| Oficjalna strona Xinda Industrial

半导体专用气缸怎么选:洁净室低发尘气缸、超薄真空气缸与晶圆搬运方案产品图

Jak wybrać specjalny cylinder do półprzewodnika: cylinder o niskim poziomie pyłu w pomieszczeniu czystym, ultracienki cylinder próżniowy i schemat obsługi płytek ()

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. dostarcza skoordynowane rozwiązania obejmujące ultracienkie cylindry próżniowe, obrotowe cylindry próżniowe, cylindry ostrzy, cylindry ślizgowe i moduły o zmiennym skoku do zastosowań takich jak obsługa płytek, łączenie matryc, kostkowanie i sortowanie, testowanie sondy załadunek/rozładunek i obsługa materiałów w pomieszczeniu czystym, rozwiązywanie problemów, takich jak wytwarzanie pyłu z konwencjonalnych cylindrów, Zanieczyszczenie mgłą olejową, nadmierne bicie i awarie odbioru płytek.

  • Marka: XINDA
  • Typ: Przemysł półprzewodnikowy
  • Tryb prowadzenia:
  • Metoda napędu:
  • Obróbka powierzchniowa:
  • Cechy produktu:
  • Obszary zastosowania:

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. dostarcza skoordynowane rozwiązania obejmujące ultracienkie cylindry próżniowe, obrotowe cylindry próżniowe, cylindry łopatkowe, cylindry ślizgowe i moduły o zmiennym skoku do zastosowań takich jak obsługa płytek, łączenie matryc, kostkowanie i sortowanie, testowanie sondy załadunek/rozładunek i obsługa materiałów w pomieszczeniu czystym. Rozwiązania te dotyczą kluczowych wyzwań w automatyzacji półprzewodników, w tym generowania pyłu z konwencjonalnych cylindrów, zanieczyszczenia mgłą olejową, nadmiernego bicia i niestabilnego chwytania płytek.

Niskie wytwarzanie pyłu
Adaptacja do pomieszczeń czystych
± 0,02mm
Repozycjonowanie odniesienia
Smarowanie bezolejowe
Uszczelnienie o niskiej ekstrakcji
Adsorpcja próżniowa
Nieniszcząca obsługa płytek
01

Cylinder specyficzny dla półprzewodnikówDefinicja i zasady

Cylindry specyficzne dla półprzewodników to siłowniki pneumatyczne przeznaczone do urządzeń do produkcji półprzewodników i zastosowań automatyki o wysokiej czystości. Ich podstawową funkcją jest przenoszenie materiałów-takich jak przenoszenie, zaciskanie, podnoszenie, ustawianie i kontrola pomocnicza płytek, podłoży, nośników łodzi i koszy-w zamkniętych przestrzeniach, przy jednoczesnym minimalizowaniu wpływu uwalniania cząstek, zanieczyszczenia mgłą olejową, oraz zaburzenia wywołane spalinami w środowisku procesowym. Różnica między tym cylindrem a standardowym cylindrem przemysłowym nie polega na tym, czy można go wysuwać i chować, ale raczej na konstrukcji zgodnej z czystym pomieszczeniem: materiały, uszczelnienia, smarowanie, spaliny i elementy naprowadzające muszą zostać ponownie ocenione i zweryfikowane zgodnie z do odpowiedniej klasyfikacji pomieszczeń czystych.

Typowa konstrukcja składa się z bloku cylindrów, tłoka, mechanizmu prowadzącego, elementów uszczelniających, magnetycznych przełączników zbliżeniowych lub czujników położenia, portów powietrznych i powierzchni montażowych. Stacje robocze półprzewodnikowe są zwykle wyposażone w cylindry dwustronnego działania, aby zapewnić stabilny ruch posuwisto-zwrotny. W zastosowaniach typu pick-and-place dysze próżniowe, generatory podciśnienia i amortyzatory sterujące przepływem są zintegrowane z korpusem cylindra lub wysuwalnym końcem. W przypadku obsługi o zmiennym skoku moduł o zmiennym skoku synchronicznie napędza wiele grup cylindrów lub dysz ssących w celu regulacji odstępów.

