Dans les processus de fabrication haut de gamme tels que le traitement de plaquettes à semi-conducteurs, la gravure photoélectrique, le dépôt de film, l'emballage de puces et l'inspection de précision, les cylindres industriels ordinaires ont une grande quantité de poussière, un frottement instable, une analyze d'huile facile d'étanchéité, une faible précision de positionnement et une forte perturbation des gaz d'échappement. Les composants pneumatiques conventionnels sont sujets aux particules d'usure et aux impuretés volatilisées par l'huile lorsqu'ils sont en fonctionnement, ce qui peut facilement polluer les plaquettes de précision de niveau micron et les circuits de puces. En même temps, des problèmes tels que la déviation de position répétée, la gigue de catton et la perte de vitesse entraîneront directement le décalage de mise en œuvre du processus., Baisse du rendement du produit, panne de l'arrêt des équipements de précision, incapacité des semi-conducteurs propre atelier, environnement à vide élevé, normes de production strictes pour le contrôle de mouvement ultra-précis. Le cylindre spécial à semi-conducteurs est un composant d'actionnariat aérodynamique de précision haut de gamme spécialement développé pour le processus sans poussière de semi-conducteurs. Il repose sur une structure à faible teneur en poussière, des caractéristiques de frottement ultra-faible, une conception propre sans huile et une précision de positionnement au niveau du micron. Il peut être utilisé dans une salle blanche de niveau ISO4-ISO6, un vide élevé et un entraînement alternatif stable et précis dans des conditions de faible perturbation. Il s'agit de l'accessoire standard de base pour les équipements d'automatisation des semi-conducteurs pour réaliser un déplacement de précision, un pincement au contrepoint, une ouverture et une fermeture de la cavité et une transmission précise.

1. Définition du cylindre spécial des semi-conducteurs et principe de fonctionnement de base

Les cylindres spéciaux à semi-conducteurs, également connus sous le nom de cylindres propres et de cylindres de précision sans poussière, sont des composants pneumatiques spéciaux de haute qualité qui sont différents des cylindres industriels ordinaires. Ils sont spécialement conçus pour le développement personnalisé de scénarios de fabrication de haute précision tels que les semi-conducteurs, l'optoélectronique et la microélectronique. Le produit abandonne la conception traditionnelle de la structure extensive du cylindre, avec des règles de conception de base propres et sans pollution, très faible frottement, précis et contrôlables, à faible vibration et à faible perturbation des gaz d'échappement, et est largement adapté aux équipements de transmission de plaquettes, aux machines de photorégraphie, aux machines de gravure et aux équipements à couches minces., Équipement de test d'emballage et autres équipements de processus de base pour semi-conducteurs, c'est le composant de base de la transmission de précision automatisée des semi-conducteurs.

Son principe de fonctionnement de base repose sur la pression propre pour entraîner une transmission de précision à très faible frottement pour réaliser des opérations sans poussière de haute précision: l'air comprimé de haute pureté après filtration et purification est utilisé comme source d'énergie pour pousser les composants du piston à compléter le mouvement alternatif linéaire, et la lubrification sans huile ou la lubrification spéciale propre tout au long du processus Système, pour empêcher la pollution par les hydrocarbures de précipiter l'environnement de processus polluant; s'appuyant sur la structure d'étanchéité adaptée de précision et la paire de mouvement à très faible frottement, réduire considérablement l'usure de mouvement et la production de particules, et réaliser une transmission stable et sans gigue; avec une limite de précision et une structure tampon, contrôler avec précision la course, la vitesse et la position de positionnement, et compenser efficacement les fluctuations de pression atmosphérique, la déviation de position causée par la vibration de l'équipement, tout en garantissant une transmission à haute vitesse et à haut rendement, il répond aux exigences de processus strictes de zéro pollution, de haute précision et de haute stabilité dans le processus des semi-conducteurs.

2. Composition structurelle de base et technologie matérielle

Le cylindre spécial à semi-conducteurs adopte une structure intégrée légère et propre. Les composants de base sont traités sans poussière, anti-précipitation et à faible usure. La structure est précise et compacte, pas d'angles morts de poussière, pas de volatilisation d'huile et convient au fonctionnement continu à long terme de la salle blanche. La stabilité et la propreté dépassent de loin les cylindres industriels ordinaires.

