В высокопроизводительных процессах, таких как обработка полупроводниковых пластин, фотолитография, осаждение тонких пленок, упаковка микросхем и точное обнаружение, обычные промышленные цилиндры имеют такие дефекты, как большое количество пыли, нестабильное трение, легкое уплотнение, низкая точность позиционирования и сильные возмущения выхлопных газов., Обычные пневматические компоненты склонны к образованию изношенных частиц и летучих примесей масляных пятен во время работы, и они легко загрязняют микронные прецизионные пластины и микросхемы. В то же время повторяющиеся проблемы, такие как отклонения в движении, дрожание закатов и неконтролируемая скорость, могут напрямую привести к смещению в сторону процесса, снижению производительности продукта, отказу прецизионного оборудования, неспособности к адаптации к цеху очистки полупроводников, строгие производственные стандарты в условиях высокого вакуума и сверхточного управления движением. Полупроводниковый специальный цилиндр-это высокопроизводительный прецизионный пневматический исполнительный элемент, специально разработанный для полупроводниковых беспыльных процессов. Опираясь на структуру с низким уровнем пыли, ультранизкие характеристики трения, безмасляную чистую конструкцию, микронную точность позиционирования, он может быть выполнен в чистом помещении ISO4-ISO6 класса, высоком вакууме, с низким уровнем возмущения. Выполните стабильное и точное возвратно-поступательное действие привода в условиях. Это основной стандартный аксессуар для оборудования полупроводниковой автоматизации для достижения прецизионной нагрузки, зажима, открытия и закрытия полости и точной передачи.

I. Определение полупроводниковых цилиндров и принцип работы ядра

Полупроводниковые цилиндры, также известные как чистые цилиндры и точные цилиндры без пыли, представляют собой специальные пневматические компоненты высокого качества, которые отличаются от обычных промышленных цилиндров. Продукт отказывается от традиционной экстенсивной конструкции цилиндра, с чистотой и без загрязнений, сверхнизким трением, точным контролем, низкой вибрацией и низкими возмущениями выхлопных газов в качестве основных принципов проектирования, и широко оснащен оборудованием для передачи пластин, фотореографом, травлением, тонкопленочным оборудованием, упаковочным испытательным оборудованием и другим полупроводниковым основным технологическим оборудованием, это основной компонент полупроводниковой автоматизации прецизионной передачи.

Его основной принцип работы опирается на чистое давление воздуха для привода сверхнизкого трения прецизионной трансмиссии для достижения высокоточной и безпыльной работы: путем фильтрации и очистки высокочистого сжатого воздуха в качестве источника энергии, поршневые компоненты для выполнения линейного возвратно-возвратно-выходного движения и использования безмасляной смазки или чистой специальной смазки на протяжении всего процесса. Система предотвращения загрязнения окружающей среды; опираясь на прецизионную адаптированную уплотнительную конструкцию и спортивную пару со сверхнизким трением, износ движения и выработка частиц значительно уменьшаются для достижения плавной передачи без дрожания, в сочетании с прецизионной ограничительной и буферной структурой для точного контроля хода, скорости и положения позиционирования, эффективно компенсируя колебания давления воздуха, Отклонение движения, вызванное вибрацией оборудования, при обеспечении высокоскоростной и эффективной передачи он отвечает строгим требованиям процесса нулевого загрязнения, высокой точности и высокой стабильности полупроводникового процесса.

Во-вторых, основной состав структуры и процесс материала

Полупроводниковые цилиндры имеют легкую и чистую интегрированную структуру. Основные компоненты обрабатываются без пыли, предотвращают осаждение и имеют низкий износ. Конструкция прецизионно компактна, без пыли и мертвых углов, без испарения масла и подходит для чистой комнаты в течение длительного времени. Постоянная работа, производительность и чистота намного выше, чем у обычных промышленных цилиндров.

1. Высоко чистый легкий цилиндр

Блок цилиндров изготовлен из авиационного алюминиевого сплава и высококлассного материала из нержавеющей стали. Поверхность анодирована, зеркально-полирована, пассивирована и очищена. Сам материал не осажден, не улетучен и устойчив к коррозии. Он может противостоять воздействию специальных чистящих газов и влажной среды в чистом цехе. В то же время легкая конструкция может снизить инерцию движения, повысить точность передачи и предотвратить отклонение от дрожания, вызванное толстым блоком цилиндров.