02

Podstawowe wymagania dla cylindrów do pomieszczeń czystych

Konstrukcja o niskiej zawartości pyłu

Pary uszczelniające o niskim zużyciu i gładkie odsłonięte powierzchnie są stosowane w celu zminimalizowania wytwarzania cząstek stałych z uszczelnienia pyłu tłoczyska i tarcia szyny prowadzącej.

Smarowanie bezolejowe

Stosuje się fabryczne uszczelnienia samosmarowe lub samosmarowe oparte na PTFE, co eliminuje potrzebę stosowania zewnętrznej smarownicy z mgłą olejową i zapobiega osadzaniu się mgły olejowej na wafli i elementach optycznych.

Materiał ze stali nierdzewnej

Lufy cylindrów i tłoczyska powinny być wykonane z SUS304/316 lub mają twardą powłokę; materiały do odsłoniętych obszarów kontaktu z produktem wybiera się na podstawie częstotliwości czyszczenia chemicznego.

Obróbka spalin

Czyste stacje robocze mogą być wyposażone w zewnętrzny otwór wydechowy lub scentralizowany kanał wylotowy, co zapewnia, że wydech cylindra nie jest kierowany bezpośrednio na ścieżkę obsługi płytki.

Wysokie powtarzanie pozycjonowania

Wyposażone w precyzyjne szyny prowadzące i magnetyczne przełączniki zbliżeniowe lub sprzężenie zwrotne kraty; w przypadku rozwiązań Xindy o zmiennym skoku tej samej serii dokładność powtarzania pozycjonowania można określić z dokładnością do ± 0,02mm.

Miękkie lądowanie o niskiej wibracji

Buforowanie przepustnicy, przepełnienie przy niskiej prędkości lub buforowanie zewnętrzne zmniejsza ryzyko uszkodzenia krawędzi płytki spowodowanego uderze niem.

ProjektStandardowy cylinderPółprzewodnikowy czysty cylinder
Metoda smarowaniaMożna podłączyć do smarowania mgłą olejową.Bezolejowe/wstępnie nasmarowane niskie odgazowanie
Materiał uszczelniającyUszczelnienie ogólnego przeznaczenia NBRPTFE, niski poziom LZO i fluororubber dostępne na życzenie.
MateriałStop aluminium/zwykła stalBeczka cylindra ze stali nierdzewnej, hartowany tłoczysko
SpalinBezpośrednie rozładowanieEkstrakcja spalin lub scentralizowana obróbka
Obowiązujące środowiskoOgólna automatyka przemysłowaPomieszczenia czyste klasy ISO, obsługa płytek

Powyższa tabela zawiera ogólny przewodnik wyboru i nie implikuje jednolitych specyfikacji dla poszczególnych modeli produktów; ostateczne określenie opiera się na klasie czystości, kompatybilnych chemikaliach i raporcie z testu fabrycznego.

03

Seria cylindrów stacji roboczych Xinda Semiconductor

Od 2000 roku Xinda wprowadziła podstawowe technologie transmisji z Japonii i Niemiec. Jej portfolio produktów obejmuje precyzyjne slajdy o zmiennym skoku, moduły o zmiennym skoku, zintegrowane miniaturowe zjeżdżalnie, cylindry z ostrzami, ultracienkie cylindry próżniowe, obrotowe cylindry próżniowe, cylindry ślizgowe i elementy pneumatyczne. W zastosowaniach półprzewodnikowych zazwyczaj nie kupuje się jednego gołego cylindra; zamiast tego jednostka typu pick-and-place jest montowana z kombinacji cylindra, prowadnicy, mechanizmu odkurzającego i mechanizmu regulacji odstępów.

Ultra-cienki cylinder próżniowy

Cienki korpus cylindra i zintegrowana dysza próżniowa są idealne do nieniszczącej obsługi pierścieni waflowych, wiórów i szklanych podłoży; może być wyposażony w moduł o zmiennym skoku do przenoszenia matrycy.