1. Haut cylindre propre et léger

Le cylindre est formé en alliage d'aluminium de qualité aéronautique et en acier inoxydable haut de gamme. La surface est anodisée, le polissage du miroir, la passivation et le nettoyage. Le matériau lui-même n'a pas de précipitation, de volatilisation et de résistance à la corrosion. Il peut résister aux gaz de nettoyage spéciaux de l'atelier propre et à l'érosion de l'environnement humide. Dans le même temps, la structure légère peut réduire l'inertie de mouvement, améliorer la précision de la transmission et éliminer la déviation de gigue causée par le cylindre épais.

2. Composants de mouvement de précision à très faible frottement

Les composants mobiles de base tels que le piston, la tige de piston et le manchon de guidage sont traités par meulage de précision, et l'écart atteint le niveau micron, et la finition de surface est extrêmement élevée. Avec un matériau spécial à faible frottement et résistant à l'usure, la quantité d'usure par mouvement alternatif est considérablement réduite et la production de particules à partir de la source est réduite. Par rapport aux cylindres ordinaires, la force de friction de démarrage est extrêmement faible, ce qui peut réaliser un fonctionnement stable à basse vitesse, résoudre complètement les problèmes de rampement à basse vitesse et de gigue de catapon et assurer la continuité de la transmission de précision.

3. Structure d'étanchéité spéciale sans poussière

Il adopte un matériau d'étanchéité spécial de haute propreté importé, qui présente les caractéristiques de l'absence d'huile, de faible précipitation, de résistance au vieillissement et de faible usure. Il est différent des joints en caoutchouc ordinaires et ne volatilise pas l'huile et ne produit pas de poussière de colle. La structure d'étanchéité a été optimisée et conçue pour un ajustement serré et uniforme, une résistance à la pression et à l'usure. Le mouvement alternatif à haute fréquence à long terme n'est pas facile à se déformer, à endommager et à tomber, à éviter la pollution du processus causée par l'usure du joint et à être adapté aux opérations continues sans poussière à long terme.

4. Système de mise en mémoire tampon et limite propre

La double structure intégrée de tampon d'air de précision et de tampon hydraulique, associée à un dispositif de limite de position réglable, peut réguler avec précision la vitesse de mouvement, la force tampon et la position de fin. Éliminer efficacement la vibration d'impact et le décalage de rebond à la fin de la course, éviter les chocs durs pour produire des impuretés granulaires, et en même temps assurer la précision du positionnement répété, et la position de départ et d'arrêt est hautement unifiée à chaque fois pour répondre aux besoins du processus de mise en position de précision des semi-conducteurs et de serrage précis.

5. Structure propre des gaz d'échappement à faible perturbation

Équipé d'un circuit d'échappement propre spécial et d'une structure de filtration silencieuse, le flux d'air d'échappement est stable, il n'y a pas de perturbation turbulent et la poussière en suspension dans l'atelier ne sera pas déclenchée. Certains modèles haut de gamme sont équipés d'une structure adaptée au vide, qui peut fonctionner de manière stable dans un environnement de cavité à vide élevé, afin d'éviter que le flux d'air d'échappement n'affecte la précision de la pose statique de la plaquette et s'adapte aux conditions de processus de vide à semi-conducteur haut de gamme.

6. Processus de lubrification à long terme sans huile

Il adopte une graisse propre à l'état solide de qualité alimentaire et à semi-conducteurs, sans précipitation d'huile liquide, sans pollution volatile, et une résistance à l'usure à long terme. Il n'est pas nécessaire de reconstituer fréquemment l'huile pour l'entretien, d'éviter les inconvénients d'une injection d'huile excessive dans le cylindre traditionnel et d'une utilisation à long terme de l'huile pour sécher et porter, et de maintenir un état de fonctionnement propre et sans poussière tout au long du processus, qui est conforme aux spécifications de production de la salle blanche.