2, сверхнизкое трение прецизионные спортивные компоненты

Основные движущиеся части, такие как поршни, поршневые штоки и направляющие втулки, прецизионно шлифовываются, а зазор достигает микронного уровня, а поверхность имеет чрезвычайно высокую отделку. В сочетании со специальным износостойким материалом с низким трением количество износа возвратно-возвратно-испорченного движения значительно уменьшается, а производство микрочастиц из источника уменьшается. По сравнению с обычными цилиндрами трение при запуске чрезвычайно низкое, что может обеспечить плавную работу на низких скоростях, полностью решить проблемы низкоскоростного ползания и закатного дрожания, а также обеспечить согласованность точной передачи.

3. Специальная уплотнительная конструкция без пыли

Он использует импортный высокочистый специальный уплотнительный материал, который обладает характеристиками отсутствия масла, низкого осаждения, устойчивости к старению и низкого износа, отличается от обычных резиновых уплотнений и не улетучивает масло и производит пыль из клея. Уплотнительная конструкция оптимизирована для того, чтобы плотно прилегать и равномерно, выдерживать давление и износостойкость. Длительные высокочастотные возвратно-возвратные движения не легко деформируются, повреждаются и падают, предотвращают загрязнение процесса, вызванное износом уплотнения, и адаптируются к длительным непрерывным беспыльным операциям.

4. Чистый буфер и ограниченная система

Встроенная двойная структура прецизионного газового буфера и буфера давления масла с регулируемым ограничительным устройством может точно регулировать скорость движения, силу буфера и положение окончания. Эффективно устраняет ударную вибрацию и отклонение отскока в конце хода, избегает твердых частиц примесей при жестком ударе и в то же время гарантирует точность повторного позиционирования.

5. Низкие возмущения выхлопных газов чистой структуры

Оснащенный специальным чистым контуром выхлопных газов и бесшумной фильтрующей структурой, поток выхлопных газов стабилен, без турбулентных возмущений и не будет поднимать пыль в цехе. Некоторые высокопроизводительные модели оснащены вакуумной адаптирующей структурой, которая может стабильно работать в условиях высокой вакуумной камеры, предотвращать влияние потока выхлопных газов на точность статирования пластины и соответствовать условиям высокопроизводительного полупроводникового вакуумного процесса.

6, безмасляный длительный процесс смазки

Используется твердотельная чистая смазка для пищевых продуктов и полупроводников, без осаждения жидкого масла, без летучего загрязнения и долговечности. Не требуется частое пополнение масла и техническое обслуживание, чтобы избежать недостатков чрезмерного разлива масла в традиционных цилиндрах и длительного использования сухого износа масла, а также поддерживать чистоту и отсутствие пыли на протяжении всего процесса в соответствии с производственными спецификациями чистых помещений.

04(1)

В-третьих, основная классификация и технические характеристики полупроводниковых цилиндров

В соответствии со структурным стилем, уровнем точности, условиями адаптации и сценариями процесса, цилиндры, предназначенные для полупроводников, образуют полную систему продуктов с четкой классификацией и точной адаптацией, которая может удовлетворить потребности в дифференцированной чистоте, точности и пространстве различных полупроводниковых процессов.

1. Классификация по стилю структуры

Компактный чистый цилиндр: компактный, компактный, с очень небольшим пространством, адаптация к узкой полости полупроводникового оборудования, плотная компоновка модуля, в основном легкий, низкий уровень возмущения, в основном используется для открытия и закрытия небольших механизмов, тонкой настройки и выверки. Основной стиль оборудования.

Цилиндр точной очистки слайда: интегрированная линейная прецизионная направляющая, высокая жесткость, точное положение, отсутствие бокового смещения, чрезвычайно высокая точность повторного позиционирования, адаптация с переводом пластины, прецизионной передачей подложки, высокоточными процессами выравнивания и превосходная стабильность трансмиссии.

Чистый цилиндр без стержня: без открытой структуры штока поршня, закрытая работа на протяжении всего процесса, небольшое количество пыли и мертвых углов, чрезвычайно низкое количество пыли, адаптация вакуумной полости, сверхчистое закрытое пространство для работы, экономия места для установки и в основном используется для длительной подвижной пластины. механизм.