Obracalny cylinder próżniowy

Adsorpcja jest stosowana w połączeniu z odwracaniem i korekcją pozy, dzięki czemu nadaje się do podawania matrycy, regulacji rozstawu kaset i obsługi materiałów w pomieszczeniu czystym.

Cylinder ostrza

Ultracienki korpus służy do podawania, blokowania i kroowienia płytek w kostkach z wąskimi rowkami; w połączeniu ze stołem przesuwowym może osiągnąć synchronizację wielostanowiskową.

Cylinder ślizgowy

Posiada wbudowane prowadzenie liniowe i może wytrzymać pewną siłę boczną; nadaje się do prasowania o krótkim skoku, ustawiania i sondowania o lekkim kontakcie.

Koordynacja modułu o zmiennym skoku

Wielostanowiskowe równoodległe/w równej odległości otwieranie i zamykanie rozszerza gęsto upakowany pierścień płytki do odstępu procesowego, po czym cylinder próżniowy podnosi wafle.

Niestandardowe dostosowanie

Produkuj rysunki i próbki w oparciu o skok, otwór cylindra, orientację montażu, port próżniowy, położenie przełącznika magnetycznego i wymagania dotyczące czystości.

04

Typowe scenariusze zastosowania

Obsługa wafli

Załadunek i rozładunek FOUP, transfer łodzi kryształowej, podnoszenie i ustawianie; Musi być stabilny i wolny od uderzeń, sterowany ciągiem i niskie wytwarzanie pyłu.

Sortowanie po kostce

Cylinder ostrza służy jako środek wspomagający kostkę, a cylinder próżniowy zasysa chip do tacy. Moduł o zmiennym skoku służy do regulacji odstępów.

Die mocowanie i montaż

Obróć cylinder próżniowy, aby obrócić obrabiany przedmiot, a przesuwny cylinder stołu zostanie delikatnie dociśnięty i wyrównany; powtórz pozycjonowanie zgodnie z rdzeniem klasy ± 0,02mm.

Badanie sondy

Stacja testowa jest lekko wciśnięta i obciążona niewielką siłą, aby uniknąć niestabilnego kontaktu spowodowanego wibracjami.

Litograficzny mechanizm pomocniczy

Obsługa maski, drzwi ochronne i blok blokujący mogą być używane z czystym przesuwanym cylindrem stołu; Niskie wibracje nie zakłócają ścieżki optycznej.

SMT/elektroniczna czysta linia

PCB, test pozycjonowania FPC, nachylenie płyty, moduł skoku cylindra ostrza w celu poprawy rytmu.

Wspólna kombinacja jednostek półprzewodnikowych:Moduł serwo o zmiennym skoku zapewnia rozstaw między stacją → przesuwny cylinder stołowy lub cylinder ostrza do cięcia Z/pchania → ultracienki cylinder próżniowy do zasysania płytki → potwierdzenie przełącznika magnetycznego w miejscu → kontrola prędkości zaworu przepustnicy do miękkiego lądowania. Zwykły cylinder odpowiada tylko za „ poruszanie się ”, a cylinder półprzewodnikowy jest również odpowiedzialny za „ brak pyłu, brak wtrysku paliwa i brak kolizji”.

05

Wzór wyboru typu i specyfikacja instalacji

Sekwencja wyboru cylindra półprzewodnikowego:① Ustaw poziom czystości klasy ISO i czy produkt jest odsłonięty; Dysza/osprzęt Oblicz obciążenie (całkowita masa płytki/dyszy ssącej/osprzętu) i wybierz średnicę cylindra hull; Ustaw skok i przestrzeń instalacyjną, ultra-cienki cylinder z wąskim priorytetem szczeliny/ostrzem; zmienna Stacja adsorpcji jest wyposażona w generator próżni i zawór anty-próżniowy; Sprayu Poprowadź obciążenie, aby wybrać przesuwny cylinder stołu lub dodać drążek prowadzący; æ Prędkość jest kontrolowana przez zawór dławiący przy niskiej prędkości, wyposażony w bufor zapobiegający uderzeniu; ⑦ Producent jest zobowiązany do dostarczenia certyfikatu materiałowego, mgły solnej/wykrywania cząstek i powtórzenia raportu pozycjonowania.