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3. Classification et spécifications grand public des cylindres spéciaux pour semi-conducteurs

Selon le style de structure, le niveau de précision, les conditions de travail appropriées et les scènes de processus, les cylindres spéciaux pour semi-conducteurs forment un système de produit complet, avec une classification claire et une adaptation précise, qui peut répondre aux besoins de nettoyage, de précision et d'espace différenciés de différents processus de semi-conducteurs.

1. Classer par style de structure

Cylindre propre compact: petit corps, structure compacte et très petit espace occupé. Il est adapté à la cavité étroite et à la disposition du module dense de l'équipement à semi-conducteurs. Il est principalement léger et peu perturbateur. Il est principalement utilisé pour l'ouverture et la fermeture de petits mécanismes et le réglage fin de la position. C'est le style principal de l'équipement de test d'emballage.

Cylindre propre de précision de la plate-forme coulissante: rail de précision linéaire intégré, forte rigidité, position de marche précise, pas de décalage latéral, précision de positionnement répété extrêmement élevée, adaptation à la translation de plaquettes, transport de substrat de précision, processus de contrepoint de haute précision, excellente stabilité de transmission.

Cylindre propre sans tige: structure de tige de piston non exposée, fonctionnement fermé tout au long du processus, moins d'angles morts accumulés de poussière, très faible quantité de poussière, adapté à la cavité à vide, fonctionnement en espace fermé ultra-propre, économisant de l'espace d'installation, et est principalement utilisé pour la transmission de plaquettes à longue course.

Cylindre propre et plat ultra-fin: conception plate et ultra-mince, équipement adapté à la scène d'installation mezzanine ultra-mince, force uniforme, fonctionnement stable, principalement utilisé pour le serrage en feuille de semi-conducteur, fixation de substrat mince et léger, extrêmement polyvalent.

2. Classé par niveau de nettoyage

Le modèle de nettoyage standard (ISO5-ISO6): faible teneur en poussière, sans pollution par l'huile, adapté aux emballages conventionnels, aux essais et aux ateliers de nettoyage de processus back-end, avec des performances de coût exceptionnelles, répondant aux besoins de production générale sans poussière de semi-conducteurs.

Modèles ultra-propres (ISO4 et plus): structure entièrement fermée sans précipitation, adaptation sous vide, poussières à très faible émission, après une certification de nettoyage stricte, adaptée au processus de précision du noyau frontal tel que la photogravure, la gravure et le dépôt de film pour éliminer les traces de risque de pollution.

3. Classé par conditions de précision

Les modèles de précision conventionnels: précision de positionnement stable, fonctionnement sans catton, adaptation aux processus de précision ordinaires tels que l'emballage back-end, le tri, les tests, etc., équilibrent la qualité et le coût.

Étanche de précision ultra-haute précision: précision de positionnement répété de niveau micron, frottement ultra-faible sans gigue, fonctionnement stable à basse vitesse, adaptable à des scènes de haute précision telles que l'appariement de la machine de lithogravure, ajustement de précision des plaquettes et processus de puce haut de gamme.

Quatrièmement, les principaux avantages des applications

Par rapport aux cylindres industriels ordinaires et aux composants pneumatiques conventionnels, les cylindres spéciaux à semi-conducteurs ont des avantages exceptionnels en termes de propreté, de précision de positionnement, de stabilité de fonctionnement, de capacité anti-pollution et d'adaptabilité du processus, et résolvent parfaitement la pollution, la mauvaise précision et la gigue des composants pneumatiques ordinaires. Les points douloureux de l'industrie avec une courte durée de vie et de fortes perturbations.

1. Il n'y a pas de pollution par l'huile à très faible teneur en poussière, et la pollution du processus est éliminée

Adoptant une conception de structure entièrement propre et un processus de lubrification sans huile, il y a très peu de particules d'usure sportive et aucune précipitation volatile à l'huile, évitant complètement la pollution par la poussière et l'huile des plaquettes et des circuits de précision des puces. Il répond pleinement aux normes strictes de la salle blanche des semi-conducteurs et garantit un environnement de processus propre à partir de la fin de l'exécution pneumatique, ce qui réduit considérablement la probabilité que la puce soit sale, mauvaise et mise au rebut, et améliore efficacement le rendement du produit.