Ультратонкий плоский чистый цилиндр: плоская ультратонкая конструкция, адаптирующее оборудование, ультратонкая многослойная монтажная сцена, равномерное усилие, стабильная работа, в основном используется для захвата полупроводниковых пластин, фиксации тонких и легких подложек, а также чрезвычайно универсальна.

2. Классификация по чистому классу

Стандартная чистая модель (ISO5-ISO6): низкая пыль, отсутствие масляного загрязнения, подходит для обычной упаковки, тестирования и мастерской по очистке заднего процесса.

Сверхвысокая чистота (ISO4 и выше): полностью закрытая структура без осаждения, адаптация вакуума, сверхнизкая пыль, после строгой сертификации чистоты, адаптация к прецизионным обработкам ядра переднего конца, таким как литография, гравировка и осаждение пленки, для устранения следов. Риск загрязнения.

3. Классификация в соответствии с точностью работы

Обычная прецизионная модель: стабильная точность позиционирования, отсутствие заклинания в работе, адаптация с обычными прецизионными процессами, такими как упаковка, сортировка и тестирование, для баланса качества и стоимости.

Ультра-высокая точность стабилизации изображения: точность многократного позиционирования на микронном уровне, отсутствие дрожания при сверхнизком трении, плавная работа на низкой скорости, адаптация к высокоточным сценам, таким как выравнивающий литографический аппарат, прецизионное прилегание пластины и высокопроизводительный процесс чипа.

В-четвертых, основные преимущества применения

По сравнению с обычными промышленными цилиндрами и обычными пневматическими компонентами, специальные полупроводниковые цилиндры обладают выдающимися преимуществами в плане чистоты, точности позиционирования, стабильности работы, устойчивости к загрязнению и адаптации процесса, что идеально подходит для решения проблемы легкого загрязнения, низкой точности и дрожания обычных пневматических компонентов. Болевые точки отрасли с катоном, коротким сроком службы и большими нарушениями.

1. Сверхнизкая пыль без масла, предотвращает загрязнение процесса

Он принимает полностью чистую конструкцию и безмасляную смазку, имеет очень мало движущихся частиц износа и не улетучивается масляные пятна, полностью избегая пыли, загрязнения масляных пятен, пластин и прецизионных микросхем. Он полностью соответствует строгим стандартам в чистом помещении для полупроводников, обеспечивает чистоту технологической среды от конца пневматического исполнения, значительно снижает вероятность загрязнения, плохого состояния и утилизации чипа, а также эффективно улучшает качество продукции.

2. Сверхнизкое трение без дрожания, высокая точность позиционирования

Прецизионное согласование зазора и структура движения с низким коэффициентом трения полностью решают проблемы низкоскоростного ползания, дрожания запуска-остановки и смещения положения обычных цилиндров. Точность повторного позиционирования может достигать микронного уровня. Амортизация в конце хода стабильна и не имеет смещения отскока. Каждая трансмиссия, удержание и положение выравнивления очень унифицированы, что идеально подходит для прецизионной обработки и сборки полупроводников на микроуровне.

3. Низкое возмущение и низкая вибрация, адаптация к прецизионным условиям работы

Запуск и остановка плавные, поток выхлопных газов стабилен, нет сильной вибрации и турбулентных возмущений, он не поднимет пыль в чистой комнате и не будет мешать точности статирования пластин и точных подложек. Он может быть адаптирован для работы в вакуумной камере и сверхчистом замкнутом пространстве, чтобы обеспечить стабильную среду процесса высокого класса и избежать отклонений процесса, вызванных воздушным потоком и вибрацией.

4. Чистая коррозионная стойкость, адаптация к сложным условиям работы

Высококачественный антикоррозийный материал с чистой поверхностной обработкой, устойчив к водяному пару, незначительным кислотам и щелочам, а также к специальной газовой коррозии процесса. Он не легко стареет, ржавеет, деформируется и герметизирует в течение длительного времени в чистой, влажной и вакуумной среде. Конструкция закрыта без мертвых углов, и трудно накапливать пыль и накипь.

5. Компактный объем и широкая адаптация, экономия пространства на оборудовании

Многопрофильная компактная, легкая структура может быть опциональной, с высокой плотностью, тонкой и миниатюрной компоновкой полупроводникового оборудования, гибкой установкой и высокой адаптируемости. Он может точно соответствовать требованиям трансмиссии различных тактов, разной интенсивности и разных пространств, а также подходит для различных модификаций оборудования для автоматизации полупроводников и поддержки новых машин.