  • Obciążenie klasy wafli jest lekkie, ale nie pozwala na uderzenie: średnica cylindra nie musi być ślepo duża, nacisk kładziony jest na małą siłę rozruchową i gładkość.

  • Cylinder próżniowy zasysa wafle: materiał dyszy, stopień próżni i czas wentylacji powinny pasować do średnicy i powierzchni chipa, aby uniknąć przesuwania się lub znakowania.

  • Urządzenie do napełniania mgłą olejową jest zabronione na stacji czyszczącej; do demontażu i naprawy bezolejowego cylindra do wstępnego smarowania wymagane są bezpyłowe rękawice.

  • Unikaj długotrwałej jednostronnej siły bocznej na tłoczysku, w przeciwnym razie mimośrodowy rękaw prowadzący zużywa kurz.

  • Zewnętrzny port wydechowy jest podłączony osobno, a rura wydechowa nie jest dzielona z innymi portami zaworów.

  • Zaleca się wykonanie czystego potwierdzenia adaptacji i testu żywotności o wysokiej częstotliwości przed zasilaniem wsadowym sprzętu półprzewodnikowego.

06

Kontrola jakości i możliwości dostawy Xinda

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. ustanowiła kompletny proces od kontroli surowców, obróbki CNC, montażu i debugowania do inspekcji fabrycznej, wyposażony w precyzyjny sprzęt testujący; Technicy badawczo-rozwojowi stanowią około 60%, a produkty są używane w elektronice 3C, półprzewodnikach, nowych akumulatorach energetycznych, sprzęcie medycznym, Maszyny pakujące i inne pola, sprzedawane na Tajwanie, w Korei Południowej, Niemczech i Azji Południowo-Wschodniej.

Części wykonawcze związane z półprzewodami mogą być dostarczane zgodnie z kombinacją cylindrów modułu o zmiennym skoku: ultracienki cylinder próżniowy, obrotowy cylinder próżniowy, cylinder ostrza i przesuwny cylinder stołu można dostosować do skoku, średnicy cylindra, powierzchni montażowej, pozycji otwarcia magnetycznego, interfejs próżniowy i niestandardowy kształt; Koniec o zmiennej wysokości jest dopasowywany w zależności od liczby pracy, odległości środkowej, równej odległości/nierównej odległości. Propozycja dostawy wymaga powtórnej kontroli pozycjonowania, opisu materiału uszczelniającego, opisu bezolejowego smarowania i czystych danych potwierdzających adaptację. Określony poziom czyszczenia podlega wymaganiom projektu i weryfikacji próbki.

Nazwa firmy

Dongguan Xinda automatyki przemysłowej Co., Ltd.

Oficjalna strona internetowa

Www.xdeoat.com

Kontakt biznesowy

Pani Ming: 1368628662

©2026 Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd. Wszelkie prawa zastrzeżone