2, très faible frottement sans gigue, précision de positionnement super élevée

L'appariement de l'espace de précision et la structure de mouvement à faible frottement résolvent complètement les problèmes de rampe à basse vitesse, de tremblement de démarrage et d'arrêt et de décalage de marche des cylindres ordinaires, et la précision de positionnement répété peut atteindre le niveau micron. L'extrémité de la course est amortie en douceur, sans décalage de rebond, et la position de chaque transmission, pincement et contrepoint est très uniforme, ce qui est parfaitement adapté aux exigences d'usinage et d'assemblage de précision de niveau micron des semi-conducteurs.

3, faible perturbation, faible vibration, conditions de travail de précision adaptées

Un démarrage et un arrêt doux, un flux d'air d'échappement stable, pas de vibrations violentes et de perturbations turbulentes, ne déclencheront pas de poussière en suspension dans la salle blanche et n'interféreront pas avec la précision de position statique des plaquettes et des substrats de précision. Il peut être adapté aux opérations de cavité à vide et d'espace fermé ultra-propre pour assurer la stabilité de l'environnement de processus haut de gamme et éviter les écarts de processus causés par le flux d'air et les vibrations.

4, propre et résistant à la corrosion, adapté aux conditions de travail complexes

Le matériau anticorrosion haut de gamme est associé à un traitement de surface propre, résistant à l'eau et à la vapeur, aux acides et aux alcalis légers, à la corrosion des gaz spéciaux dans le processus et au fonctionnement à long terme dans un environnement propre, humide et sous vide. La structure est étanche et sans angles morts, il n'est pas facile d'accumuler de la poussière et de la saleté, et convient aux conditions de production de masse continues à long terme de l'atelier de semi-conducteurs.

5, volume compact et large adaptabilité, économisant de l'espace d'équipement

Une structure compacte et légère multispécification est facultative, adaptée à la disposition des modules haute densité, raffinée et miniaturisée des équipements semi-conducteurs, une installation flexible et une forte adaptabilité. Il peut correspondre avec précision aux exigences de transmission de différents itinéraires, différentes intensités et différents espaces, et convient à divers types de transformation d'équipements d'automatisation de semi-conducteurs et de nouveaux équipements.

6, à long terme, stable, faible fonctionnement et maintenance, adapté à la demande de production de masse

Le matériau résistant à l'usure et à l'anti-précipitation et la structure propre mature ont un taux de défaillance extrêmement faible et une longue durée de vie. Il n'est pas nécessaire de reconstituer fréquemment l'huile et de remplacer les accessoires. Les performances de fonctionnement continu sur 24 heures sont stables, avec moins de pannes d'arrêt et de faibles coûts d'exploitation et de maintenance, ce qui correspond aux normes de production de masse de haute fréquence, de haute stabilité et de haute précision de l'industrie des semi-conducteurs.

5. Industrie des applications de base et scène de production

Avec ses caractéristiques de base de haute propreté, de haute précision et de haute stabilité, les cylindres spéciaux pour semi-conducteurs couvrent entièrement l'ensemble de la chaîne industrielle du processus frontal de semi-conducteurs, du traitement de milieu de gamme, de l'emballage et des tests back-end. Il s'agit d'un accessoire pneumatique de base indispensable pour la fabrication de précision en microélectronique.

1. Équipement de processus de précision frontal: largement utilisé dans les photorescales, les machines de gravure, les équipements de dépôt de film, les machines d'injection d'ions, responsable de l'appariement de la plate-forme de précision, de l'ouverture et de la fermeture de la valve de la cavité, du réglage précis de la plaquette et du niveau de nettoyage ultra-élevé pour éliminer la pollution du processus de base., Pour assurer la précision du traitement des puces.

2. Équipement de transmission et de manutention de plaquettes: adapté aux manipulateurs de plaquettes, aux plates-formes de repiquage de plaquettes et aux modules de transmission sous vide pour obtenir un retrait et un placement en douceur des plaquettes, un transport précis, un alignement sans gigue et des caractéristiques de poussière ultra-faible pour protéger les plaquettes nues contre la pollution.