6. Долгосрочная стабильность, низкая эксплуатация и эксплуатация, подходит для массового производства

Износостойкие и стойкие к осаждению материалы и зрелые чистые конструкции имеют чрезвычайно низкую частоту отказов и длительный срок службы, не нужно часто пополнять масло и заменять аксессуары. 24-часовая непрерывная эксплуатация стабильна, с меньшим количеством простоев и низкими затратами на эксплуатацию и техническое обслуживание, что соответствует высоким стандартам производства, высокой стабильности и высокой точности в полупроводниковой промышленности.

V. Основные отрасли применения и производственные сценарии

Полупроводниковые цилиндры полагаются на характеристики ядра высокой чистоты, высокой точности и высокой стабильности, чтобы полностью охватить всю производственную цепочку полупроводникового процесса переднего конца, обработки среднего конца, упаковки и тестирования задней части и являются незаменимыми основными пневматическими аксессуарами для точного производства микроэлектроники.

1. Переднее прецизионное технологическое оборудование: широко используется в фоторесцентных станках, травильных станках, оборудовании для осаждения тонких пленок и станках для ионной инжекции. Он отвечает за выверку прецизионной платформы, открытие и закрытие клапана полости, точную настройку пластины и сверхвысокую чистоту для предотвращения загрязнения процесса ядра. Для обеспечения точности обработки чипа.

2. Оборудование для передачи и обработки вафель: адаптируется с вафельной механикой, платформой для пересадки вафель и вакуумным модулем передачи для достижения плавного доступа и раздувания вафель, точной транспортировки, отсутствия дрожания и сверхнизких характеристик пыли для защиты неокрашенных пластин от загрязнения. повреждение.

3. Оборудование для процесса упаковки чипа: используется в станках для затвердения кристаллов, сварочных машинах, пластиковых уплотнениях, режущем оборудовании для завершения захвата чипа, фиксации подложки, сдвига модуля, прецизионных операций прессования, стабильных и точных эффектов передачи для обеспечения точности и подгонки упаковки. степень.

4. Оборудование для точного обнаружения и сортирования: адаптация к оптическому тестированию AOI, электрическому тестированию и оборудованию для сортирования микросхем для достижения точного переключения испытательной установки, точного удержания позиционирования и устранения проблем обнаружения и пропусков, вызванных отклонением трансмиссии.

5. Оптоэлектронное микроэлектронное вспомогательное оборудование: оно охватывает светодиодные чипы, микроустройства MEMS, оборудование для изготовления прецизионных датчиков, адаптация к захвату, сдвигу и позиционированию ультрамелких прецизионных деталей для удовлетворения потребностей микро-нанокласса в прецизионном производстве.

6. Вакуумное сверхчистое рабочее оборудование: используется для различных типов вакуумных технологических камер, внутреннего механизма передачи закрытого чистого оборудования, без чистоты стержней и сверхвысокой чистоты, которые могут быть оснащены высоким вакуумом, без помех и строгой рабочей среды.

Основные моменты точного выбора

Научный выбор является ключом к обеспечению точности, чистоты и стабильности полупроводникового процесса. Необходимо точно сочетать четыре измерения: уровень процесса, условия работы, требования к трансмиссии и пространство оборудования.

1. Выбор в соответствии с уровнем чистоты процесса: для упаковки и тестирования в заднем конце используются ISO5-ISO6 стандартные чистые модели, для прецизионных процессов, таких как фотолитография, травление, пленка и другие прецизионные основные процессы, должны быть выбраны сверхвысокочистые, вакуумные, адаптированные стили ISO4 и выше, чтобы предотвратить микрозагрязнение. риск.

2. Выберите тип в соответствии с требованиями точности трансмиссии: стандартная прецизионная модель для обычных процессов обработки, открытия и закрытия, а также для захватов, высокоточные сцены, такие как прецизионная выверка, тонкая настройка пластины и оптическое обнаружение, предпочтительнее использовать сверхвысокую точность сотрясения слайда для гарантии микронного уровня. Точность позиционирования.

3. Выбор в соответствии с пространственной структурой оборудования: узкий мезонин и плотный модуль оборудования используют компактные, ультратонкие плоские модели, длиннотактная передача пластины и закрытая камера используют чистые модели без стержня, принимая во внимание требования к трансмиссии и расположение пространства.

