± 0,02mm
Referencia de posicionamiento repetida
Lubricación sin aceite
Sellado de baja precipitación
Adsorción al vacío
Sin pérdida de obleas
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Cilindro especial para semiconductoresDefinición y principio

El cilindro especial para semiconductores es un actuador neumático para equipos de fabricación de semiconductores y escenarios de automatización de alta limpieza. La función principal es completar la transferencia, sujeción, elevación, contrapunto y asistencia de detección de obleas, sustratos, botes de cristal y cestas de flores en un espacio limitado. Acción, mientras se minimiza la liberación de partículas, el impacto de la contaminación por neblina de aceite y las perturbaciones del escape en el entorno del proceso. La diferencia entre él y los cilindros industriales ordinarios no es "si se puede estirar y retraer", sino en el diseño limpio: el material, el sellado, la lubricación, el escape y la guía deben volver a calibrarse de acuerdo con el nivel de sala limpia.

La estructura típica consiste en un cilindro, un pistón, un mecanismo de guía, un conjunto de sellado, un interruptor de inducción magnética o detección de posición, un puerto de aire y una superficie de instalación. La estación de semiconductores a menudo está equipada con una estructura de doble acción para garantizar un viaje de ida y vuelta estable; si se realiza adsorción y descarga, se integrarán boquillas de succión de vacío, generadores de vacío y estrangulamiento de amortiguación en el extremo del cilindro o plataforma deslizante; si se realiza el transporte de distancia variable, el módulo de distancia variable El módulo acciona sincrónicamente múltiples juegos de cilindros o boquillas para completar la conversión de espaciado.

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Requisitos del núcleo del cilindro de la sala limpia

Diseño de bajo polvo

El par de sellado de baja abrasión y la superficie expuesta lisa reducen las partículas generadas por el anillo de polvo del vástago del pistón y la fricción del riel guía.

Lubricación sin aceite

La prelubricación en fábrica o el sello autolubricante de PTFE no está conectado a un atomizador de aceite externo para evitar que la neblina de aceite caiga sobre la superficie de la oblea y la óptica.

Material de acero inoxidable

El cilindro y el vástago del pistón tienen prioridad SUS304/316 o revestimiento duro; el área expuesta del producto se selecciona de acuerdo con la frecuencia de limpieza química.

Tratamiento de escape

La estación limpia se puede equipar con un puerto de escape externo o un tubo de escape centralizado, y el escape del cilindro no se sopla directamente a la trayectoria de flujo de la oblea.

Posicionamiento de alta repetición

Equipado con rieles de guía de precisión, interruptores de inducción magnética o retroalimentación de rejilla; el posicionamiento repetido del esquema de distancia variable de la misma línea de Xinda puede ser requerido por ± 0.02mm.

Baja vibración aterrizaje suave

El búfer de estrangulamiento, el desbordamiento de baja velocidad o el búfer externo reducen el riesgo de impacto y daño en el borde de la oblea.

ProyectoCilindro ordinarioCilindro limpio semiconductor
Método de lubricaciónSe puede conectar a la lubricación por neblina de aceiteBaja precipitación sin aceite/prelubricación
Material de selladoSello universal NBRPTFE, bajo VOC, caucho fluorado según sea necesario
MaterialAleación de aluminio/acero ordinarioCilindro de acero inoxidable, vástago de pistón duro
EscapeExterior directoEscape externo o tratamiento centralizado
Entorno de aplicaciónAutomatización industrial generalSala limpia Clase ISO, manipulación de obleas

La tabla anterior es una selección y comparación general, que no es equivalente a las especificaciones uniformes de un solo producto; el nivel final de limpieza, los productos químicos de contacto y el informe de prueba de partículas de fábrica prevalecerán.

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Serie de cilindros de estación de semiconductores Xinda

Xinda introdujo la tecnología de transmisión central de Japón y Alemania en 2000. Sus productos cubren mesas deslizantes de precisión de alcance variable, módulos de alcance variable, mesas deslizantes en miniatura integradas, cilindros de cuchilla, cilindros de vacío ultradelgados, cilindros de vacío giratorios, cilindros deslizantes y procesamiento de fuentes de aire. Piezas. La escena del semiconductor generalmente no es comprar un cilindro desnudo solo, sino un "mecanismo de cambio de rango de adsorción al vacío guiado por cilindro" para formar una unidad de toma y descarga.

