Środowiska produkcyjne półprzewodników są wyjątkowo wrażliwe na zanieczyszczenia; w sali czystej klasy 1 liczba cząstek o rozmiarze ≥0,1 μm na stópę sześcienną nie może przekraczać jednej. W trakcie pracy konwencjonalne cylindry przemysłowe emitują cząsteczki zużytego gumowego uszczelniacza, lotne związki smarów oraz drobiny metalu, które, po przedostaniu się do procesu produkcyjnego, mogą bezpośrednio prowadzić do wyrzucenia płytek krzemowych. Tymczasem obsługa płytek wymaga dokładności pozycjonowania na poziomie ± 0,01mm, wyładowania elektrostatyczne muszą być kontrolowane w zakresie 10 ³-10 ⁹ Ω, a komponenty używane w korozyjnych środowiskach gazowych muszą posiadać odporność na korozję klasy C. Te rygorystyczne wymagania uniemożliwiają standardowym butlom przemysłowym zaspokojenie potrzeb aplikacji półprzewodnikowych.

Dongguan Xinda Industrial Automation Co., Ltd., wykorzystując precyzyjne technologie pneumatyczne wprowadzone z Japonii i Niemiec w 2000 r., Przeprowadziła kompleksowe optymalizacje strukturalne dostosowane do zastosowań półprzewodnikowych.

System uszczelniający o niskiej zawartości pyłuWykorzystuje specjalny smar fluorowany w połączeniu z UHMW-PE uszczelnieniami pyłowymi, zmniejszając współczynnik tarcia poniżej 0,05 i utrzymując zużycie w granicach 0,001mm na 10 000 cykli, tym samym całkowicie eliminując wytwarzanie cząstek.
Konstrukcja bezolejowaOtwór cylindra jest precyzyjnie dopracowany do chropowatości powierzchni Ra ≤ 0,4 μm i połączony z samosmarującym kompozytowym tłokiem, eliminując potrzebę dodatkowego smarowania podczas pracy i zapobiegając zanieczyszczeniu mgły olejowej w środowiskach pomieszczeń czystych.
Struktura antystatycznaKorpus cylindra, tłoczysko i elementy montażowe są wykonane z materiałów przewodzących, z rezystancją powierzchniową utrzymywaną między 10 ³ a 10 ⁹ Ω i czasem rozpraszania elektrostatycznego poniżej 0,5 sekundy, co jest zgodne ze standardem ESD-S20.20.
Materiał odporny na korozjęKomponenty mające kontakt z gazami procesowymi są wykonane ze stali nierdzewnej SUS316L lub poddane specjalnej powłoce, dzięki czemu mogą wytrzymać gazy korozyjne, takie jak HF i H₂SO₄. Przeszli test rozpylania soli ISO 9227 przez 500 godzin bez korozji.

Dedykowane cylindry Xinda Semiconductor działają dobrze w następujących kluczowych wskaźnikach: powtórz dokładność pozycjonowania w górę± 0,01mmCzęstotliwość odpowiedzi wynosi 5Hz, a żywotność ponad 500000 razy bez tłumienia. Produkt przeszedł certyfikat bezpieczeństwa SEMI S2 i jest zgodny ze standardem czystego pomieszczenia ISO 14644-1. Wszystkie materiały spełniają wymagania dyrektywy RoHS. W zastosowaniach związanych z obsługą płytek siła ssania cylindra podciśnieniowego jest kontrolowana w granicach 2%, zapewniając bezuszkodzeniową transmisję płytek od 8 do 12 cali.

Dongguan Xinda Spółka Przemysłowa z Automatyzacją Sp. z o.o. Od momentu powstania w 2000 roku zawsze koncentrował się na precyzyjnych pneumatycznych komponentach badań i rozwoju oraz produkcji. Główne produkty firmy obejmują kompletne linie produktów, takie jak precyzyjny stół przesuwny o zmiennym skoku, moduł o zmiennym skoku, zintegrowany mikro stół przesuwny, cylinder próżniowy, obrotowy cylinder próżniowy, obróbka źródła powietrza, zawór elektromagnetyczny, generator podciśnienia, bezzębna nakrętka/śruba, polerowany pręt układ drutu, twarda chromowana precyzyjna oś optyczna, wał prowadzący, Wał napędowy klasy szlifowania, wał obrotowy itp. Są szeroko stosowane w półprzewodnikach, 3C, nowych akumulatorach energetycznych, leczeniu, optycznych przyrządach pomiarowych i innych dziedzinach.
Firma przestrzega filozofii biznesowej „ terminowej obsługi, stabilnej jakości, punktualnej dostawy i bezproblemowej obsługi posprzedażowej ”. Odsetek techników R & D przekracza 30%, a wydajność produktu jest wiodąca na świecie. Laboratorium firmy jest wyposażone w spektrometry, projektory, maszyny do rozciągania, mikroskopy metalograficzne, testery mgły solnej, testery twardości i inne precyzyjne urządzenia do testowania, aby zapewnić, że każdy produkt został poddany ścisłym pełnowymiarowym testom i weryfikacji wydajności. Obecnie produkty Xinda zostały uznane przez wiele instytutów Chińskiej Akademii Nauk i są eksportowane na Tajwan, Koreę Południową, Niemcy i rynki Azji Południowo-Wschodniej, zdobywając szerokie zaufanie klientów na całym świecie.

Wraz z szybkim rozwojem chińskiego przemysłu półprzewodników oczekuje się, że krajowy rynek sprzętu półprzewodnikowego przekroczy 30 miliardów dolarów w 2025 r., Ale wskaźnik lokalizacji wysokiej klasy elementów pneumatycznych wynosi mniej niż 15%. Dzięki 25-letniej akumulacji technicznej i podstawowej technologii w Japonii i Niemczech, specjalny cylinder Xinda Semiconductor osiągnął międzynarodowy zaawansowany poziom pod względem czystości, precyzji, niezawodności i innych podstawowych wskaźników i może realizować krajowe substytucje importowanych marek. W przyszłości firma będzie nadal zwiększać inwestycje w badania i rozwój, wprowadzając bardziej zaawansowany proces precyzyjnych produktów pneumatycznych, aby pomóc w niezależnej kontroli chińskiego przemysłu półprzewodników.