4. Выбор в соответствии с условиями работы: обычные чистые мастерские выбирают универсальные чистые модели, вакуумные камеры, специальные газы, влажные и коррозионные условия, антикоррозийные, вакуумные, полностью закрытые сверхвысокие чистые модели, подходящие для сложных и строгих производственных условий.

Общие проблемы неисправностей и стандартизированные спецификации технического обслуживания

Полупроводниковые цилиндры имеют зрелую технологию, высокую стабильность и низкую частоту отказов, но выбор непоследовательного типа, источник воздуха нечистый, неправильное обслуживание, длительная усталостная работа, склонность к отклонениям при ходьбе, катанию, чрезмерному выпуску пыли и неконтролируемой скорости. Использование и рафинированное обслуживание могут обеспечить стабильность процесса в долгосрочной перспективе.

Общие неисправности и решения

Во-первых, трансмиссия и низкоскоростное дрожание в основном вызваны накоплением примесей в источнике воздуха, ослаблением внутренней смазки и незначительной деформацией уплотнения. Необходимо очистить источник сжатого воздуха, очистить впускной контур цилиндра и дополнить специальную чистую смазку. Смещение смещения, вызванное длительной вибрацией, приводит к ослаблению установки и выходу из строя буферной конструкции. Точность установки должна быть перекалибрована, а узлы ограничения буферизации должны быть отремонтированы. В-третьих, количество пыли увеличивается, а чистота не соответствует стандартам. Для того, чтобы вызвать износ уплотнения и падение поверхностного покрытия, необходимо своевременно заменить чистые уплотнительные аксессуары, чтобы проверить износ блока цилиндров. Нестабильная скорость работы, недостаточная тяга, в основном колебания давления воздуха и блокировка впускного контура. Необходимо отладить стабильное давление воздуха и очистить структуру отфильтрованного выхлопа.

Стандартизированные спецификации для установки и обслуживания

Перед установкой проверьте, соответствуют ли уровень чистоты, технические характеристики конструкции и параметры точности требованиям процесса, чтобы предотвратить неправильное использование низкостандартных продуктов, поддерживать горизонтальную вертикальную выравнивку во время установки и равномерно закреплять фиксированную точку, чтобы избежать отклонения в положении наклона, вызванного наклонной силой. Для ежедневного производства необходимо использовать высокочистый чистый сжатый воздух и регулярно проверять устройство фильтрации источника газа, чтобы предотвратить попадание примесей в цилиндр, запрещается насильственный запуск, остановка и перегрузка, а также снижение жесткого ударного износа. Регулярно проверяйте состояние работы цилиндра, точность запуска и остановки, состояние чистоты и ежеквартально проверяйте потери компонентов уплотнения, амортизации и смазки, а также своевременно заменяйте устаревшие аксессуары, перед повторным запуском после длительного отключения необходимо выполнить пробную калибровку без нагрузки и очистить поверхностное накопление пыли, чтобы гарантировать, что он будет запущен. Стандарты чистой и точной работы.

Резюме отрасли

Полупроводниковые цилиндры являются основными чистыми пневматическими исполнительными элементами в цепочке индустрии прецизионного производства полупроводников. С основными преимуществами сверхвысокой чистоты и отсутствия загрязнения, точного позиционирования микронного уровня, сверхнизкого дрожания и низкого возмущения, долгосрочной стабильности и устойчивости к атмосферным воздействиям, он полностью компенсирует обычные промышленные цилиндры. Загрязнение пыли, недостаточная точность, нестабильная работа и плохая совместимость. Он обладает всесторонним характеристиками высокой чистоты, стабильной точности, широкой адаптации, простой эксплуатации и технического обеспечения, а также подходит для высококачественного массового производства.

По мере того, как полупроводниковый процесс становится высокоточным в наномасштабе, процесс очистки и высокого уровня, а также миниатюризация интеграции оборудования, отрасль предъявляет все более строгие требования к чистоте, точности, стабильности и низкой помехе деталей пневматической трансмиссии. Уточнение и высокопроизводительное применение стали спросом в отрасли. Точный выбор классификации, стандартизированная установка и регулярное утонченное техническое обслуживание могут эффективно избежать загрязнения процесса, обеспечить точность работы оборудования, снизить частоту дефектов продукции и продлить срок службы оборудования. Гарантия пневматической трансмиссии.