Uzyskaj wytyczne dotyczące modeli

mm
Ten limit długości modelu mm
扫码添加微信获取
Kod skanowania Dodaj akwizycję WeChat
Zapytaj o nasz pakiet wyboru 3D
  • Pobierz poprawną mapę 3DProszę odnieść się do schematu rozmiaru zawieszenia i wyboru obciążenia zgodnie z poniższym rysunkiem.
  • Podczas pobierania modeli 3D przez rzemieślników z dużego kraju lub nasz pakiet do pobrania 3D,Proszę odnieść się do wykresu zachęty dla parametrów wejściowych.I po prawej stronie notatki monit wprowadzają odpowiednie parametry techniczne.
电机位置
悬挂尺寸
选型参考
① - 21② - 100③ - 4④ - M⑤ - TR1⑥ - S⑦ - N⑧ - L⑨
① Seria
② Minimalny odstęp między środkami
21mm
③ Maksymalny odstęp między środkiem
22-100mm opcjonalnie
④ Liczba stacji roboczych
3
⑤ Pochodzenie o zmiennej odległości
Boisko środkowo/lewe/prawe
⑥ Pozycja silnika
Odnoszą się do mapy lokalizacji silnika
⑦ Typ silnika
Serwo/krok/brak
⑧ Sygnał przełącznika
NPN/PNP
⑨ Kierunek instalacji modułu
T Lifting/D Pad/L Side Mount
Wskazówki dotyczące wyboru: Odniesienie do wyboru „ Schemat wyboru obciążenia (widok)”Jeśli nie wiesz, jak wybrać typ, zapoznaj się ze stroną P09 danych naszej firmy, aby poinformować nas o zmiennej formie tonu i podać stronę P11.„ Tabela wyboru projektowego modułu synchronicznej zmiennej (do pobrania)”, Wypełnij informacje techniczne oznaczone czerwoną kropką i wyślij je do naszej firmy. Proszę zgodnie z rzeczywistym scenariuszem zastosowania, wymaganiami dotyczącymi obciążenia i przestrzenią instalacyjną, w połączeniu z powyższymi parametrami dla rozsądnego wyboru. Jeśli istnieją specjalne wymagania, zaleca się skontaktowanie z pomocą techniczną w celu potwierdzenia, aby zapewnić wydajność i stabilność sprzętu.
1

Krótkie wprowadzenie slajdu o zmiennym skoku

Synchroniczny stół przesuwny o zmiennym skoku jest również nazywany synchronicznym mechanizmem zmiennego skoku, który jest rodzajem modułu. Liczba suwaków o zmiennym skoku nie może być mniejsza niż 2, a dodatni i ujemny obrót wału napędowego powinien sterować wieloma suwakami, aby poruszać się liniowo na szynie prowadzącej.

Formę zmiennej odległości można podzielić:Synchroniczny skok w równej odległościiSynchroniczna nierówna zmiana wysokości dźwiękuTryb ruchu można podzielić na: synchroniczną zmienną odległość pozycjonowania pośredniego, jednostronną synchroniczną zmienną odległość pozycjonowania i nieregularną synchroniczną zmienną odległość.

Wał napędowy może obracać się tylko do przodu i do tyłu pod kątem oznaczonym przez stół przesuwny, a mechanizm skoku zostanie bezpośrednio uszkodzony, jeśli przekroczy ustawiony zakres kąta.

2

Pola aplikacji

Stół przesuwny o zmiennym skoku jest wyposażony w manipulator lub przyssawkę próżniową, która może chwytać wiele przedmiotów z tacy sortującej w stałej odległości i umieszczać je w zmiennej odległości, co jest używane do obsługi o zmiennym skoku w zautomatyzowanej produkcji.

Jest szeroko stosowany w automatyzacji 3C, półprzewodnikach, elektronice, medycynie, maszynie pakującej, maszynie dozującej, nowym montażu baterii pojazdów energetycznych, chwytaku manipulatorów codziennych potrzeb i innych branżach.

3

Zalety i cechy

  1. Mikrostruktura:Mały rozmiar, lekka waga, mała przestrzeń o zmiennej odległości operacji obsługi.
  2. Zsynchronizowana operacja izometryczna:W zakresie nachylenia wyznaczonym przez wielostanowiskowy stół przesuwny, może on realizować szybką i dowolną obsługę pochylenia wielu przesuwanych stołów.
  3. Zsynchronizowane zadania na nierówną odległość:Może realizować synchroniczne pozycjonowanie i zmienną odległość od punktu pozycjonowania do punktu ekscentrycznego, synchroniczne pozycjonowanie i zmienną odległość od punktu pozycjonowania do jednostronnej strony oraz synchroniczną zmienną odległość bez równej odległości.
  4. Wysoka precyzja projektowania:Synchroniczny mechanizm przesuwnego stołu o zmiennym skoku jest rygorystyczny, wysoka precyzja, długa praktyczna żywotność, dokładne, szybkie operacje pozycjonowania i obsługi, mogą zaoszczędzić czas i poprawić wydajność pracy.
  5. Łatwy w obsłudze:Operacja o zmiennym skoku jest prosta i wygodna.
  6. Elastyczne dostosowywanie:Model o zmiennym skoku ma śrubę o zmiennym skoku, zmienny skok i można wybrać różne suwaki. Zmienna forma skoku może być dostosowana do wymagań. Jeśli kształt lub rozmiar suwaka zostanie zmieniony, okres dostawy zostanie przedłużony.
Wysoka precyzja Miniaturyzacja Wysoka wydajność Dostosowanie
4