Cilindro de vacío ultrafino

El cilindro es delgado, la boquilla de vacío integrada es adecuada para la absorción no destructiva de anillos de oblea, chips y sustratos de vidrio; el módulo de variabilidad se puede equipar para la transferencia de matriz.

Cilindro de vacío giratorio

La adsorción se realiza simultáneamente con corrección de giro/actitud, que es adecuada para alimentación de cristal sólido, cambio de distancia de canasta de flores y transporte de sala limpia.

Cilindro de cuchilla

El cuerpo ultrafino se utiliza para empujar, bloquear y talar en costuras estrechas para ayudar al posicionamiento; la combinación con la mesa deslizante se puede utilizar para la sincronización de múltiples estaciones.

Cilindro de plataforma deslizante

Viene con guía lineal, resistente a ciertas fuerzas laterales; adecuado para compresión de carrera corta, contrapunto, contacto de presión ligera con sonda.

Colaboración del módulo de variador

Apertura y cierre isométrico/desigual de múltiples estaciones, extienda el anillo de obleas de hilera al espaciado del proceso y luego cruce el cilindro de vacío para recogerlo.

Personalización no estándar

De acuerdo con la carrera, el diámetro del cilindro, la dirección de instalación, la interfaz de vacío, la posición de apertura magnética y los requisitos de limpieza.

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Escenarios de aplicación típicos

Manejo de obleas

FOUP carga y descarga, transferencia de barco de cristal, elevación y contraposición; requiere estabilidad sin impacto, empuje controlable y baja emisión de polvo.

Después de dividir

El cilindro de la cuchilla se ayuda con el corte, el cilindro de vacío absorbe el chip en la bandeja y el módulo de distancia variable ajusta el espacio.

Cristal sólido y montaje

El cilindro de vacío giratorio voltea la pieza de trabajo y el cilindro de la plataforma deslizante se presiona ligeramente para la alineación; el posicionamiento repetido es el núcleo de ± 0.02mm.

Prueba de sonda

La estación de prueba presiona ligeramente el contacto y la carga con poca fuerza para evitar la inestabilidad del contacto causada por la vibración.

Auxiliar de litografía

El manejo de la máscara, la puerta de protección y el bloque de bloqueo se pueden usar para limpiar el cilindro de la plataforma deslizante; la baja vibración no perturba el camino de la luz.

SMT/línea de limpieza electrónica

PCB, prueba de posicionamiento FPC, distancia variable del disco; módulo de distancia variable del cilindro de la cuchilla para mejorar el ritmo.

Combinaciones comunes de unidades de extracción y colocación de semiconductores:El módulo de variador servo proporciona espaciado de múltiples estaciones → cilindro de plataforma deslizante o cilindro de cuchilla para hacer Z/empuje → cilindro de vacío ultrafino para chupar obleas → interruptor de sensor magnético para confirmar en su lugar → válvula de mariposa para controlar la velocidad para un aterrizaje suave. Los cilindros ordinarios solo son responsables de "moverse", y los cilindros semiconductores también son responsables de "no mover el polvo, no rociar aceite, no golpear la película".

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Fórmula de selección y especificación de instalación

Secuencia de selección de cilindros semiconductores:①Defile el nivel de limpieza ISO y si el área de exposición del producto; ②Calcule la carga (peso total de la oblea/boquilla/accesorio) para seleccionar el diámetro del cilindro; ③Defile la carrera y el espacio de instalación, prioridad de costura estrecha para el cilindro ultradelgado/cuchilla; ④La estación de adsorción está equipada con un generador de vacío y una válvula de vacío anti-caída; ⑤ La carga guía elige un cilindro deslizante o una varilla; ⑥ Velocidad La baja velocidad se controla con una válvula de mariposa, con amortiguación y antiimpacto; ⑦ requiere que el fabricante presente prueba de material, detección de niebla salina/partículas e informe de posicionamiento repetido.

  • La carga de obleas es ligera pero no permite el impacto: el diámetro del cilindro no tiene que ser ciegamente grande, y la atención se centra en la baja potencia de arranque y la suavidad.

  • Barra de succión del cilindro de vacío: el material de la boquilla, el grado de vacío y el tiempo de ventilación deben coincidir con el diámetro y la superficie de la pieza para evitar deslizamientos o marcas.

  • La estación limpia tiene prohibido repostar el dispositivo de niebla de aceite; el desmontaje y reparación del cilindro prelubricado sin aceite requiere una operación de guantes sin polvo.

