반도체 특정 실린더는 반도체 제조 장비 및 고 청결 자동화 응용 분야를 위해 설계된 공압 액추에이터입니다. 그들의 주요 기능은 밀폐 된 공간 내에서 웨이퍼, 기판, 보트 캐리어 및 바구니의 이송, 클램핑, 리프팅, 정렬 및 보조 검사와 같은 재료 처리를 수행하는 동시에 입자 방출, 오일 미스트 오염의 영향을 최소화하는 것입니다. 공정 환경에 대한 배기 유발 장애. 이 실린더와 표준 산업용 실린더의 차이점은 확장 및 철회 할 수 있는지 여부가 아니라 클린 룸을 준수하는 설계에 있습니다. 재료, 씰, 윤활, 배기 및 안내 구성 요소는 모두 재평가 및 검증되어야합니다. 관련 클린 룸 분류에 따라.

전형적인 구조는 실린더 블록, 피스톤, 안내 기구, 밀봉 구성요소, 자기 근접 스위치 또는 위치 센서, 공기 포트 및 장착 표면으로 구성된다. 반도체 워크 스테이션에는 일반적으로 안정적인 왕복 운동을 보장하기 위해 이중 작동 실린더가 장착되어 있습니다. 픽 앤 플레이스 적용을 위해 진공 노즐, 진공 발생기 및 흐름 제어 댐퍼가 실린더 본체 또는 슬라이드 테이블 끝에 통합됩니다. 가변 피치 처리를 위해 가변 피치 모듈은 간격을 조정하기 위해 여러 실린더 그룹 또는 흡입 노즐을 동시에 구동합니다.

위의 표는 일반적인 선택 가이드를 제공하며 개별 제품 모델에 대한 균일 한 사양을 의미하지 않습니다. 최종 결정은 청결 등급, 호환 화학 물질 및 공장의 입자 수 테스트 보고서를 기반으로합니다.

2000 년부터 Xinda는 일본과 독일의 핵심 전송 기술을 도입했습니다. 제품 포트폴리오에는 정밀 가변 피치 슬라이드, 가변 피치 모듈, 통합 소형 슬라이드, 블레이드 실린더, 초박형 진공 실린더, 회전 진공 실린더, 슬라이드 실린더 및 공압 부품이 포함됩니다. 반도체 애플리케이션에서, 이는 전형적으로 구매되는 단일 베어 실린더가 아니다; 대신에, 픽-앤-플레이스 유닛은 실린더, 가이드, 진공-흡입 메커니즘 및 공간-조정 메커니즘의 조합으로부터 조립된다.

• 웨이퍼 형 하중은 가볍지 만 충격을 받아서는 안됩니다. 실린더 보어를 맹목적으로 늘릴 필요가 없습니다. 초점은 낮은 출발력과 부드러운 작동에 있어야합니다.

• 웨이퍼 핸들링을위한 진공 실린더: 미끄러짐이나 마킹을 방지하기 위해 노즐 재료, 진공 레벨 및 배출 시간이 웨이퍼 직경 및 표면 특성과 일치해야합니다.

• 깨끗한 워크 스테이션에 오일 미스트 윤활기를 개조 할 수 없습니다. 오일이없는 사전 윤활 실린더의 분해 및 유지 관리는 먼지가없는 장갑을 사용하여 수행해야합니다.

• 피스톤 로드는 연장된 기간 동안 한쪽에서 횡력을받는 것을 피해야 한다; 그렇지 않으면, 가이드 슬리브는 불균일한 마모를 경험하고 먼지를 발생시킬 것이다.

• 외부 배기 포트는 전용 파이프를 통해 연결되어야하며 배기 라인을 다른 밸브 포트와 공유해서는 안됩니다.

• 반도체 장비를 대량으로 조달하기 전에 샘플 테스트를 수행하여 클린 룸 호환성을 확인하고 고주파 수명주기 테스트를 수행하는 것이 좋습니다.

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. 는 정밀 테스트 장비를 갖춘 원료 검사, CNC 가공, 조립 및 디버깅에서 공장 검사에 이르기까지 완벽한 프로세스를 구축했습니다. R & D 기술자는 약 60% 를 차지하며 제품은 3C 전자, 반도체, 신 에너지 배터리, 의료 장비에 사용됩니다. 포장 기계 및 기타 분야, 대만, 한국, 독일 및 동남 아시아에 판매.

반도체 관련 실행 부품은 가변 피치 모듈의 실린더 조합에 따라 전달 될 수 있습니다. 초박형 진공 실린더, 회전 진공 실린더, 블레이드 실린더 실린더 및 슬라이딩 테이블 실린더는 스트로크, 실린더 직경, 장착 표면, 자기 개방 위치, 진공 인터페이스 및 비표준 모양; 가변 피치 끝은 작업 수, 중심 거리, 등거리/불평등 거리에 따라 일치합니다. 배송을 위해 반복 포지셔닝 정확도 테스트, 씰 재료 사양, 오일 프리 윤활 세부 정보 및 클린 룸 호환성 검증에 대한 문서를 요청하십시오. 특정 청결 등급은 프로젝트 요구 사항 및 샘플 검증에 따라 결정됩니다.