3. Équipement de processus d'emballage de puces: utilisé dans les machines de fixation des cristaux, les machines à souder les fils, les machines de scellage en plastique, les équipements de coupe, pour compléter le serrage de la puce, la fixation du substrat, le déplacement du module, l'action de pressage de précision, l'effet de transmission stable et précis garantit la précision et l'appariance de l'emballage.

4. Équipement de contrôle et de tri de précision: adapté à la détection optique AOI, au test électrique, à l'équipement de tri des puces, pour réaliser la commutation précise de la position de détection, le positionnement et le pincement précis, et pour éviter les erreurs de détection et les fuites causées par la déviation de transmission.

5. Équipement de support de microélectronique optoélectronique: couvrant les puces LED, les microdispositifs MEMS, les équipements de fabrication de capteurs de précision, adaptés au processus de serrage, de déplacement et de positionnement des pièces de précision ultra-micro et petites, pour répondre aux besoins de fabrication de précision micro-niveau.

6. Équipement de conditions de travail ultra-propres sous vide: utilisé pour diverses cavités de processus sous vide, mécanisme de transmission interne de l'équipement propre fermé, le modèle propre sans tige, le modèle de nettoyage ultra-haut peut être adapté à un vide élevé, sans perturbation et environnement de travail strict.

6. Points clés de la sélection précise

La sélection scientifique est la clé pour garantir la précision, la propreté et la stabilité du processus des semi-conducteurs. Il est nécessaire de combiner avec précision les quatre dimensions du niveau du processus, l'environnement des conditions de travail, les exigences de transmission et l'espace de l'équipement. Il est strictement interdit de remplacer les cylindres industriels ordinaires.

1. Sélection du type en fonction du niveau de nettoyage du processus: l'emballage back-end et le processus de test général choisissent le modèle de nettoyage standard ISO5-ISO6; le processus de précision de base frontal tel que la lithographie, la gravure, le film, etc., doit choisir le niveau ISO4 et supérieur, le style de correspondance ultra-haute propreté et sous vide pour éliminer les traces Risque de pollution.

2. Choisissez le type en fonction des besoins de précision de la transmission: les processus de manutention conventionnels, d'ouverture et de fermeture et de serrage sont sélectionnés dans des modèles de précision standard; les scènes de haute précision telles que le contrepoint de précision, le réglage fin de la tranche, l'inspection optique, etc., la priorité est donnée à la plate-forme coulissante ultra-haute précision anti-tremblement pour garantir la précision de positionnement de niveau micron.

3. Choisissez le type en fonction de la structure spatiale de l'équipement: la mezzanine étroite de l'équipement, les modules denses sont compacts, ultra-minces et plats; la transmission de plaquettes à longue course et la chambre fermée sont sélectionnées dans des modèles propres sans tige, en tenant compte des besoins de transmission et de la disposition spatiale.

4. Sélection du type en fonction des conditions de travail et de l'environnement: les ateliers de nettoyage conventionnels choisissent des modèles de nettoyage universels; les chambres à vide, les gaz spéciaux, les conditions de travail humides et corrosives, et choisissent des modèles de protection anticorrosion, d'adaptabilité sous vide, d'ultra-haute propreté entièrement étanche, adaptés à un environnement de production complexe et rigoureux.

7. Problèmes de défaillance courants et spécifications de maintenance standardisées

Le cylindre spécial à semi-conducteurs a un processus mature, une forte stabilité et un faible taux de défaillance, mais la sélection du type n'est pas cohérente, la source de gaz est impure, la maintenance est incorrecte et le fonctionnement de fatigue à long terme est sujet à des problèmes tels que la déviation de position, le fonctionnement du carton, la poussière excessive et la vitesse incontrôlable. L'utilisation standardisée et l'entretien raffiné peuvent assurer la stabilité du processus à long terme.