Uwagi dotyczące modułu o zmiennym skoku

  1. Ten mechanizm może być używany tylko poziomo, a nie pionowo.
  2. Nie przekraczaj maksymalnego i minimalnego odstępu zmiennego skoku, co spowoduje uszkodzenie mechanizmu.
  3. Kąt obrotu wału napędowego nie może przekraczać zakresu kątowego określonego przez stół przesuwny o zmiennym skoku.
  4. Aby uniknąć uszkodzenia modułu suwaka z powodu uderzenia, proszę nie instalować części na suwaku, które utrudniają działanie suwaka.
  5. Zapoznaj się z zalecanymi parametrami momentu obrotowego, proszę wybrać odpowiedni silnik.
  6. Proszę zainstalować suwak o zmiennym skoku na sztywnym mechanizmie.
  7. Odstępy między każdym suwakiem zawsze się zmieniają, a suwaki nie mogą być uruchamiane samodzielnie.

Schemat wyposażenia modułu zmiennego skoku

Schemat wyposażenia modułu o zmiennym skoku w praktycznym zastosowaniu

Schematyczny schemat struktury sprzętu

Pokaż wewnętrzną strukturę i układ komponentów modułu o zmiennym skoku

Zastosowanie zautomatyzowanej linii produkcyjnej

Scenariusz zastosowania modułu o zmiennej odległości w automatycznej linii produkcyjnej

Wyświetlanie scenariusza aplikacji

Praktyczne zastosowanie modułu o zmiennej odległości w przemyśle elektronicznym 3C

Schematyczny schemat szczegółów konstrukcyjnych

Kluczowe szczegóły konstrukcyjne modułu o zmiennym skoku

Analiza szczegółów strukturalnych

Szczegółowa struktura i zasada działania kluczowych komponentów

Schematyczny schemat zasady działania

Przepływ pracy i zasada modułu o zmiennym skoku

Wyświetlanie zasady działania

Schemat przepływu synchronicznej pracy ze zmienną wysokością

1. Zsynchronizowany skok w równej odległości

分中同步等距变距

2. Jednostronny synchroniczny równodległy skok

单边同步等距变距

3. Synchroniczne równoodległe wielosegmentowe zmienne nachylenie o stałej odległości

同步等距多段定距变距

4. Nierówne odległości o stałym dystansie synchroniczny zmienny skok

不等距定距同步变距

5. cała grupa mover jest zsynchronizowana i w równej odległości od lewej do prawej

整组动子从左向右同步等距变距

6. Synchronizacja zmiany wysokości tonu po przełożeniu całej grupy

整组动子平移后再同步变距

7. Synchronizacja zmiany wysokości tonu po przełożeniu całej grupy mover

整组动子平移后再同步变距

8. Parametryczny wielostanowiskowy w równej odległości lub nierówny skok w dowolnym punkcie

任意点参数化多工位等距或不等距变距
Zeskanuj kod QR, aby dodać WeChat.
Ekskluzywna usługa jeden na jeden
Kliknij przycisk poniżej, aby skontaktować się z nami bezpośrednio za pośrednictwem WhatsApp, a my skontaktujemy się z Tobą tak szybko, jak to możliwe.
Rozpocznij rozmowę
Obsługa klienta online
● Teraz online
Obsługa klienta online
Będziemy wracać do Ciebie tak szybko, jak to możliwe
Witaj! Zapraszamy do zapytania ~
Aby szybko się z nami skontaktować, zadzwoń:
13686286625(WeChat z tym samym numerem)

Możesz także kliknąć przycisk poniżej, aby bezpośrednio otworzyć okno dialogowe obsługi klienta.