  • El vástago del pistón evita la fuerza lateral unilateral a largo plazo; de lo contrario, el manguito guía se desgasta para producir polvo.

  • El puerto de escape externo se toma por separado y el tubo de escape no se comparte con otros puertos de válvula.

  • Se recomienda realizar pruebas para la confirmación de adaptación limpia y la prueba de vida útil de alta frecuencia antes de ingresar al equipo semiconductor en lotes.

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Capacidad de entrega y control de calidad de Xinda

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. ha establecido un proceso completo desde la inspección de materias primas, el procesamiento CNC, el ensamblaje y la depuración hasta las pruebas de fábrica, equipadas con equipos de prueba de precisión; los técnicos de I + D representan aproximadamente el 60%, y los productos se utilizan en electrónica 3C, semiconductores y baterías de nueva energía., Equipos médicos, maquinaria de envasado y otros campos, y vendidos a Taiwán, Corea del Sur, alemania y el sudeste asiático.

Los componentes ejecutivos relacionados con los semiconductores se pueden entregar de acuerdo con la combinación de cilindros del módulo de alcance variable: los cilindros de vacío ultradelgados, los cilindros de vacío giratorios, los cilindros de cuchilla y los cilindros de plataforma deslizante se pueden personalizar de acuerdo con la carrera, el diámetro del cilindro, la superficie de instalación, la posición de apertura magnética, la interfaz de vacío y la forma no estándar; El extremo de la distancia variable se combina de acuerdo con el número de trabajo, la distancia del centro, la distancia, la distancia, la distancia y la distancia del centro y la distancia equidistancia/distancia. Recomendaciones de entrega Solicite pruebas de posicionamiento repetidas, descripción del material de sellado, instrucciones de lubricación sin aceite y datos de confirmación de adaptación limpia El nivel de limpieza específico está sujeto a los requisitos del proyecto y la verificación de la muestra.

Nombre de la empresa

Automatización industrial Co., Ltd. de Dongguan Xinda

Sitio web oficial

Www.xdeoat.com

Contacto comercial

Sra. Ming: 1368628662

©2026 Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. Todos los derechos reservados

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  • Al descargar modelos 3D a través de Great Power Craftsman o nuestro paquete de descarga 3D,Consulte el diagrama de sugerencias para los parámetros de entradaY los comentarios de la derecha indican ingresar los parámetros técnicos correspondientes.
电机位置
悬挂尺寸
选型参考
① - 21② - 100③ - 4④ - M⑤ - TR1⑥ - S⑦ - N⑧ - L⑨
① Serie
② Espacio central mínimo
21mm
③ Espacio central máximo
22-100mm opcional
④ Número de estaciones
3
⑤ Punto de origen variable
Centro/izquierda/derecha variable
⑥ Posición del motor
Mapa de ubicación del motor de referencia
⑦ Tipo de motor
Servo/Paso/Ninguno
⑧ Señal de conmutación
PNP/NPN
⑨ Dirección de instalación del módulo
T elevación/D bolsillo/L lateral
Consejos de selección: Referencia de selección "Diagrama de selección de carga (ver)", Si no sabe cómo seleccionar el tipo, consulte la página P09 de nuestra información, informe que es el tipo de patrón variable, proporcione la página P11"Tabla seleccionada del esquema de diseño del módulo de cambio de sincronización (descarga)", Complete la información técnica de la marca de punto rojo y envíelo a nuestra empresa. Realice una selección razonable de acuerdo con los escenarios de aplicación reales, los requisitos de carga y el espacio de instalación, y combine los parámetros anteriores. Si tiene necesidades especiales, se recomienda ponerse en contacto con el soporte técnico para confirmar el rendimiento y la estabilidad del equipo.
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Introducción a la plataforma deslizante variable

La mesa deslizante de variador síncrona también se llama mecanismo de variador síncrono, que es una especie de módulo. El número de controles deslizantes de cambio no es inferior a 2, y el eje de accionamiento se invierte para controlar el movimiento lineal de varios controles deslizantes en el riel guía.

La forma de variador se puede dividir en:Variación isométrica síncronaYDistancia desigual síncronaEtc., el modo de movimiento se puede dividir en: cambio de sincronización de posicionamiento intermedio, cambio de sincronización de posicionamiento unilateral y cambio de sincronización irregular.

El eje motriz solo puede girar hacia adelante y hacia atrás dentro del ángulo marcado por la mesa deslizante, y el mecanismo de cambio de distancia se dañará directamente si excede el rango de ángulo establecido.