Défaillances et solutions courantes

Le premier est le catton de transmission, la gigue à basse vitesse, qui est principalement causée par l'accumulation d'impuretés de source de gaz, l'atténuation de la lubrification interne et la légère déformation du joint. Il est nécessaire de purifier la source de gaz comprimé, de nettoyer le circuit d'admission du cylindre et de compléter la graisse propre spéciale; le second est l'écart de positionnement, le décalage de position est causé par des vibrations à long terme qui provoquent un relâchement de l'installation et une défaillance de la structure tampon. Il est nécessaire de recalibrer la précision d'installation et de réviser les composants de limite de tampon; le troisième est que la quantité de poussière augmente et que la propreté n'est pas à la hauteur de la norme. Pour l'usure du joint et la chute du revêtement de surface, il est nécessaire de remplacer les accessoires d'étanchéité propres à temps et de vérifier l'usure du cylindre; Quatrièmement, la vitesse de fonctionnement est instable, la poussée est insuffisante, principalement les fluctuations de pression et le circuit d'admission d'air est bloqué, il est nécessaire de déboguer pour stabiliser la pression atmosphérique et de nettoyer la structure d'échappement de filtration.

Normes d'installation et de conservation normalisées

Avant l'installation, vérifiez si le niveau de propreté, les spécifications structurelles et les paramètres de précision correspondent aux exigences du processus de fabrication, afin d'éviter l'utilisation de produits à faible échelle; maintenez un alignement horizontal et vertical pendant l'installation, fixez uniformément les points fixes et évitez la déviation de position causée par l'inclinaison et la force. La production quotidienne doit utiliser de l'air comprimé propre et de haute pureté, vérifier régulièrement le dispositif de filtration de la source de gaz pour empêcher les impuretés et l'huile de pénétrer dans le cylindre; interdire le démarrage et l'arrêt violents, le fonctionnement de surcharge et réduire l'usure par impact dur. Inspecter régulièrement l'état de fonctionnement du cylindre, la précision de démarrage et d'arrêt, l'état propre, vérifier la perte des composants d'étanchéité, de tampon et de lubrification tous les trimestres, et remplacer les pièces vieillissantes à temps; avant le redémarrage après un arrêt à long terme, la précision de l'étalonnage de l'opération d'essai à vide et le nettoyage de la surface de la poussière sont nécessaires pour s'assurer que la norme de fonctionnement propre et de précision est atteinte au démarrage.

8. Résumé de l'industrie

Le cylindre spécial pour semi-conducteurs est l'élément d'actionnariat aérodynamique propre de base de la chaîne de l'industrie de fabrication de précision des semi-conducteurs. Il présente les avantages fondamentaux d'un positionnement ultra-haut propre et non polluant, de précision au niveau du micron, d'une gigue ultra-faible, d'une faible perturbation, d'une stabilité à long terme et d'une résistance aux intempéries pour compenser complètement les cylindres industriels ordinaires. Les lacunes de l'industrie avec pollution par la poussière, une précision insuffisante, un fonctionnement instable et une mauvaise adaptabilité. Il présente les caractéristiques complètes d'une propreté élevée, d'une précision stable, d'une adaptation étendue, d'une exploitation et d'une opération simples et d'une production de masse haut de gamme. Il s'agit de l'accessoire de base de base pour l'amélioration de la qualité, l'amélioration du rendement et la mise à niveau du processus des équipements semi-conducteurs.

Avec la mise à niveau continue du processus des semi-conducteurs vers la précision au niveau nanométrique, le processus propre et haut de gamme et la miniaturisation de l'intégration des équipements, les exigences de l'industrie en matière de propreté, de précision, de stabilité et de faible perturbation des composants de transmission pneumatique sont devenues plus strictes, et les cylindres spéciaux pour semi-conducteurs Les applications raffinées et haut de gamme sont devenues une demande rigide dans l'industrie. La sélection précise du classement, l'installation standardisée et la maintenance régulière et raffinée peuvent éviter efficacement la pollution du processus, garantir la précision du fonctionnement de l'équipement, réduire le taux de produits défectueux, prolonger la durée de vie de l'équipement et fournir une production de masse précise, stable et efficace pour l'ensemble de la chaîne de l'industrie des semi-conducteurs.