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Ámbito de aplicación

La mesa deslizante de paso variable está equipada con un manipulador o una ventosa de vacío, que puede agarrar varias piezas de trabajo de la placa de clasificación a una distancia fija y colocarlas a una distancia variable para operaciones de manipulación de paso variable en la producción automática.

Tiene una amplia gama de aplicaciones en automatización 3C, semiconductores, electrónica, medicina, máquinas de envasado, dispensadores, ensamblaje de baterías de vehículos de nueva energía, agarre manipulador de necesidades diarias y otras industrias.

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Ventajas y características

  1. Estructura en miniatura:Tamaño pequeño, peso ligero, se puede mover en un espacio pequeño.
  2. Trabajo isométrico sincrónico:Dentro del rango de cambio establecido por la mesa deslizante de rango variable de múltiples estaciones, se puede realizar la operación de cambio de punto de toma arbitraria de alta velocidad de múltiples mesas deslizantes.
  3. Trabajos de distancia desigual sincrónica:Puede realizar el posicionamiento sincrónico del punto de posicionamiento hacia el punto excéntrico, y el posicionamiento sincrónico del punto de posicionamiento hacia un lado, y el cambio de sincronización no equidistante.
  4. Diseño de alta precisión:Este mecanismo de mesa deslizante de distancia variable síncrona tiene un diseño riguroso, alta precisión, larga vida útil, precisión, alta velocidad, operación de posicionamiento y manipulación, lo que puede ahorrar tiempo y mejorar la eficiencia del trabajo.
  5. Fácil de operar:La operación de distancia variable es simple y conveniente.
  6. Personalización flexible:El modelo de cambio tiene un tornillo de cambio de paso. Hay una variedad de deslizadores para elegir. El formulario de cambio se puede personalizar según sea necesario. Si hay un cambio en la forma o el tamaño del control deslizante, el período de entrega se extenderá.
Alta precisión Miniaturización Alta eficiencia Personalización
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Precauciones para el módulo de variador

  1. Este mecanismo solo se puede usar horizontalmente, no verticalmente.
  2. El espaciado máximo y el rango de espaciado mínimo de la distancia variable no se pueden exceder, y el exceso dañará este mecanismo.
  3. El ángulo de rotación del eje de accionamiento no puede exceder el rango de ángulo especificado por la plataforma deslizante de paso variable.
  4. Para evitar daños al módulo deslizante por impacto, no instale piezas en el control deslizante que obstaculicen el funcionamiento del control deslizante.
  5. Consulte los parámetros de par recomendados, elija el motor adecuado.
  6. Instale la mesa deslizante variable en un mecanismo rígido.
  7. El espacio entre cada control deslizante siempre cambia y el control deslizante no se puede ejecutar por separado.

Diagrama esquemático del equipo del módulo de cambio

Diagrama de equipo del módulo de variador en aplicaciones prácticas

Diagrama esquemático de la estructura del equipo

Muestre la estructura interna y el diseño de componentes del módulo de variador

Aplicación de línea de producción automatizada

Escenarios de aplicación del módulo de variador en la línea de producción automatizada

Visualización de escenarios de aplicación

Aplicación práctica del módulo de variador en la industria electrónica 3C

Diagrama esquemático de detalles estructurales

Detalles estructurales clave del módulo de variador

Análisis de detalles estructurales

Estructura detallada y principio de funcionamiento de los componentes clave

Diagrama esquemático del principio de funcionamiento

Flujo de trabajo y principio del módulo de variador

Visualización del principio de funcionamiento

Diagrama esquemático del proceso de trabajo de distancia variable síncrona

1. Variación isométrica sincrónica

分中同步等距变距

2. Variación isométrica sincrónica unilateral

单边同步等距变距

3. Variación de distancia fija multisegmento isométrica síncrona

同步等距多段定距变距

4. Distancia desigual, distancia fija, distancia variable síncrona

不等距定距同步变距

5. Todo el grupo de acción se sincroniza de izquierda a derecha.

整组动子从左向右同步等距变距

6. Después de que todo el conjunto de movimientos se traslona, sincroniza el cambio de distancia

整组动子平移后再同步变距

7. Después de que todo el conjunto de movimientos se traslona, sincroniza el cambio de distancia

整组动子平移后再同步变距

8. Variación de distancia equidistante o desigual de múltiples estaciones parametrizadas en cualquier punto

任意点参数化多工位等距或不等距变距
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